デバイス側 EFU と部屋 FFU の間で作業をどのように分割するか?

クリーン システムでは、FFU と EFU は一緒に議論されることがよくありますが、それらのタスクは異なります。部屋 FFU は主にバックグラウンド環境の空気供給に関与し、部屋またはエリアの空気の清浄度を維持します。機器側 EFU は主に、指定された機器の内部またはローカル動作領域を保護し、機器のキャビティ、ワークステーション、またはクリティカル パスにおける粒子制御の問題を解決します。

2 つは一緒に使用できますが、相互に置き換えることはできません。部屋の FFU が機器の内部保護として使用される場合、または EFU が部屋全体への給気として使用される場合、不明確な保護境界、空気の流れの干渉、または受け入れ紛争が発生する可能性があります。いくつかの実践的な側面から始めましょう。

まず保護境界を明確にします: 部屋レベルまたは機器レベル

部屋FFUの保護対象は部屋またはエリアであり、評価範囲は通常、部屋全体の境界、粒子サイズ、占有状況に基づいて決定されます。装置側 EFU の保護対象は、装置内部、キャビティ、またはローカル ワークステーションです。評価範囲は小さくなりますが、機構のブロック、ドアの開閉動作、排気の切り替えの影響が大きくなります。

保護オブジェクトがオープン ワークステーションまたは主要な動作ポイントである場合は、次を参照できます。 主要なワークステーションのみを浄化するための前提条件は何ですか? 、まず、機密リンクの境界と順方向および逆方向の転送が制御可能かどうかを確認します。密閉された装置キャビティの場合は、キャビティ内の空気流路に応じて別途計画する必要があります。具体的な方法については、こちらをご参照ください 密閉された機器キャビティへのクリーン エアの供給を計画するにはどうすればよいですか?。

境界が明確でない場合、機器の選択が誤って行われる可能性があります。たとえば、部屋には ISO 7 が必要ですが、装置内の特定のウェーハ露出ポイントにはより高度な保護が必要です。この場合、部屋の FFU だけに依存することはできません。また、部屋のレベルを機器の内部に直接適用することもできません。

吸気源と排気の関係が違う

Room FFU は通常、天井の上から空気を取り込み、それを濾過して室内に送り、戻り空気または排気経路を通して循環させます。吸気源、戻り空気抵抗、室内圧力差はシステム設計の一部です。

機器側 EFU の吸気源はさらに複雑です。装置が設置されている部屋から空気を取り込むことも、装置の内部循環から空気を取り込むことも、独立した空気ダクトに接続することもできます。吸気源に応じて、EFU のフィルター寿命、汚染リスク、システム抵抗は異なります。

EFU が部屋から空気を取り込み、部屋自体に粒子変動がある場合、EFU の吸気負荷が増加します。 EFU が装置内部から空気を取り込む場合、内部の塵埃が EFU 吸気口に直接侵入する可能性があります。したがって、EFU の空気入口位置と汚染経路は明確に定義されなければならず、装置内の空気が循環に適しているとは想定できません。

排気関係も重要です。装置の排気、プロセスの排気、EFU の給気の間のバランスをとる必要があります。排気量が補助空気量より大きい場合、キャビティが負圧を形成し、隙間から背景空気を吸い込む可能性があります。 EFUのエア供給量が多すぎると、排気の捕集効果を妨げる可能性があります。特定の圧力差と空気流路については、を参照してください。 密閉された機器キャビティへのクリーン エアの供給を計画するにはどうすればよいですか?。

2 つの空気の流れが互いに干渉するのを避ける

部屋の FFU と EFU が同時に動作している場合、2 組の空気の流れが機器の開口部、ドアの隙間、またはメンテナンス チャネルで相互作用する可能性があります。よくある質問には次のようなものがあります。

• EFU 入口は室内空気供給の影響を受け、吸入空気の量や方向が変化します。

• 機器の排気により EFU の保護空気流が奪われ、主要なエリアで風速が不十分になります。

• 部屋の FFU の横方向の空気の流れは、EFU の局所的な保護境界を妨げます。

• 装置が停止したり、ドアが開いたりすると、開口部から背景空気が装置内部に侵入します。

検証では、部屋や設備の稼働状況も確認する必要があります。 EFU 出口表面の風速を測定するだけでは、機器の内部保護が効果的であるかどうかを判断することはできません。室内の粒子を測定するだけでは、装置内の主要な場所が基準を満たしているかどうかを判断することはできません。

サンプリング ポイントは、空気供給出口の直下ではなく、装置内の敏感な場所をカバーするように配置する必要があります。関連するメソッドは次の場所にあります。 サンプリングポイントを空気供給出口の真下に配置できないのはなぜですか?。

