Comment les stations de manipulation de plaquettes peuvent-elles réduire la poussière pendant l’exposition ?

La station de chargement des plaquettes est la zone de transition où les plaquettes sont transférées du conteneur contrôlé vers l'intérieur de l'équipement. À ce stade, la plaquette est retirée du FOUP ou d'un autre conteneur, serrée et transférée, et introduite à l'intérieur de l'équipement. Bien que le temps d'exposition soit court, si la protection n'est pas en place, des particules peuvent se déposer à la surface de la tranche.

Réduire l’exposition aux chutes de poussière nécessite de couvrir les ouvertures, les zones de serrage et de transfert avec de l’air pur tout en contrôlant les sources personnelles, matérielles et institutionnelles. La protection doit se poursuivre jusqu'à ce que la plaquette soit dans une position contrôlée et ne puisse pas se concentrer sur un point statique du quai de chargement.

Définir d’abord clairement la période d’exposition

La période d'exposition des plaquettes à la station de chargement et de déchargement comprend généralement :

• Au moment où le conteneur ouvre la porte ;

• Prélèvement et serrage de bras robotisés ;

• Transfert de plaquettes du conteneur vers l'intérieur de l'équipement ;

• Attente et remise.

Les conditions d’exposition et les risques varient pour chaque période. La période d'exposition doit d'abord être calibrée, puis la portée de protection doit être déterminée. Pour le dispositif de protection de la zone d'ouverture de la porte FOUP, veuillez vous référer à Comment organiser un flux d'air de protection local dans la zone d'ouverture de la porte FOUP ? , découvrez les méthodes locales de protection des ouvertures.

La position d'ouverture est la principale voie d'entrée des particules

Lorsque le récipient est ouvert, l'ouverture est reliée à l'environnement extérieur et des particules peuvent pénétrer par l'ouverture. Le flux d’air protecteur doit couvrir l’ouverture pour réduire l’entrée d’air extérieur.

Besoin de confirmer :

• Si l'ouverture se trouve dans la zone de couverture de l'alimentation en air ;

• S'il y a un flux d'air de protection local à l'ouverture ;

• La direction de l'ouverture est-elle face à la source de pollution ?

• Y a-t-il une accumulation de particules autour de l’ouverture ?

Pour l'organisation du flux d'air en limite d'ouverture, veuillez vous référer à Comment planifier l’alimentation en air pur des cavités fermées des équipements ? , comprendre la gestion des flux d'air à l'état ouvert.

Couverture du flux d'air des zones de serrage et de transfert

Lorsqu'un robot saisit une plaquette, les pinces et les bras modifient le flux d'air local. Au cours du processus de transfert, la plaquette passe par différentes positions et il est essentiel que le flux d'air protecteur continue de la recouvrir.

Besoin de confirmer :

• Si la position de serrage se situe dans la plage d'alimentation en air ;

• Si le mouvement du manipulateur bloque l'alimentation en air ;

• Si le chemin parcouru par la plaquette est protégé partout ;

• Le flux d’air au lieu de transfert est-il stable ?

Pour l'impact du manipulateur sur le débit d'air, veuillez vous référer à Comment les robots de manipulation de plaquettes peuvent-ils être intégrés à la vérification du flux d’air ? , comprenez la méthode de vérification en mouvement.

Contrôle du temps d'exposition

Plus l'exposition est longue, plus le risque de sédimentation des particules est grand. La réduction du temps d'exposition réduit le risque de retombées de poussière.

Considérer:

• Optimiser la vitesse de déplacement du manipulateur ;

• Réduisez les temps d’attente et d’arrêt ;

• Évitez les actions répétitives inutiles ;

• Raccourcissez le temps de séjour de la plaquette en position ouverte.

Le contrôle du temps d’exposition et la protection du flux d’air doivent être effectués simultanément. Si le débit d’air de protection est insuffisant, raccourcir le temps ne peut que réduire le risque, pas l’éliminer.

Contrôle du personnel et des sources institutionnelles

Les particules peuvent être générées par les activités humaines et les mouvements des mécanismes à proximité des stations de chargement et de déchargement. Ces sources doivent être contrôlées :

• Réduire le nombre de personnes se promenant autour des ouvertures ;

• Vérifier l'état de lubrification et d'usure du mécanisme ;

• Évitez d'effectuer des travaux d'entretien ou de nettoyage à proximité d'endroits sensibles ;

• Contrôler le placement des matériaux et des outils.

Pour l'impact des activités du personnel sur le débit d'air, veuillez vous référer à Comment le fonctionnement du bras va-t-il interférer avec l’alimentation en air de l’établi ? , découvrez comment résoudre les problèmes d'interférence de mouvement.

