Внутреннее пространство оборудования EFEM компактно, и FFU должен соответствовать требованиям к внутреннему зазору, тракту циркуляции воздуха и уровню чистоты. Микросреда EFEM обычно требует высокой чистоты, а компоновку FFU необходимо согласовать с механизмом обработки пластин, трактом возврата воздуха и контролем давления. В этой статье описываются проверка пространства, организация воздушного потока и уровни чистоты, а также систематизируются данные проверки проекта и точки зрения на месте. Aili Industrial обладает полными производственными возможностями в области комплектных машин FFU и поддержки оборудования, а также может предоставить ультратонкие или индивидуальные решения для подачи воздуха на основе внутренней структуры EFEM. Добро пожаловать в Aili Industrial для поддержки проекта.
Сравнение шасси вентиляторов постоянного и переменного тока должно проводиться при одинаковом объеме воздуха, статическом давлении и времени работы, уделяя особое внимание проверке общей мощности машины, методу регулировки скорости, интерфейсу управления и условиям технического обслуживания. Если старое оборудование на объекте в течение длительного времени использует дросселирование клапана, сначала измерьте фактический объем и давление воздуха в терминале, прежде чем обсуждать модификацию. Разница обычно проявляется в стратегии управления и режиме работы. Преобразование частоты переменного тока также может регулировать скорость, а решение постоянного тока естественным образом не экономит энергию. В заключении о закупке в одной сравнительной таблице должны быть указаны источник питания, протокол управления, рабочая точка, шум, интерфейс коробки и общая сумма инвестиций, а также указаны условия испытаний. Aili Industrial имеет возможность независимо поддерживать вентиляторы, двигатели, элементы управления и листовой металл. Он может калибровать рабочие колеса, двигатели, приводы и шкафы в одной и той же рабочей точке, а также предоставлять полные данные испытаний оборудования в соответствии с условиями проекта, позволяя проводить сравнения постоянного и переменного тока на основе поддающихся проверке полных данных о машине.
В этой статье основное внимание уделяется методу выбора малогабаритных EFU, и предлагается обратное подтверждение четырех ключевых точек открытия оборудования, целевого объема воздуха, площади фильтрации и интерфейса управления, а не предварительного выбора стандартных продуктов. В статье поясняется, что открытие оборудования определяет внешнюю границу бокса. Объем воздуха необходимо подтвердить в зависимости от целевой площади и сопротивления системы. Площадь фильтрации напрямую влияет на скорость приземного воздуха, сопротивление и срок службы фильтра. Интерфейс управления определяет, можно ли его связать с системой оборудования. В нем также перечислены распространенные ошибки при выборе и конфигурации различных сценариев использования оборудования. направление, а также рекомендует страницы соответствующих продуктов, такие как малогабаритный промышленный EFU Aili, ультратонкий EFU, EFU постоянного тока, EFU с защелкой, EFU для установки SMT, антистатический EFU, контроллер типа 86 и индивидуальный EFU, чтобы облегчить пользователям дальнейший выбор в соответствии со сценариями применения.
Целью настройки EFU для литографического оборудования является не просто увеличение объема воздуха, а создание стабильного, хорошо направленного и поддающегося проверке локального чистого воздушного потока вокруг чувствительных областей, таких как транспортировка пластин, позиционирование и обнаружение. В статье представлен метод проектирования с точки зрения пути загрязнения, границы подачи воздуха, равномерности скорости ветра, пространственного интерфейса, конфигурации фильтрации и связи оборудования.
HEPA и ULPA — два наиболее распространенных воздушных фильтра в чистых помещениях. Основное различие между ними заключается в точности фильтрации и применимых сценариях. HEPA (высокоэффективный фильтр) имеет эффективность фильтрации частиц размером 0,3 мкм ≥99,97%, что соответствует уровням H13/H14, и подходит для чистых сред ISO 5–9. Типичные области применения включают фармацевтические мастерские, больничные операционные и пищевую промышленность. ULPA (фильтр сверхвысокой эффективности) имеет эффективность фильтрации частиц размером 0,12 мкм ≥99,9995%, что соответствует уровням U15/U16, и подходит для сред сверхвысокой чистоты ISO 1–4. Типичные области применения включают полупроводниковую литографию и лаборатории биобезопасности. Стоимость приобретения ULPA примерно в 2,5–3,5 раза выше стоимости HEPA, а начальное сопротивление примерно на 30 % выше. Выбор должен основываться на всестороннем суждении, основанном на фактических требованиях к уровню чистоты, чувствительности процесса и совместимости систем. Не для всех сценариев требуется ULPA — уровень HEPA H14 для чистых помещений уровня ISO 5 (уровень 100) полностью соответствует стандартам.
Основное различие между высокоэффективными фильтрами с перегородками и высокоэффективными фильтрами без перегородок заключается в стрвысокоэффективными фильтрами без перегородок заключается в структуре разделения фильтрующего материала. В фильтрах с перегородка�трующего материала. В фильтрах с перегородками для поддержки фильтрующего материала используются гофрированные перегородки, а в фильтрах без перегородок для формирования каналов фильтра используются клеевые линии или другие раздкоэффективными фильтрами без перегородок заключается в структуре разделения фильтрующего материала. В фильтрах с перегородками для поддержки фильтрующего материала используются гофрированные перегородки, а в фильтрах без перегородок для формирования каналов фильтра используются клеевые линии или другие разделители. Оба могут использоваться в различных системах фильтрации чистого воздуха в зависимости от конкретной конфигурации продукта. При фактическом выборе следует учитывать не только конструкцию, но и всесторонне учитывать эффективность фильтрации, объем воздуха в системе, начальное сопротивление, размер фильтра, пространство для установки и условия использования. Для различных применений, таких как чистые помещения, системы отопления, вентиляции и кондиционирования, FFU, EFU и полупроводниковое оборудование, следует выбирать соответству��щую структуру фильтра на основе параметров проекта. Aili Industry может комбинировать высокоэффективные фильтры, ULPA, FFU и EFU и другие продукты, чтобы предоставить клиентам соответствующую конфигу��ацию и поддержку выбора продуктов для фильтрации воздуха.