制御連携：個別設定または一元管理

通常、部屋 FFU と EFU には異なる制御ロジックが必要です。部屋の FFU は、職務、作業、および省エネモードに応じて異なるゾーンで動作する場合があります。 EFU は、機器の起動と停止、ドアの開閉、排気の切り替えにリンクする必要がある場合があります。

2 つのシステムを均一に管理する必要がある場合は、組み合わせることができます。 FFUグループ管理システムは、 地域や時間帯に応じた運用戦略を構築します。ただし、リンケージ ロジックは明確でなければなりません。つまり、誰が最初に始動し停止するか、ドアが開いたときに EFU が減速するかアラームが鳴るか、排気が切り替わったときに EFU がどのように反応するか、メンテナンス後にどのように回復するかなどです。

後で異なる機器のバッチが同じシステムにアクセスできなくなるのを避けるために、制御アドレスとパーティション ルールを初期段階で統合する必要があります。これはモジュール拡張の場合に特に重要です。を参照してください。 クリーンシステムで独立したモジュールを使用するための拡張条件は何ですか?。

機器の選択: FFU パラメータと EFU パラメータを混合することはできません。

室FFUを選定する際は、フィルタとの動作点、機外静圧、設置寸法、シール方法、メンテナンス方向をご確認ください。具体的な判断については、こちらをご参照ください。 FFU を選択するときに完全なパフォーマンス曲線を確認する必要があるのはなぜですか? そして FFU の公称空気量はフィルターを使用してテストされていますか?。

機器側の EFU の選択では、機器の内部スペース、機構のシールド、吸気口インターフェイス、および排気の関係をさらに考慮する必要があります。参照可能 EFU装置のエンドファンフィルタユニット、異なる構造の適用条件を確認してください。

フィルターの選択は、ターゲット粒子サイズと実際の抵抗に対応する必要があります。HEPA および ULPA フィルター ページには、さまざまなレベルの製品のパラメーターがあります。選定の際は、対象機種の目標風量における効率をご確認ください。スペース定格とフィルター効率の違いがまだ不明な場合は、以下を参照してください。 清浄度レベルとろ過効率の違いは何ですか?。

設置場所は障害物から離れ、フィルターエレメントの交換やメンテナンスに便利な場所である必要があります。メンテナンスチャネルが不十分だと、その後の支出が増加します。これが反映されているのは、 メンテナンスチャネルが不十分なために将来どのような費用が増加するか について、より具体的なコスト分析があります。

プロジェクトの判断例

半導体装置プロジェクトでは、部屋はバックグラウンドの清浄度を維持するために FFU を使用し、装置内のウェーハ伝送経路は保護するために EFU を使用します。デバッグ中に、機器の排気が開始された後、EFU 保護エリアの風速が低下することが判明しました。調査の結果、排気量が補助空気量よりも多く、キャビティ内の負圧によりドアの隙間から背景空気を吸い込んだことが判明した。調整方法：高効率のEFUフィルターに交換する代わりに、排気と補助空気のバランスを再調整し、ドア開度の連動を増やします。

別のプロジェクトでは、オープン ワークステーションの上に FFU を設置し、EFU を機器の側面に設置しました。動作中、FFU の横方向の空気の流れが EFU の局所的な保護境界に干渉することが判明しました。調整方法: FFU 空気出口の方向を調整し、バッフルを追加し、ワークステーションの主要な位置で風速を再測定します。調整後、2 つのエアフローのセットが相乗効果を再開します。

これら 2 つの状況は、EFU と FFU の間の分業には、異なる機器の場所が関係するだけでなく、吸気源、排気の関係、制御の連携、検証範囲も関係することがわかります。これは設計段階で一緒に確認する必要があります。

選定と受入検査のポイント

アイリ産業機器サポートサポート

Aili Industry は、モーターの製造、ファンの独立した研究開発と生産、制御システムの開発、板金加工、エアフィルターの製造、および完全な機械の組み立てをカバーしています。 EFU と FFU の共同プロジェクトでは、機器側 EFU、室内 FFU、HEPA/ULPA フィルター、グループ制御システム、風量、静圧、および設置インターフェースを均一にチェックして、機器構成を現場の評価境界と結び付け、コンポーネントのパラメーターと機械全体の動作条件の間の乖離を減らすことができます。

学ぶ EFU装置側ファンフィルターユニット；FFUクリーンエア供給製品；HEPAおよびULPAフィルター；FFU グループ制御システムは、設置スペース、動作条件、ろ過空気供給構成をチェックします。

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