كيف يمكن لمحطات معالجة البسكويت أن تقلل من الغبار أثناء التعرض؟

محطة تحميل الرقاقات هي المنطقة الانتقالية حيث يتم نقل الرقاقات من الحاوية الخاضعة للرقابة إلى الجزء الداخلي من المعدات. في هذه المرحلة، تتم إزالة الرقاقة من FOUP أو أي حاوية أخرى، ويتم تثبيتها ونقلها وإدخالها داخل الجهاز. على الرغم من أن وقت التعرض قصير، إذا لم تكن الحماية موجودة، فقد تستقر الجزيئات على سطح الرقاقة.

يتطلب الحد من التعرض للغبار المتساقط تغطية الفتحات ومناطق التثبيت والنقل بالهواء النظيف مع التحكم في الأفراد والمواد والمصادر المؤسسية. يجب أن تستمر الحماية حتى تصبح الرقاقة في وضع متحكم فيه ولا يمكنها التركيز على نقطة ثابتة على رصيف التحميل.

أولاً حدد بوضوح فترة التعرض

تتضمن فترة تعرض الرقائق في محطة التحميل والتفريغ عادة ما يلي:

• لحظة فتح الحاوية الباب؛

• انتقاء وتثبيت الذراع الروبوتية؛

• نقل الرقائق من الحاوية إلى داخل المعدات؛

• الانتظار والتسليم.

تختلف ظروف التعرض والمخاطر لكل فترة. ويجب معايرة فترة التعرض أولاً، ومن ثم يجب تحديد نطاق الحماية. للتعرف على ترتيبات الحماية لمنطقة فتح باب FOUP، يرجى الرجوع إلى كيفية ترتيب تدفق الهواء الوقائي المحلي في منطقة فتح باب FOUP؟ تعرف على طرق الحماية المحلية للفتحات.

موضع الفتح هو المسار الرئيسي لدخول الجسيمات

عند فتح الحاوية، يتم توصيل الفتحة بالبيئة الخارجية، وقد تدخل الجزيئات من خلال الفتحة. يجب أن يغطي تدفق الهواء الوقائي الفتحة لتقليل دخول الهواء الخارجي.

بحاجة إلى تأكيد:

• ما إذا كانت الفتحة تقع ضمن منطقة تغطية إمداد الهواء؛

• ما إذا كان هناك تدفق هواء وقائي محلي عند الفتحة؛

• هل اتجاه الفتحة مواجه لمصدر التلوث؟

• هل هناك أي تراكم للجزيئات حول الفتحة؟

للتعرف على تنظيم تدفق الهواء عند حدود الفتح، يرجى الرجوع إلى كيفية التخطيط لإمداد الهواء النظيف لتجويف المعدات المغلقة؟ فهم إدارة تدفق الهواء في الحالة المفتوحة.

تغطية تدفق الهواء لمناطق التثبيت والنقل

عندما يمسك الروبوت برقاقة، تغير المشابك والأذرع تدفق الهواء المحلي. أثناء عملية النقل، تمر الرقاقة عبر مواضع مختلفة، وما إذا كان تدفق الهواء الوقائي يستمر في تغطيتها هو أمر أساسي.

بحاجة إلى تأكيد:

• ما إذا كان موضع التثبيت ضمن نطاق إمداد الهواء؛

• ما إذا كانت حركة المناور تمنع إمداد الهواء؛

• ما إذا كان المسار الذي تمر به الرقاقة محميًا طوال الوقت؛

• هل تدفق الهواء في موقع التسليم مستقر؟

لمعرفة تأثير المناور على تدفق الهواء، يرجى الرجوع إلى كيف يمكن دمج روبوتات معالجة الرقاقات في التحقق من تدفق الهواء؟ ، فهم طريقة التحقق قيد الحركة.

التحكم في وقت التعرض

كلما زاد التعرض، زادت فرصة استقرار الجسيمات. يؤدي تقليل وقت التعرض إلى تقليل خطر تساقط الغبار.

يعتبر:

• تحسين سرعة حركة المناور؛

• تقليل أوقات الانتظار والإقامة؛

• تجنب الإجراءات المتكررة غير الضرورية؛

• تقصير الوقت الذي يسكن فيه الرقاقة في الوضع المفتوح.

يجب إجراء التحكم في وقت التعرض وحماية تدفق الهواء في وقت واحد. إذا كان تدفق الهواء الوقائي غير كافٍ، فإن تقصير الوقت لن يؤدي إلا إلى تقليل المخاطر، وليس القضاء عليها.

السيطرة على الموظفين والمصادر المؤسسية

قد تتولد الجسيمات عن طريق الأنشطة البشرية وحركات الآليات بالقرب من محطات التحميل والتفريغ. وينبغي السيطرة على هذه المصادر:

• تقليل عدد الأشخاص الذين يتجولون حول الفتحات؛

• التحقق من حالة التشحيم والتآكل للآلية؛

• تجنب إجراء أعمال الصيانة أو التنظيف بالقرب من المواقع الحساسة؛

• التحكم في وضع المواد والأدوات.

لمعرفة تأثير أنشطة الموظفين على تدفق الهواء، يرجى الرجوع إلى كيف سيتداخل تشغيل الذراع مع إمداد الهواء إلى طاولة العمل؟ ، تعرف على كيفية استكشاف أخطاء تداخل الحركة وإصلاحها.

