كيف تغطي الحماية الداخلية النظيفة FEM مسار نقل الرقاقة؟

EFEM (وحدة الواجهة الأمامية للمعدات) هي منطقة الانتقال حيث تمر الرقائق من واجهة التحميل إلى معدات العملية. يتم إخراج الرقائق من علبتها، ويتم التقاطها ونقلها وتسليمها هنا. وقت التعرض طويل ويتضمن المسار مواقع متعددة. يجب أن تغطي الحماية النظيفة الداخلية مسار النقل الفعلي هذا، بدلاً من مجرد التحقق من نقطة ثابتة معينة.

إنه يقيس فقط الحالة الثابتة للتجويف أو المناول، ولا يمكنه الإشارة إلى الحالة النظيفة أثناء الحركة. سيبدأ ما يلي من مسار النقل ودرع الروبوت وواجهة التحميل وبت ذاكرة التخزين المؤقت وطريقة التحقق.

تقسيم مناطق الحماية حسب مسارات النقل الفعلية

تتضمن مسارات الرقاقة داخل EFEM عادةً ما يلي:

• واجهة التحميل وموضع فتح الصندوق؛

• وضعية التقاط الذراع الروبوتية؛

• الموقع الوسيط الذي يمر من خلاله الإرسال؛

• بت ذاكرة التخزين المؤقت أو موقع التخزين المؤقت؛

• موقع الواجهة مع معدات العملية.

لكل موقع أوقات تعرض مختلفة والمؤسسات المحيطة به واحتياجات الحماية المختلفة. تحقق مما إذا كان تدفق الهواء يغطي سطح الرقاقة خطوة بخطوة على طول المسار، بدلاً من التركيز على نقطة واحدة فقط.

قد تؤدي حركة الروبوت إلى منع إمداد الهواء

عندما يمتد المناور ويعود ويدور، فإنه سيغير مسار تدفق الهواء داخل EFEM. قد تسد الأذرع سطح إمداد الهواء، مما يؤدي إلى حدوث استيقاظ محلي أو مناطق ظل.

ينبغي أن يشمل التحقق ما يلي:

• المناور في وضع انتظار ثابت؛

• إجراءات التقاط الفيلم وإصداره؛

• الوضع المتوسط ​​أثناء الإرسال؛

• آثار الاستيقاظ أثناء العودة السريعة.

لمعرفة تأثير المناور على تدفق الهواء، يرجى الرجوع إلى كيف يمكن دمج روبوتات معالجة الرقاقات في التحقق من تدفق الهواء؟ ، فهم طريقة التحقق قيد الحركة. للتعرف على تداخل ذراع التشغيل مع مصدر الهواء الخاص بطاولة العمل، يرجى الرجوع إلى كيف سيتداخل تشغيل الذراع مع إمداد الهواء إلى طاولة العمل؟ وعلى الرغم من اختلاف الأجسام، إلا أن آليات عرقلة تدفق الهواء متشابهة.

واجهة التحميل هي نقطة الضعف في الحدود

تربط واجهة التحميل EFEM بالبيئة الخارجية وهي نقطة ضعف في حدود تدفق الهواء. عندما يفتح FOUP الباب، قد يتغير اتجاه تدفق الهواء عند الواجهة وقد يدخل الهواء الخارجي.

بحاجة إلى تأكيد:

• ما إذا كان تدفق الهواء يتدفق مرة أخرى إلى EFEM عند فتح الباب؛

• هل يوجد تدفق هواء وقائي محلي حول الواجهة؟

• هل فرق ضغط الواجهة مستقر؟

• ما إذا كانت حركة جسم الباب تؤثر على تدفق الهواء الداخلي.

للتعرف على ترتيبات الحماية لمنطقة فتح باب FOUP، يرجى الرجوع إلى كيفية ترتيب تدفق الهواء الوقائي المحلي في منطقة فتح باب FOUP؟ ، فهم طرق الحماية المحلية في الواجهة.

حماية بتات ذاكرة التخزين المؤقت ومواقع التدريج

قد تبقى الرقاقة في ذاكرة التخزين المؤقت أو موقع التدريج لفترة من الوقت. ما إذا كان تدفق الهواء يغطي سطح الرقاقة أثناء فترة السكون يحدد ما إذا كان من المحتمل أن تستقر الجسيمات.

بحاجة إلى تأكيد:

• ما إذا كان موقع ذاكرة التخزين المؤقت ضمن نطاق تغطية إمدادات الهواء؛

• هل تدفق الهواء مستقر أثناء الإقامة؟

• ما إذا كان موضع التوقف قريبًا من آلية توليد الغبار؛

• ما إذا كانت هناك حاجة إلى حماية محلية معززة.

للتعرف على متطلبات الحماية المستمرة للمنطقة العازلة للرقاقة، يرجى الرجوع إلى هل تحتاج المنطقة العازلة للرقاقة إلى إمداد مستمر بالهواء النظيف؟ ، فهم اعتبارات الحفظ في حالة الإقامة.

تنظيم تدفق الهواء عند الفتحات والحدود

يتم توصيل الجزء الداخلي والخارجي من EFEM من خلال واجهات التحميل والفتحات الأخرى. سيؤثر موقع وحجم الفتحات على تنظيم تدفق الهواء الداخلي.

