クリーン ルームの全体的な空気供給から生産設備内の局所的なクリーン エアのニーズまで、Aili Industry は製品とサポート コンポーネントを提供します。設置場所、対象風量、ろ過要件、制御方法に応じて、対応するカテゴリーをお選びいただけます。
Aili Industrial には 30,000 平方メートルの製造拠点があり、その研究開発および製造システムは、モーター、ファン、制御システム ソフトウェアおよびハードウェア、エア フィルター、板金加工、完全な機械組み立てをカバーしています。プロジェクトに風速、均一性、スペース、または制御インターフェースの要件がある場合、同社のモーター、ファン、制御システムのソフトウェアとハードウェア、フィルター、機器のエンジニアが一緒に参加して、同じ計画でコンポーネントの構成と完全な機械設計をチェックします。
モーター、ファン、制御システムのソフトウェアとハードウェア、フィルター、板金、および機械全体が内部で接続されており、非標準およびバッチマッチングのための製造基盤を提供します。
関係エンジニアが共同で、目標風速、均一性、濾過抵抗、スペース周りのパワー、風路、ボックス構成を確認しました。
機器の信号、通信および動作モードを組み合わせて、制御担当者と機器担当者が共同してインターフェースと調整ロジックを確認します。
図面、コンポーネントのパラメータ、プロトタイプの変更を社内で直接伝達できるため、複数の翻訳や個別の確認の必要性が軽減されます。
パフォーマンス構成、処理アセンブリおよびメンテナンス条件と組み合わせることで、不必要な構成、インターフェイスの手戻り、および繰り返しの変更が削減されます。
社内の研究開発担当者は、現場の作業条件と組み合わせて、制御、電力、濾過、構造上の問題を共同で分析し、迅速に対応し、目標を絞った調整について話し合います。
EFEM装置の内部空間はコンパクトであり、FFUは内部クリアランス、空気循環経路、クリーン度レベルの要件を満たす必要があります。 EFEM 微小環境は通常、高い清浄度を必要とし、FFU レイアウトはウェーハ処理機構、戻り空気経路、および圧力制御と調整する必要があります。本稿では、スペース検証、エアフロー構成、クリーン度レベルについて解説し、プロジェクトの検証データと現場の判断ポイントを整理します。 Aili Industrial は、FFU 完成機および装置側のサポートにおける完全な生産能力を備えており、EFEM の内部構造に基づいて超薄型またはカスタマイズされた空気供給ソリューションを提供できます。プロジェクトのサポートについては、Aili Industrial にお問い合わせください。
DC ファン シャーシと AC ファン シャーシの比較は、同じ風量、静圧、稼働時間の下で行う必要があり、マシン全体のパワー、速度調整方法、制御インターフェイス、メンテナンス条件を確認することに重点を置いています。現場の古い機器がバルブの絞りに長期間依存している場合は、改造を検討する前に、まず実際の末端空気量と圧力を測定してください。通常、違いは制御戦略と動作モードに現れます。 AC 周波数変換によって速度を調整することもできますが、DC ソリューションでは当然のことながら電力は節約されません。調達結論では、電源、制御プロトコル、動作点、ノイズ、ボックスインターフェース、総投資額を同じ比較表にリストし、テスト条件を示す必要があります。 Aili Industrial は、ファン、モーター、制御装置、板金を個別にサポートする能力を備えています。同じ動作点でインペラ、モーター、ドライブ、キャビネットを校正でき、プロジェクト条件に従って完全な機械テストデータを提供できるため、検証可能な完全な機械データに基づいて DC と AC を比較できます。
本稿では小型EFUの選定方法に焦点を当て、標準品を先に選ぶのではなく、機器開口部、目標風量、濾過面積、制御インターフェースの4つのポイントを逆に確認することを提案します。この記事では、機器の開口部がボックスの外側の境界を決定すると説明しています。風量は対象面積とシステム抵抗に応じて確認が必要です。濾過面積は、表面空気速度、抵抗、フィルター寿命に直接影響します。制御インターフェースは、機器システムとリンクできるかどうかを決定します。また、一般的な選択に関する誤解やさまざまな機器シナリオの構成もリストされています。また、Aili Industrial 小型 EFU、超薄型 EFU、DC EFU、スナップオン EFU、SMT 実装機 EFU、帯電防止 EFU、86 タイプ コントローラ、カスタマイズ EFU などの関連製品ページも推奨し、ユーザーがアプリケーション シナリオに応じてさらに選択できるようにします。
リソグラフィ装置用に EFU を構成する際の焦点は、単に空気量を増やすことではなく、ウェーハの搬送、位置決め、検出などの敏感な領域の周囲に、安定した、適切に指向された、検証可能な局所的なクリーン エアフローを確立することです。本稿では，汚染経路，給気境界，風速均一性，空間インタフェース，ろ過構成，機器連携の観点から設計手法を紹介する。
HEPA と ULPA は、クリーン ルームの 2 つの最も中心的なターミナル エア フィルターです。 2 つの主な違いは、濾過の精度と適用可能なシナリオにあります。 HEPA（高効率フィルター）は、H13/H14レベルに相当する0.3μm粒子≧99.97%の濾過効率を有し、ISO 5-9のクリーン環境に適しています。一般的な用途には、製薬工場、病院の手術室、食品加工などがあります。 ULPA（超高性能フィルター）は、U15/U16レベルに相当する0.12μm粒子≧99.9995%の濾過効率を有し、ISO 1-4の超高クリーン環境に適しています。典型的な用途には、半導体リソグラフィーやバイオセーフティ研究所などがあります。 ULPA の購入コストは HEPA の約 2.5 ～ 3.5 倍であり、初期抵抗は約 30% 高くなります。選択は、実際の清浄度レベルの要件、プロセスの感度、およびシステムの互換性に基づいた総合的な判断に基づいて行う必要があります。すべてのシナリオで ULPA が必要なわけではありません。ISO レベル 5 (レベル 100) クリーン ルーム用の H14 レベル HEPA は規格を完全に満たしています。
隔壁付高効率フィルターと隔壁なし高効率フィルターの主な違いは濾材分離構造です。仕切りのあるフィルターは波形の仕切りを使用してフィルター素材をサポートしますが、仕切りのないフィルターは接着剤ラインまたはその他のセパレーターを使用してフィルターチャネルを形成します。どちらも、特定の製品構成に応じて、さまざまなクリーンエアろ過システムで使用できます。実際の選定は構造だけでなく、濾過効率、システム風量、初期抵抗、フィルターサイズ、設置スペース、使用環境などを総合的に考慮して選定してください。クリーンルーム、HVAC、FFU、EFU、半導体装置などのさまざまな用途では、プロジェクトのパラメータに基づいて適切なフィルタ構造を選択する必要があります。 Aili Industry は、高効率フィルター、ULPA、FFU、EFU およびその他の製品を組み合わせて、対応する空気濾過製品の構成と選択のサポートを顧客に提供できます。
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