كيفية تقسيم العمل بين EFU من جانب الجهاز وFFU الغرفة؟

في الأنظمة النظيفة، غالبًا ما تتم مناقشة FFU وEFU معًا، لكن مهامهما مختلفة. تشارك الغرفة FFU بشكل أساسي في إمداد الهواء بالبيئة الخلفية للحفاظ على نظافة هواء الغرفة أو المنطقة؛ تعمل وحدة EFU من جانب المعدات بشكل أساسي على حماية الجزء الداخلي من المعدات المخصصة أو مناطق التشغيل المحلية وحل مشكلات التحكم في الجسيمات في تجاويف المعدات أو محطات العمل أو المسارات الحرجة.

يمكن استخدام الاثنين معًا، لكن لا يمكن أن يحل كل منهما محل الآخر. إذا تم استخدام وحدة FFU للغرفة كحماية داخلية للمعدات، أو تم استخدام وحدة EFU كمزود هواء للغرفة بأكملها، فقد تنشأ حدود حماية غير واضحة، أو تداخل في تدفق الهواء، أو نزاعات حول القبول. لنبدأ بعدة جوانب عملية.

قم أولاً بتوضيح حدود الحماية: مستوى الغرفة أو مستوى المعدات

كائن الحماية للغرفة FFU هو غرفة أو منطقة، وعادةً ما يتم تحديد نطاق التقييم بناءً على حدود الغرفة بأكملها وحجم الجسيمات وحالة الإشغال. كائنات الحماية الخاصة بـ EFU من جانب المعدات هي الجزء الداخلي من الجهاز أو التجويف أو محطات العمل المحلية. نطاق التقييم أصغر، لكنه يتأثر أكثر بحجب الآلية وإجراءات فتح الباب وتبديل العادم.

إذا كان كائن الحماية عبارة عن محطة عمل مفتوحة أو نقطة تشغيل رئيسية، فيمكنك الرجوع إلى ما هي المتطلبات الأساسية لتنقية محطات العمل الرئيسية فقط؟ تأكد أولاً من إمكانية التحكم في حدود الروابط الحساسة والنقل الأمامي والخلفي. إذا كان تجويف المعدات مغلقًا، فيجب تخطيطه بشكل منفصل وفقًا لمسار تدفق الهواء داخل التجويف. للحصول على طرق محددة، يرجى الرجوع إلى كيفية التخطيط لإمداد الهواء النظيف لتجويف المعدات المغلقة؟。

يمكن أن تؤدي الحدود غير الواضحة إلى اختيار غير صحيح للمعدات. على سبيل المثال، تتطلب الغرفة ISO 7، لكن نقطة تعرض معينة للرقاقة داخل الجهاز تتطلب حماية أعلى. في هذه الحالة، لا يمكنك الاعتماد فقط على FFU للغرفة، ولا يمكنك تطبيق مستوى الغرفة مباشرةً على الجزء الداخلي من الجهاز.

تختلف العلاقة بين مصدر سحب الهواء وهواء العادم

عادةً ما تقوم غرفة FFU بأخذ الهواء من أعلى السقف، وتصفيته وإرساله إلى الغرفة، ثم تقوم بتدويره عبر الهواء الراجع أو مسار العادم. يعد مصدر الهواء الداخل ومقاومة الهواء الراجع وفرق ضغط الغرفة جزءًا من تصميم النظام.

يعد مصدر سحب الهواء لوحدة EFU من جانب المعدات أكثر تعقيدًا. قد يأخذ الهواء من الغرفة التي يوجد بها الجهاز، أو قد يأخذ الهواء من الدورة الداخلية للمعدات، أو قد يكون متصلاً بمجرى هواء مستقل. اعتمادًا على مصدر دخول الهواء، سيختلف عمر مرشح وحدة EFU ومخاطر التلوث ومقاومة النظام.

إذا أخذ EFU الهواء من الغرفة، وكانت الغرفة نفسها بها تقلبات جسيمية، فسوف يزيد حمل مدخل EFU؛ إذا قام EFU بسحب الهواء من داخل الجهاز، فقد يدخل الغبار الداخلي مباشرة إلى مدخل EFU. لذلك، يجب تحديد موقع مدخل الهواء ومسار التلوث لوحدة EFU بوضوح، ولا يمكن افتراض أن الهواء الموجود داخل الجهاز مناسب للتدوير.

