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Aili Industrial 超薄型 EFU は、生産装置の内部および局所的なクリーン エリア用の装置側ファン フィルター ユニットです。本製品はキャビネット高さ70mmのコンパクトな構造を採用しています。半導体装置、EFEM、表示パネル、精密電子機器の設置条件に応じて、ファン、HEPAまたはULPAフィルタ、制御システムとのマッチングが可能です。
超薄型構造により、機器の上、中二階、その他の高さ制限のある場所へのクリーン エア供給モジュールの設置が容易になります。フィルタを含む機械全体の外観と実際の設置スペースは、選択した構成、吸気口の条件、メンテナンス要件に基づいて確認する必要があります。
70mmのキャビネットと機器の設置スペース
キャビネットの高さは70mmです。フィルターと構成に応じて機械全体の高さを確認します。
超薄型 EFU の選択は、デバイスに利用可能なスペースから始まります。ボックスの高さ 70 mm は、この製品の構造パラメータです。設置評価では、機械の全体的な外観を装置の実際の条件に適合させるために、フィルター、接続構造、空気入口ギャップ、配線位置も考慮する必要があります。
項目を確認する |
デバイス側で確認する必要があること |
全体の外観 |
同じ最終組立サイズでボックス、フィルター、組立インターフェースを確認し、長さ、幅、全高、突出部分を確認します。 |
吸気・給気スペース |
吸気口表面付近の閉塞状況、気流の進入状況、およびカバーする必要がある局所的なクリーンエリアを確認します。 |
開け方と固定方法 |
予約開口部、取り付け穴の位置、耐荷重条件、シール面、装置の固定構造を確認してください。 |
配線・メンテナンススペース |
電源コネクタ、通信コネクタの位置、ケーブルの方向、フィルタ交換や電気メンテナンスの方向を確認してください。 |
機器の図面が利用可能な場合、EFU の設置場所、周囲の動作機構、および利用可能なスペースをマークして、構造と空気供給計画の共同評価を容易にすることができます。
Aili産業用超薄型EFUの主な技術パラメータ
この超薄型機器側ファンフィルターユニットの構造パラメータと通信可能な構成は以下のとおりです。さまざまなファン、フィルター、インターフェイス構成は、対応する図面と動作条件に基づいて確認する必要があります。
パラメータ項目 |
製品構成と確認方法 |
製品タイプ |
超薄型EFU装置側ファンフィルターユニット |
キャビネットの高さ |
70mm (全高70mmの薄型バージョンもカスタマイズ可能) |
機械の全高 |
フィルターとの組み合わせおよび特定のアセンブリ構成を確認します |
長さと幅 |
標準モデルや設備図による確認で非標準構造評価にも対応 |
ファンソリューション |
AC または EC ファン、空気供給条件と制御要件に応じて選択 |
フィルター構成 |
計画に応じてHEPAまたはULPAフィルター、グレード、フィルター材質、サイズ、シール方法を確認します。 |
フィルターメディアのオプション |
ガラス繊維、PTFE など、プロセス要件とフィルター構成の評価を組み合わせる |
風量、風速、静圧 |
有効給気面積、フィルタ抵抗、装置風路、作業状況により決定 |
制御方法 |
単体調整、グループ制御、機器連携をプロジェクトに合わせて設定 |
インターフェースとコミュニケーション |
RS485、Modbus、またはその他の合意されたインターフェイス。 PWMおよびその他の信号パラメータは制御計画に従って確認されます |
ボックスと設置構造 |
ステンレス鋼、アルミ合金、溶射鋼板などの材質、取付穴位置、フレーム、メンテナンス方法などを伝えることができます。 |
電源供給と検査 |
特定のモデルとプロジェクトの要件に従って、電圧、周波数、配線、検査項目が確認されます。 |
風量、風速、騒音、均一性などの性能は、特定の製品構成、設置状態、試験条件に対応する必要があります。フィルターのグレードは、プロセスの清浄度要件、シールおよび実際の動作条件を考慮してチェックする必要があります。
Aili産業用超薄型EFU装置サポートアプリケーション
以下のアプリケーションには、機器端の局所的なクリーンエアと限られた設置スペースに対する共通の要件があります。選択する際には、超薄型 EFU の構造と構成を決定する前に、特定の設置エリア、プロセス空気条件、および機器のインターフェースを考慮する必要があります。
半導体装置超薄型EFU ウェーハのローディングや伝送などのローカルクリーンエリアと併せて、設置スペース、フィルタ構成、風速の均一性をチェックします。 |
