Какие требования к пространству и чистоте необходимо учитывать при использовании FFU в оборудовании EFEM?
EFEM предъявляет другие требования к FFU, чем к обычным чистым помещениям.
EFEM — это внешний модуль оборудования, используемый для обработки пластин между FOUP и технологическим оборудованием. Интерьер EFEM представляет собой микросреду с компактным пространством и высокими требованиями к чистоте. Внутренняя чистота некоторых EFEM может достигать уровня ISO класса 1.-4-10。
При использовании FFU в EFEM с ним нельзя обращаться так же, как с обычным потолочным FFU для чистых помещений. Внутреннее пространство EFEM ограничено, и FFU должен взаимодействовать с диапазоном действия механизма обработки пластин, внутренним каналом циркуляции воздуха и контролем давления. Размер, способ установки и направление подачи воздуха FFU должны соответствовать конструкции EFEM.
Следовательно, при использовании FFU в EFEM необходимо учитывать как требования к пространству, так и требования к чистоте. Aili Industrial обладает полными производственными возможностями в области комплектных машин FFU и поддержки оборудования, а также может предоставить ультратонкие или индивидуальные решения для подачи воздуха на основе внутренней структуры EFEM. Базовую конструкцию машины FFU см.Фильтрующий вентилятор Aili Industrial FFU。
Как проверить внутренний зазор
Пространство внутри EFEM обычно занимают роботы для обработки пластин, направляющие, загрузочные порты и датчики. Когда FFU установлен сверху или сбоку EFEM, вам необходимо подтвердить следующие условия зазора: соответствует ли высота машины FFU верхнему пространству EFEM; расстояние между воздухозаборником ФФУ и верхней конструкцией ЭФЭМ; расстояние между поверхностью выхода воздуха ФФУ и самой высокой точкой механизма манипуляции пластинами; влияет ли ФФУ на траекторию движения робота; и рабочее пространство, необходимое для обслуживания ФФУ и замены фильтров.
Внутреннее пространство ЭФЕМ компактно, и обычный ФФУ не может быть установлен. Ультратонкий FFU или специальный блок подачи воздуха EFEM могут оказаться более подходящими. Для приложений с чрезвычайно ограниченным пространством вы можете обратиться кУльтратонкий EFU толщиной 70 мм иНастройте блок вентиляторного фильтра со стороны оборудования EFU , чтобы понять компактное решение.
Как организован путь циркуляции воздуха?
Для организации воздушного потока внутри EFEM обычно используется циркуляционный метод. FFU подает воздух вниз из верхней части EFEM. После того, как поток воздуха проходит через зону обработки пластин, он возвращается из нижнего или бокового возвратного воздушного канала и затем циркулирует через FFU. Этот метод циркуляции позволяет уменьшить попадание внешнего газа и сохранить чистоту внутренней микросреды.-9。
При проектировании пути воздушного потока необходимо учитывать: соответствует ли направление подачи воздуха FFU зоне обработки пластин; не заблокирован ли путь обратного воздуха механизмами или кабелями; может ли воздушный поток охватывать ключевые области, не создавая турбулентности; требуется ли местная фильтрация или химическая фильтрация.
Если в EFEM используется среда инертного газа, система циркуляции воздуха должна быть полностью закрытой, а тракт FFU и возвратного воздуха образует замкнутый контур.-11。
Как соблюдать уровень чистоты
Требования к внутреннему уровню чистоты EFEM обычно выше. Внутренняя чистота некоторых EFEM может достигать уровня ISO Class 1 или Class 2 -4-18. Это означает, что фильтры, соответствующие FFU, должны отвечать соответствующим требованиям эффективности, а уплотнение и установка также должны соответствовать более высоким стандартам.
Уровень эффективности, способ герметизации и качество установки фильтра ФФУ напрямую влияют на внутреннюю чистоту ЭФЕМ. Заводская проверка фильтра на герметичность является лишь основой, также необходимо подтвердить целостность уплотнения после установки. Подробную информацию см.Если фильтрующий элемент FFU выдерживает испытание на герметичность, зачем проверять установочную пломбу (Примечание: эта ссылка является примером страницы с описанием фильтрующего продукта; для получения более подробной информации обратитесь к соответствующей странице сайта).