علاقة العادم مهمة أيضًا. يجب أن يكون هناك توازن بين عادم المعدات وعادم العملية وإمدادات الهواء EFU. إذا كان حجم هواء العادم أكبر من حجم الهواء الإضافي، فقد يشكل التجويف ضغطًا سلبيًا ويمتص الهواء الخلفي من خلال الفجوات؛ إذا كان حجم إمداد الهواء EFU كبيرًا جدًا، فقد يتداخل مع تأثير تجميع هواء العادم. لمعرفة اختلافات الضغط المحددة ومسارات تدفق الهواء، يرجى الرجوع إلى كيفية التخطيط لإمداد الهواء النظيف لتجويف المعدات المغلقة؟。

تجنب مجموعتين من تدفقات الهواء تتداخل مع بعضها البعض

عند تشغيل الغرفة FFU وEFU في نفس الوقت، قد تتفاعل مجموعتا تدفقات الهواء مع بعضهما البعض عند فتحات المعدات أو فجوات الأبواب أو قنوات الصيانة. الأسئلة المتداولة تشمل:

• يتأثر مدخل EFU بإمدادات هواء الغرفة، مما يؤدي إلى تغيرات في حجم الهواء الداخل أو اتجاهه؛

• يقوم هواء العادم الخاص بالجهاز بسحب تدفق الهواء الوقائي EFU بعيدًا، مما يتسبب في عدم كفاية سرعة الرياح في المناطق الرئيسية؛

• يتداخل تدفق الهواء الجانبي للغرفة FFU مع الحدود الواقية المحلية لـ EFU؛

• عندما يتم إيقاف تشغيل الجهاز أو فتح الباب، يدخل الهواء الخلفي إلى داخل الجهاز من خلال الفتحات.

يجب أن يتحقق التحقق أيضًا من حالة تشغيل الغرفة والمعدات. إذا قمت بقياس سرعة الرياح فقط على سطح منفذ EFU، فلا يمكن معرفة ما إذا كانت الحماية الداخلية للمعدات فعالة؛ إذا قمت بقياس الجزيئات الموجودة في الغرفة فقط، فلن تتمكن من معرفة ما إذا كانت المواقع الرئيسية داخل الجهاز تلبي المعايير أم لا.

وينبغي ترتيب نقاط أخذ العينات بحيث تغطي المواقع الحساسة داخل الجهاز، وليس فقط أسفل منفذ إمداد الهواء. يمكن العثور على الطرق ذات الصلة في لماذا لا يمكن وضع نقطة أخذ العينات أسفل مخرج إمداد الهواء مباشرةً؟。

ربط التحكم: إعدادات منفصلة أو إدارة موحدة

تتطلب الغرفة FFU وEFU عادةً منطق تحكم مختلفًا. قد تعمل غرفة FFU في مناطق مختلفة وفقًا لأنماط العمل والعمل وتوفير الطاقة؛ قد يلزم ربط وحدة EFU ببدء تشغيل المعدات وإيقافها، وفتح الباب، وتبديل العادم.

إذا كانت هناك حاجة إلى إدارة النظامين بشكل موحد، فيمكن الجمع بينهما يقوم نظام التحكم في مجموعة FFU بتكوين إستراتيجيات التشغيل وفقًا للمناطق والفترات الزمنية. ومع ذلك، يجب أن يكون منطق الارتباط واضحًا: من يبدأ ومن يتوقف أولاً، وما إذا كانت وحدة EFU تبطئ أو تصدر إنذارات عند فتح الباب، وكيف تستجيب وحدة EFU عند تبديل هواء العادم، وكيفية التعافي بعد الصيانة.

يجب توحيد عناوين التحكم وقواعد التقسيم في مرحلة مبكرة لتجنب عدم قدرة دفعات مختلفة من المعدات على الوصول إلى نفس النظام لاحقًا. هذا مهم بشكل خاص عند التوسع المعياري، يرجى الرجوع إلى ما هي شروط التوسع لاستخدام الوحدات المستقلة في الأنظمة النظيفة؟。

اختيار المعدات: لا يمكن خلط معلمات FFU وEFU.

