Как станции обработки пластин могут снизить уровень пыли во время воздействия?

Станция загрузки пластин — это переходная зона, где пластины перемещаются из контролируемого контейнера во внутреннюю часть оборудования. На этом этапе пластина извлекается из FOUP или другого контейнера, зажимается, переносится и вводится внутрь оборудования. Хотя время воздействия короткое, при отсутствии защиты частицы могут оседать на поверхности пластины.

Для снижения воздействия падающей пыли необходимо закрыть отверстия, зоны зажима и транспортировки чистым воздухом, одновременно контролируя персонал, материальные и институциональные источники. Защита должна продолжаться до тех пор, пока пластина не окажется в контролируемом положении и не сможет сфокусироваться на статической точке на загрузочной платформе.

Сначала четко определите период воздействия

Период выдержки пластин на станции загрузки и выгрузки обычно включает:

• Момент открытия дверцы контейнера;

• Роботизированный захват и зажим рук;

• Перенос пластин из контейнера внутрь оборудования;

• Ожидание и передача.

Условия воздействия и риски различаются для каждого периода. Сначала следует калибровать период воздействия, а затем определять объем защиты. Информацию об устройстве защиты зоны открывания дверей ФОУП см. Как организовать локальный защитный приток воздуха в зоне проема дверей ФОУП? , узнайте о местных методах защиты проемов.

Открытое положение является основным путем проникновения частиц.

Когда контейнер открыт, отверстие соединяется с внешней средой, и частицы могут проникать через отверстие. Защитный поток воздуха должен перекрывать проем, чтобы уменьшить попадание наружного воздуха.

Необходимо подтвердить:

• Находится ли отверстие в зоне действия подачи воздуха;

• Имеется ли местный защитный приток воздуха на проеме;

• Направление отверстия обращено к источнику загрязнения?

• Есть ли скопление частиц вокруг отверстия?

Об организации воздушного потока на границе проема см. Как спланировать подачу чистого воздуха в закрытые полости оборудования? , разберитесь с управлением воздушным потоком в открытом состоянии.

Охват воздушным потоком зон зажима и передачи

Когда робот захватывает пластину, зажимы и рычаги меняют местный поток воздуха. В процессе переноса пластина проходит через разные положения, и ключевое значение имеет то, продолжает ли поток защитного воздуха покрывать ее.

Необходимо подтвердить:

• Находится ли положение зажима в пределах диапазона подачи воздуха;

• Блокирует ли движение манипулятора подачу воздуха;

• Защищен ли путь, по которому проходит пластина;

• Стабилен ли поток воздуха в месте передачи?

Информацию о влиянии манипулятора на поток воздуха см. Как роботы, работающие с пластинами, могут быть включены в проверку воздушного потока? , понять метод проверки в движении.

Контроль времени экспозиции

Чем дольше выдержка, тем больше вероятность оседания частиц. Сокращение времени воздействия снижает риск выпадения пыли.

Учитывать:

• Оптимизировать скорость движения манипулятора;

• Сократите время ожидания и ожидания;

• Избегайте ненужных повторяющихся действий;

• Сократите время пребывания пластины в открытом положении.

Контроль времени воздействия и защита воздушного потока должны выполняться одновременно. Если защитный поток воздуха недостаточен, сокращение времени может только снизить риск, но не устранить его.

Контроль кадровых и институциональных источников

Частицы могут образовываться в результате деятельности человека и движения механизмов вблизи станций погрузки и разгрузки. Эти источники должны контролироваться:

• Уменьшите количество людей, ходящих вокруг проемов;

• Проверить смазку и износ механизма;

• Избегайте выполнения технического обслуживания или очистки вблизи чувствительных мест;

• Контролируйте размещение материалов и инструментов.

Информацию о влиянии деятельности персонала на воздушный поток см. Как работа манипулятора повлияет на подачу воздуха на верстак? , узнайте, как устранять помехи от движения.