Как сотрудничать с контролем давления
Внутри EFEM обычно поддерживается положительное давление, чтобы предотвратить попадание нефильтрованного воздуха -16. Баланс объема приточного и возвратного воздуха FFU определяет внутреннее давление. Если объем приточного воздуха ФФУ больше объема возвратного воздуха, внутри образуется положительное давление. Если возвратный воздух не является равномерным, давление может повыситься.
Взаимосвязь давления между EFEM и FOUP также нуждается в подтверждении. Когда FOUP включен, внутреннее давление EFEM должно быть немного выше внутреннего давления FOUP или поддерживать соответствующее соотношение, чтобы предотвратить попадание частиц в EFEM из FOUP или из EFEM в FOUP.-3。
Как учитывать вибрацию и шум
В состав EFEM входят прецизионные роботы для обработки пластин. Вибрация во время работы FFU может повлиять на точность позиционирования робота или стабильность работы с пластинами. Если FFU установлен непосредственно на конструкции EFEM, вибрации могут передаваться роботу.
Меры по снижению вибрации могут включать в себя вибропоглощающие прокладки, гибкую установку или выбор вентиляторов с низким уровнем вибрации. Если у EFEM более высокие требования к вибрации, данные вибрации FFU и метод установки могут быть подтверждены на этапе выбора.
Как зарезервировать место для технического обслуживания
FFU внутри EFEM требует регулярного обслуживания, включая замену фильтров и проверку вентилятора. На этапе проектирования необходимо зарезервировать пространство для технического обслуживания. Если FFU установлен сверху EFEM, для замены фильтра требуется доступ сверху. Если места недостаточно, может потребоваться спроектировать съемную конструкцию или метод бокового обслуживания.
Раскрывающийся FFU позволяет заменять фильтр с одной стороны устройства, уменьшая необходимость доступа сверху. Связанные структуры можно отнести кСъемный FFU Узнайте, как его обслуживать.
Проблемы, которые должны быть подтверждены заранее во время обсуждения проекта
На этапе проектирования решения ФФУ оборудования EFEM рекомендуется согласовать с производителем ФФУ и стороной оборудования: размер внутреннего зазора EFEM; диапазон перемещения механизма перемещения пластин; место и способ установки ФФУ; путь циркуляции воздушного потока; целевой уровень чистоты; требования к контролю давления; требования к вибрации и шуму; пространство и метод обслуживания; необходима ли среда инертного газа; требуется ли химическая фильтрация.
Если вы выбираете FFU или EFU для своего устройства EFEM, вы можете посетитьПромышленный вентиляторный фильтр Aili FFU, чтобы узнать о полной конфигурации машины, вы также можете обратиться кУльтратонкий EFU толщиной 70 мм иНастройте блок вентиляторного фильтра со стороны оборудования EFU , чтобы узнать о компактном решении со стороны оборудования, или свяжитесь с Aili Industrial для получения поддержки EFEM.
в заключение
При использовании FFU в оборудовании EFEM необходимо учитывать требования как к пространству, так и к чистоте. Внутренний зазор, пути циркуляции воздуха, уровень чистоты, контроль давления, вибрация и помещения для технического обслуживания — все это условия, которые необходимо проверить. Внутреннее пространство EFEM компактно, поэтому могут потребоваться ультратонкие или индивидуальные решения FFU. Требования к уровню чистоты относительно высоки, а фильтры и монтажные уплотнения должны соответствовать соответствующим стандартам.
Aili Industrial обладает полными производственными возможностями в области комплектных машин FFU и поддержки оборудования, а также может предоставить ультратонкие или индивидуальные решения для подачи воздуха на основе внутренней структуры EFEM. Если вам нужно узнать больше о применении оборудования EFEM FFU, вы можете посетитьВентиляционно-фильтрующий блок Aili Industrial FFU . Вы также можете связаться с Aili Industrial для поддержки проекта.