EFEM超薄型EFU EFEMおよびロードポート周辺にエアを供給し、ヘッドスペース、有効エア供給面積、機器インターフェースを確認します。 |
LCD/OLEDパネル装置EFU パネルの取り扱い、ラミネートおよび試験装置と協力して、フードのスペース、エアフロー範囲、および静電気制御要件をチェックします。 |
SMT装置超薄型EFU 装着機の上部フードのクリーン エア供給を評価するには、装置のブランド モデル、設置場所、利用可能なスペースを提供する必要があります。 |
太陽光発電設備EFU 細胞移送装置や検査装置と連携し、設置開口部、目標風量、ろ過、メンテナンスの方向を合わせます。 |
精密電子機器EFU 電子部品、マイクロ・ナノ加工および精密組立装置については、局所的な粒子制御および構造状態をチェックします。 |
光学機器EFU レンズモジュール、光学部品の組立、検査装置と連携し、空気の流れ、振動、設置高さに注意してください。 |
自動化機器向け超薄型 EFU 組立や搬入出装置の可動範囲と合わせて、コンパクトな開口部、制御インターフェース、動作ロジックを確認します。 |
フォトリソグラフィー、エッチング、洗浄、薄膜堆積などの半導体装置プロジェクトの場合、EFU 要件は指定されたローカルの清浄空気エリアで実施する必要があり、媒体、圧力、装置の空気システムの条件に基づいて計画を確認する必要があります。
半導体装置向けのクリーンエアソリューションを見る→ SMT 専用 FFU および EFU を見る →
ファンの濾過と制御を適合させるための重要なポイント
機器抵抗から給気性能を確認
目標風量と風速は有効給気面積、フィルタ抵抗、装置内部の風路などを考慮して決定してください。 Aili Industrialは、これらの条件に基づいてファンの動作点、ボックスの空気経路、速度調整計画を確認し、合意された動作条件に従って空気供給性能を検証できます。
マシンスペース評価にフィルターを組み込む
HEPA高効率フィルターやULPA超高効率フィルターのグレード、厚さ、面積、抵抗、シール形状はすべて機械全体の構成に影響します。ろ過グレードやろ材を交換する場合は、能力、外観、メンテナンススペースなどを再確認する必要があります。
機器の電気スキームに応じたドッキング制御
顧客の要件に応じて、始動/停止、速度調整、ステータスのフィードバック、および機器の連携を通信します。 RS485通信、Modbusプロトコル、またはPWM速度調整に関しては、配線定義、信号パラメータ、プロトコルおよび動作ロジックを共同で確認し、インターフェースのレイアウトと限られた設置スペースを一緒に検討してください。
空気入口 → ファン駆動 → HEPA または ULPA 濾過 → 指定エリアへの清浄な空気の供給
社内共同開発で超薄型EFUパッケージをサポート
超薄型EFUとコアコンポーネントの研究開発と製造のデモンストレーション
Aili Industrial は約 30,000 平方メートルの製造拠点を 2 か所保有しています。研究開発および製造システムは、モーター、ファン、制御システムのソフトウェアとハードウェア、エアフィルター、板金加工、完全な機械の組み立てをカバーしています。コアコンポーネントは社内で開発および製造されているため、関連するエンジニアが超薄型構造のスペース、空気供給、インターフェイス要件を共同で調整できます。
コンパクトな構造とコアコンポーネントの共同設計
モーターとファンのレイアウト、フィルター構成、ボックスエアダクト、設置インターフェースを同じ計画で確認し、コンポーネントの選択を機械全体の構造に結び付けます。
制御ソフトウェアとハードウェアは内部で連携して動作します
制御および機器の研究開発担当者は、信号、通信、速度調整、ステータスのフィードバックを共同で確認し、顧客の機器の電気スキームとデバッグのニーズに対応します。
社内コラボレーションによる開発対応のサポート
図面、コンポーネント構成、プロトタイプの変更を直接接続できます。スペース要件や性能要件が変更された場合、関係者が共同で影響を確認するため、要件の翻訳や個別の確認の必要性が軽減されます。
パフォーマンスの構成とプロジェクトのコスト計画
目標性能、板金技術、加工組立およびメンテナンス条件に基づいて構成を整理し、不要なオプション、インターフェースの手戻りや繰り返しの修正を削減し、プロトタイプやバッチキットのコスト評価をサポートします。
試作段階で確認した図面、部品リスト、インターフェース、検査要件などを次の生産につなげることができます。サイズ、風量と速度、動作音、制御機能などの検証項目は、具体的な構成と合意された使用条件に基づいて共同で決定されます。
Aili Industrial の研究開発と製造能力について詳しく知る→
超薄型 EFU の選択に関するよくある質問
70mm 超薄型 EFU の 70mm とは何を指しますか?