La protection doit s'étendre jusqu'à la fin du transfert

La protection ne doit pas couvrir un seul point fixe du quai de chargement. Une fois que la plaquette est retirée du conteneur et pénètre dans l'équipement par le chemin de transfert, la protection doit se poursuivre jusqu'à ce que la plaquette entre dans une position contrôlée.

Besoin de confirmer :

• Si la position médiane du chemin de transfert est protégée ;

• Si le point de transfert se trouve dans la zone de couverture du flux d'air ;

• Si l'entrée interne de l'équipement est partiellement protégée ;

• S'il y a une interruption de la protection.

Pour la protection du chemin de transmission au sein de l'EFEM, veuillez vous référer à Comment la protection interne propre EFEM couvre-t-elle le chemin de transfert des plaquettes ? , comprendre la méthode de couverture du chemin.

Configuration de l'alimentation en air et niveau de filtration

La protection locale des stations de chargement et de déchargement peut être configurée avec l'EFU côté équipement, et la structure peut être sélectionnée en fonction des exigences d'espace et d'alimentation en air. Le niveau de filtration doit être déterminé en fonction de la sensibilité de la plaquette.

Veuillez vous référer au côté de l'équipement supportant Unité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU , le niveau de filtration peut être compris Filtres HEPA vs ULPA , vérifiez l'efficacité, la taille et le joint d'installation. Veuillez vous référer à l'alimentation en air de fond de la pièce Produits d'approvisionnement en air pur FFU , la logique de division du travail entre les deux est La division du travail entre l'EFU côté appareil et la FFU salle est expliquée en détail.

Validation dynamique des cycles de chargement et de déchargement de la couverture

La vérification des stations de chargement et de déchargement doit être effectuée pendant le cycle de chargement et de déchargement lui-même, plutôt que de simples tests statiques. Le contenu de la vérification doit inclure :

• flux d'air et particules lors de l'ouverture des portes ;

• Flux d'air pendant le retrait et le serrage du film ;

• L'état des particules à chaque position sur le chemin de transfert ;

• Effet de protection de la position de transfert ;

• Temps de récupération dans des conditions dynamiques.

L'emplacement du point d'échantillonnage doit couvrir l'emplacement réel où passe la tranche, plutôt que juste sous l'orifice d'alimentation en air. Des méthodes connexes peuvent être trouvées dans Pourquoi le point de prélèvement ne peut-il pas être situé juste en dessous de la sortie d’alimentation en air ? et Comment un changement de hauteur de travail affecte-t-il la position de détection ?。

Exemple de jugement de projet

De la poussière tombe occasionnellement sur les plaquettes à une certaine station de chargement et de déchargement. L'enquête a révélé que l'alimentation en air était bloquée lorsque le robot ramassait les tranches et que celles-ci se trouvaient dans une zone de protection faible au niveau de la position de serrage. Méthode de réglage : ajustez la direction de l'alimentation en air de sorte que la position de serrage se situe dans la plage de couverture du débit d'air. Après réglage, la poussière est réduite.

Un autre projet a montré des particules sur la surface de la plaquette lors de l'ouverture de la porte. L'enquête a révélé que le flux d'air refluait au niveau de l'ouverture et que l'air extérieur entrait. Méthode de réglage : augmenter le débit d'air de protection local à l'ouverture et optimiser la séquence d'ouverture de la porte. Après réglage, les particules diminuent à l'ouverture de la porte.

Ces deux situations illustrent que : pour réduire la poussière dans la station de chargement et de déchargement des plaquettes, les ouvertures, les zones de serrage et de transfert doivent être couvertes, et la protection doit se poursuivre jusqu'à ce que la plaquette entre dans une position contrôlée.

Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

Support d'équipement industriel Aili

Le contrôle de la poussière dans les stations de chargement et de déchargement des plaquettes nécessite de couvrir les ouvertures, les zones de serrage et de transfert. Aili Industrial dispose de capacités de collaboration dans les domaines des ventilateurs, des moteurs, des filtres, des systèmes de contrôle et des liens complets d'assemblage de machines. Il peut vérifier la configuration de l'EFU, la direction de l'alimentation en air, le niveau de filtration et la plage de protection en fonction du chemin de chargement et de déchargement des plaquettes, du mouvement du robot et de l'espace de l'équipement, contribuant ainsi à étendre la protection locale aux positions clés du processus de transfert, plutôt que de se concentrer uniquement sur un point statique de la plate-forme de chargement et de déchargement. La prise en charge côté appareil peut être consultée Unité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU , veuillez vous référer à l'emballage du filtre. Filtres HEPA et ULPA , veuillez vous référer à l'alimentation en air ambiant Produits d'alimentation en air pur FFU。