يجب التحقق من:

• ما إذا كان موضع الفتح في اتجاه مجرى تدفق الهواء الوقائي؛

• ما إذا كانت هناك حواجز أو ستائر هوائية عند الفتحة؛

• ما إذا كان تدفق الهواء الداخلي مستقرًا عند تغيير الفتح؛

• هل يتم الحفاظ على فرق الضغط الداخلي؟

للتعرف على معالجة حدود الفتح وتدفق الهواء لتجويف المعدات المغلقة، يرجى الرجوع إلى كيفية التخطيط لإمداد الهواء النظيف لتجويف المعدات المغلقة؟ لفهم تأثير الفتحات على تدفق الهواء.

تكوين إمدادات الهواء ومستوى الترشيح

عادةً ما يتم استخدام EFU من جانب المعدات داخل EFEM لتزويد الهواء المحلي. يجب تحديد مستوى الترشيح وطريقة إمداد الهواء بناءً على حساسية الرقاقة وظروف الخلفية.

للحصول على الحماية الجزئية من جانب المعدات، يرجى الرجوع إلى تختار وحدة مرشح المروحة من جانب المعدات EFU هيكلًا يعتمد على مساحة المعدات ومتطلبات إمداد الهواء. يمكن فهم اختيار مستوى الفلتر مرشحات HEPA مقابل ULPA ، تحقق من الكفاءة والحجم وختم التثبيت. يرجى الرجوع إلى إمدادات الهواء الخلفية للغرفة FFU منتجات إمداد الهواء النظيف ، منطق تقسيم العمل بين الاثنين تم شرح تقسيم العمل بين EFU من جانب الجهاز وFFU بالغرفة بالتفصيل.

يجب أن يغطي التحقق عملية الحركة

يجب أن يتم التحقق من تأثير الحماية الداخلية لـ EFEM أثناء عملية النقل الفعلية للرقاقة، بدلاً من مجرد القياس الثابت. يجب أن يتضمن محتوى التحقق ما يلي:

• حالة الحبوب للرقاقة في كل موقع مكشوف؛

• يتغير تدفق الهواء أثناء حركة المناور؛

• حالة الحدود عندما تفتح واجهة التحميل الباب؛

• تأثير الحماية أثناء بقاء بت ذاكرة التخزين المؤقت؛

• وقت الاسترداد في ظل الظروف الديناميكية.

يجب أن يغطي موقع نقطة أخذ العينات الموقع الفعلي الذي تمر فيه الرقاقة، وليس فقط أسفل منفذ الإمداد الجوي. ويمكن الرجوع إلى مبدأ اختيار نقطة أخذ العينات لماذا لا يمكن وضع نقطة أخذ العينات أسفل مخرج إمداد الهواء مباشرةً؟ يرجى الرجوع إلى اختيار الارتفاع كيف يؤثر التغيير في ارتفاع العمل على موضع الكشف؟。

مثال حكم المشروع

اجتاز اختبار التجويف الداخلي لـ EFEM الاختبار، لكن الجسيمات تحدث أحيانًا أثناء عملية نقل الرقاقة. ووجد التحقيق أنه عندما امتد المناول للخارج، قام بسد جزء من سطح إمداد الهواء، وكانت الرقاقة في منطقة حماية ضعيفة في المنتصف. طريقة التعديل: اضبط موضع EFU واتجاه إمداد الهواء بحيث يكون مسار الرقاقة دائمًا ضمن التغطية الفعالة. تعديل تقليل الحبوب الديناميكي.

يحتوي منفذ تحميل عنصر آخر على جزيئات داخلية ترتفع عند فتح الباب. كشف التحقيق أن تدفق الهواء كان يتدفق للخلف عند الواجهة. طريقة التعديل: زيادة تدفق الهواء الوقائي المحلي في الواجهة وتحسين تسلسل عمل الباب. بعد التعديل، تنخفض قيمة ذروة الجسيمات عند فتح الباب.

توضح هاتان الحالتان أن الحماية الداخلية لـ EFEM يجب أن تغطي مسار النقل الفعلي للرقاقة ولا يمكنها فقط التحقق من التجويف أو النقاط الثابتة.

النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول

دعم المعدات الصناعية Aili

يتضمن مسار نقل الرقاقة داخل EFEM مواقع متعددة لحركات الروبوت، وفتح الحدود، وتوقف المخزن المؤقت. تتمتع Aili Industrial بقدرات تعاونية في المراوح والمحركات والمرشحات وأنظمة التحكم وروابط تجميع الماكينة الكاملة. يمكنه التحقق من تكوين EFU، واتجاه إمداد الهواء، ومستوى الترشيح وظروف الواجهة بناءً على مسار نقل الرقاقة الفعلي ومساحة المعدات، مما يساعد على تغطية الحماية المحلية للمواضع الرئيسية أثناء الحركة، بدلاً من مجرد التحقق من حالة التجويف. يمكن الاطلاع على دعم جانب الجهاز وحدة مرشح المروحة الطرفية لمعدات EFU ، يرجى الرجوع إلى حزمة الفلتر. مرشحات HEPA وULPA ، يرجى الرجوع إلى مصدر هواء الغرفة منتجات إمداد الهواء النظيف FFU。