このページのこの商品の70mmはキャビネットの高さを指します。フィルタ、接続方法、具体的な組立構成により、フィルタを含む機械全体の高さ、設置形状をご確認ください。
70mmしか隙間がない場合、直接設置できますか？
最初に完全なアセンブリの外観をチェックする必要があります。実際の設置では、フィルター、吸気口の隙間、電気コネクタ、固定構造、メンテナンスの方向も考慮する必要があります。機器の断面図を提供すると、それが適切かどうかを判断するのに役立ちます。
超薄型 EFU と小型 EFU の選び方
超薄型 EFU は主に高さ制限の問題を解決しますが、小型 EFU は主に開口部の長さと幅、または局所的な空気供給範囲に焦点を当てます。機器に同時に複数のスペース制約がある場合、ボックス、フィルター、ファンの構成をまとめて評価できます。
超薄型構造は装置の風量と速度の要件を満たすことができますか?
有効給気面積、フィルタ抵抗、装置内部の風路などから確認する必要があります。目標パラメータとテスト条件が明確になった後、プロトタイプまたは対応するテストを通じて出力、構造、フィルタ構成を共同で評価および確認します。
超薄型 EFU に HEPA または ULPA フィルターを装備できますか?
HEPA または ULPA オプションは、プロジェクトのニーズに基づいて評価できます。ろ過レベル、厚み、面積、シール性、作動抵抗などを合わせて確認する必要があります。ろ過構成を変更した後は、機械全体のサイズとエア供給性能も同時にチェックする必要があります。
EC ファンを設定して機器の PLC に接続できますか?
プロジェクトに応じてECファンと対応する制御ソリューションを選択できます。 PLC に接続する前に、電源、起動と停止、速度調整、ステータスフィードバック、通信要件を確認する必要があります。特定の機能およびインターフェースは、確定した計画の対象となります。
既存の機器を超薄型 EFU に変換できますか?
元の設置開口部、利用可能な高さ、固定方法、給気方向、電気インターフェースを最初に提供できます。アイリ産業は、既存の構造、エアダクト、メンテナンス条件に基づいて、適応および改造の範囲を評価します。
お問い合わせや選考に必要な情報は何ですか？
機器の使用法、設置図、利用可能な総スペース、目標空気量または速度、濾過要件、電源制御インターフェース、および推定プロトタイプまたはバッチ数量を提供することをお勧めします。すでに均一性、騒音、振動、合格要件がある場合は、それらを一緒に提出することもできます。
EFU関連製品と選定情報
さらに必要な機器 |
関連入口 |
さまざまなデバイス側 EFU 構造を比較する |
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開口部の長さと幅がコンパクトまたは局所的な小規模エア供給 |
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DC 電源と制御構成を理解する |
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同時に、複数の非標準の構造とインターフェイスの開発も伴います。 |
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フィルターのグレードと取り付けの適合性を確認してください |
設置スペースと給気要件を提出する
半導体、EFEM、パネル、SMT、その他の精密機器用の超薄型 EFU メーカーをお探しの場合は、設置図とクリーン エア供給要件を Aili Industrial に提供してください。
機器の開口部、利用可能な全高、空気入口条件、目標空気量または速度、濾過要件、および制御インターフェースを優先してください。 Aili Industry は、関連するエンジニアを組織して、超薄型ボックス、フィルター、電源、制御ソリューションを共同でチェックし、プロトタイプの検証やバッチマッチングの取り決めについて連絡を取ることができます。
図面提出→共同評価→試作確認→一括マッチング
設置図の提出→ 風量とろ過構成を参照してください→ プロトタイプのやり取りと一括マッチング→
Aili Industrial は、コア コンポーネントから超薄型 EFU 完成機に至るまで、機器メーカーにクリーン エア供給の研究開発、製造、プロジェクト サポートを提供しています。
デバイスが存在する場合:
限られた設置スペース → 装置内の清浄度要件 → HEPA/ULPA 濾過要件 → 特別な風量/風速要件 → 機器制御システムの統合 → 特殊な寸法または設置構造
Aili Industrial は、機器の実際の条件に基づいて EFU ソリューションを適合させることができます。
設備図面→設置スペース→目標風量→風速→ろ過レベル→制御方法
当社のエンジニアリングチームは、これに基づいて製品ソリューションをさらに確認できます。
クリーンルーム設備およびコアコンポーネントの研究開発および製造企業
電話: 136 4625 8112