ويجب أن تمتد الحماية حتى نهاية عملية النقل

يجب ألا تغطي الحماية نقطة ثابتة واحدة فقط من رصيف التحميل. بعد إزالة الرقاقة من الحاوية وإدخالها إلى المعدات من خلال مسار النقل، يجب أن تستمر الحماية حتى تدخل الرقاقة في وضع متحكم فيه.

بحاجة إلى تأكيد:

• ما إذا كان الموضع الأوسط لمسار النقل محميًا؛

• ما إذا كانت نقطة التسليم تقع ضمن منطقة تغطية تدفق الهواء؛

• ما إذا كان المدخل الداخلي للمعدات محميًا جزئيًا؛

• ما إذا كان هناك انقطاع في الحماية.

لحماية مسار النقل داخل EFEM، يرجى الرجوع إلى كيف تغطي الحماية الداخلية النظيفة EFEM مسار نقل الرقاقة؟ ، فهم طريقة تغطية المسار.

تكوين إمدادات الهواء ومستوى الترشيح

يمكن تكوين الحماية المحلية لمحطات التحميل والتفريغ باستخدام EFU من جانب المعدات، ويمكن اختيار الهيكل وفقًا لمتطلبات إمداد المساحة والهواء. ينبغي تحديد مستوى الترشيح على أساس حساسية الرقاقة.

يرجى الرجوع إلى دعم جانب المعدات وحدة تصفية مروحة نهاية معدات EFU ، يمكن فهم مستوى الترشيح مرشحات HEPA مقابل ULPA ، تحقق من الكفاءة والحجم وختم التثبيت. يرجى الرجوع إلى إمدادات الهواء الخلفية للغرفة FFU منتجات إمداد الهواء النظيف ، منطق تقسيم العمل بين الاثنين تم شرح تقسيم العمل بين EFU من جانب الجهاز وFFU بالغرفة بالتفصيل.

التحقق الديناميكي من دورات التحميل والتفريغ للتغطية

يجب أن يتم التحقق من محطات التحميل والتفريغ خلال دورة التحميل والتفريغ الفعلية، وليس مجرد اختبار ثابت. يجب أن يتضمن محتوى التحقق ما يلي:

• تدفق الهواء والجسيمات عند فتح الأبواب.

• تدفق الهواء أثناء إزالة الفيلم وتثبيته؛

• حالة الجسيم في كل موضع على مسار النقل؛

• تأثير الحماية لموضع التسليم؛

• وقت الاسترداد في ظل الظروف الديناميكية.

يجب أن يغطي موقع نقطة أخذ العينات الموقع الفعلي الذي تمر فيه الرقاقة، وليس فقط أسفل منفذ الإمداد الجوي. يمكن العثور على الطرق ذات الصلة في لماذا لا يمكن وضع نقطة أخذ العينات أسفل مخرج إمداد الهواء مباشرةً؟ و كيف يؤثر التغيير في ارتفاع العمل على موضع الكشف؟。

مثال حكم المشروع

يسقط الغبار أحيانًا على الرقائق في محطة تحميل وتفريغ معينة. ووجد التحقيق أن مصدر الهواء قد تم حظره عندما كان الروبوت يلتقط الرقائق، وكانت الرقائق في منطقة حماية ضعيفة في موضع التثبيت. طريقة التعديل: اضبط اتجاه إمداد الهواء بحيث يكون موضع التثبيت ضمن نطاق تغطية تدفق الهواء. بعد التعديل، يتم تقليل الغبار.

وأظهر مشروع آخر جزيئات على سطح الرقاقة عند فتح الباب. وكشف التحقيق أن تدفق الهواء كان يتدفق للخلف عند الفتحة وكان الهواء الخارجي يدخل. طريقة التعديل: زيادة تدفق الهواء الوقائي المحلي عند الفتح وتحسين تسلسل فتح الباب. بعد التعديل، تنخفض الجزيئات عند فتح الباب.

توضح هاتان الحالتان ما يلي: لتقليل الغبار في محطة تحميل وتفريغ الرقاقة، يجب تغطية الفتحات ومناطق التثبيت والنقل، ويجب أن تستمر الحماية حتى تدخل الرقاقة في وضع متحكم فيه.

النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول

دعم المعدات الصناعية Aili

يتطلب التحكم في الغبار في محطات تحميل وتفريغ الرقائق تغطية الفتحات ومناطق التثبيت والنقل. تتمتع Aili Industrial بقدرات تعاونية في المراوح والمحركات والمرشحات وأنظمة التحكم وروابط تجميع الماكينة الكاملة. يمكنه التحقق من تكوين EFU، واتجاه إمداد الهواء، ومستوى الترشيح ونطاق الحماية بناءً على مسار تحميل وتفريغ الرقاقة، وحركة الروبوت ومساحة المعدات، مما يساعد على توسيع الحماية المحلية إلى المواقع الرئيسية في عملية النقل، بدلاً من مجرد التركيز على نقطة ثابتة على منصة التحميل والتفريغ. يمكنك عرض حزمة المعدات وحدة مرشح المروحة الطرفية لمعدات EFU ، يرجى الرجوع إلى حزمة الفلتر. مرشحات HEPA وULPA ، يرجى الرجوع إلى مصدر هواء الغرفة منتجات إمداد الهواء النظيف FFU。