Защита должна распространяться до конца передачи

Защита не должна охватывать только одну стационарную точку погрузочной платформы. После того как пластина извлекается из контейнера и попадает в оборудование по пути передачи, защита должна продолжаться до тех пор, пока пластина не займет контролируемое положение.

Необходимо подтвердить:

• Защищено ли среднее положение пути передачи;

• находится ли точка переключения в зоне покрытия воздушного потока;

• Частично ли защищен внутренний вход оборудования;

• Есть ли перебой в защите.

Информацию о защите пути передачи в EFEM см. Как внутренняя защита от очистки EFEM защищает путь передачи пластины? , понять метод покрытия пути.

Конфигурация подачи воздуха и уровень фильтрации

Локальная защита станций погрузки и разгрузки может быть сконфигурирована с помощью EFU со стороны оборудования, а структура может быть выбрана в соответствии с требованиями к пространству и подаче воздуха. Уровень фильтрации следует определять исходя из чувствительности пластины.

Пожалуйста, обратитесь к стороне оборудования, поддерживающей Блок фильтра концевого вентилятора оборудования EFU , уровень фильтрации можно понять Фильтры HEPA и ULPA , проверьте эффективность, размер и монтажное уплотнение. Пожалуйста, обратите внимание на подачу фонового воздуха в помещение. Продукция ФФУ для подачи чистого воздуха , логика разделения труда между ними такова. разделение труда между EFU на стороне устройства и FFU в помещении . Подробно объясняется

Динамическая проверка циклов загрузки и разгрузки покрытия

Проверка станций погрузки и разгрузки должна проводиться в ходе фактического цикла погрузки и разгрузки, а не только при статических испытаниях. Содержание проверки должно включать:

• поток воздуха и частицы при открытии дверей;

• Воздушный поток во время удаления и зажима пленки;

• Состояние частицы в каждой позиции на пути передачи;

• Защитный эффект положения передачи;

• Время восстановления в динамических условиях.

Точка отбора проб должна охватывать фактическое место прохождения пластины, а не прямо под отверстием подачи воздуха. Сопутствующие методы можно найти в Почему нельзя расположить точку отбора проб прямо под отверстием подачи воздуха? и Как изменение рабочей высоты влияет на положение обнаружения?。

Пример оценки проекта

На определенных станциях загрузки и разгрузки на пластины время от времени попадает пыль. Расследование показало, что подача воздуха была заблокирована, когда робот поднимал пластины, и пластины находились в слабой защитной зоне в положении зажима. Метод регулировки: Отрегулируйте направление подачи воздуха так, чтобы положение зажима находилось в пределах зоны действия воздушного потока. После регулировки количество пыли уменьшается.

Другой проект показал частицы на поверхности пластины при открытии двери. Расследование показало, что поток воздуха через отверстие шел назад и внутрь поступал наружный воздух. Метод регулировки: увеличить локальный защитный поток воздуха при открытии и оптимизировать последовательность открытия двери. После регулировки количество частиц уменьшается при открытии двери.

Эти две ситуации иллюстрируют следующее: для уменьшения пыли на станции загрузки и разгрузки пластин необходимо закрыть отверстия, зоны зажима и передачи, а защита должна продолжаться до тех пор, пока пластина не займет контролируемое положение.

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

Поддержка промышленного оборудования Aili

Борьба с пылью на станциях загрузки и выгрузки пластин требует закрытия проемов, зон зажима и передачи. Aili Industrial имеет возможности совместной работы в области вентиляторов, двигателей, фильтров, систем управления и комплексных звеньев сборки машин. Он может проверять конфигурацию EFU, направление подачи воздуха, уровень фильтрации и диапазон защиты в зависимости от пути загрузки и разгрузки пластин, движения робота и пространства для оборудования, помогая распространить локальную защиту на ключевые позиции в процессе передачи, а не просто сосредотачиваться на статической точке на платформе загрузки и разгрузки. Вы можете просмотреть комплект оборудования Блок фильтра концевого вентилятора оборудования EFU , см. комплект фильтров. Фильтры HEPA и ULPA , см. подачу воздуха в помещение. Продукты FFU для обеспечения чистого воздуха。