عند اختيار غرفة FFU، تحقق من نقطة العمل باستخدام المرشح والضغط الثابت الخارجي وأبعاد التثبيت وطريقة الختم واتجاه الصيانة. للحصول على حكم محدد، يرجى الرجوع إلى لماذا يجب أن ننظر إلى منحنى الأداء الكامل عند اختيار FFU؟ و هل تم اختبار حجم الهواء الاسمي لـ FFU باستخدام مرشح؟。

يتطلب اختيار EFU من جانب المعدات أيضًا دراسة إضافية للمساحة الداخلية للمعدات، ودرع الآلية، وواجهة مدخل الهواء، وعلاقة العادم. يمكن الرجوع إليها وحدة مرشح المروحة الطرفية لمعدات EFU ، تحقق من الظروف المطبقة للهياكل المختلفة.

يجب أن يتوافق اختيار المرشح مع حجم الجسيمات المستهدفة والمقاومة الفعلية.تحتوي صفحات مرشح HEPA وULPA على معلمات لمستويات مختلفة من المنتجات. عند الاختيار، تحقق من كفاءة الطراز المحدد عند حجم الهواء المستهدف. إذا كنت لا تزال غير واضح بشأن الفرق بين تصنيف المساحة وكفاءة المرشح، يمكنك القراءة ما الفرق بين مستوى النظافة وكفاءة الترشيح؟。

يجب أن يكون موقع التثبيت بعيدًا عن العوائق ويجب أن يكون مناسبًا لاستبدال عنصر المرشح وصيانته. سيؤدي عدم كفاية قنوات الصيانة إلى زيادة النفقات اللاحقة. وينعكس هذا في النفقات اللاحقة التي ستزداد بسبب عدم كفاية قنوات الصيانة . هناك تحليل أكثر تحديدًا للتكاليف يوضح

مثال حكم المشروع

في مشروع معدات أشباه الموصلات، تستخدم الغرفة FFU للحفاظ على نظافة الخلفية، ويستخدم مسار نقل الرقاقة داخل المعدات EFU لحمايتها. أثناء التصحيح، وجد أنه بعد بدء عادم المعدات، انخفضت سرعة الرياح في منطقة حماية EFU. وجد التحقيق أن حجم هواء العادم كان أكبر من حجم الهواء الإضافي، وأن الضغط السلبي في التجويف يمتص الهواء الخلفي من خلال صدع الباب. طريقة التعديل: إعادة توازن هواء العادم والهواء الإضافي، وزيادة وصلة فتح الباب بدلاً من استبدال مرشح EFU بكفاءة أعلى.

قام مشروع آخر بتثبيت FFU فوق محطة العمل المفتوحة، بينما تم تركيب EFU على جانب الجهاز. أثناء التشغيل، وجد أن تدفق الهواء الجانبي لوحدة FFU يتداخل مع حدود الحماية المحلية لوحدة EFU. طريقة التعديل: اضبط اتجاه مخرج الهواء FFU، وأضف الحواجز، وأعد قياس سرعة الرياح في المواضع الرئيسية لمحطة العمل. بعد التعديل، تستأنف مجموعتا تدفقات الهواء التآزر.

توضح هاتان الحالتان أن تقسيم العمل بين EFU وFFU لا يتضمن مواقع مختلفة للمعدات فحسب، بل يتضمن أيضًا مصدر مدخل الهواء وعلاقة العادم ووصلة التحكم ونطاق التحقق. ويجب تأكيد ذلك معًا خلال مرحلة التصميم.

النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول

دعم المعدات الصناعية Aili

تغطي صناعة Aili تصنيع المحركات والبحث والتطوير المستقل وإنتاج المراوح وتطوير نظام التحكم ومعالجة الصفائح المعدنية وتصنيع مرشحات الهواء والتجميع الكامل للآلة. بالنسبة للمشاريع التعاونية EFU وFFU، يمكن فحص EFU من جانب المعدات، وFFU للغرفة، ومرشحات HEPA/ULPA، وأنظمة التحكم في المجموعة، وحجم الهواء، والضغط الثابت، وواجهات التثبيت بشكل موحد لربط تكوين المعدات بحدود التقييم في الموقع وتقليل الانفصال بين معلمات المكونات وظروف عمل الجهاز بأكمله.

يتعلم وحدة مرشح المروحة الجانبية لمعدات EFU；منتجات إمداد الهواء النظيف FFU；مرشحات HEPA وULPA；يقوم نظام التحكم في مجموعة FFU بفحص مساحة التثبيت وظروف التشغيل وتكوين مصدر الهواء المفلتر.

→ فهم معلمات المنتج ذات الصلة → تأكيد شروط مطابقة المعدات