Những yêu cầu về không gian và độ sạch cần được xem xét khi sử dụng FFU trong thiết bị EFEM?
EFEM có các yêu cầu khác nhau đối với FFU so với phòng sạch thông thường
EFEM là mô-đun ngoại vi của thiết bị được sử dụng để xử lý các tấm bán dẫn giữa FOUP và thiết bị xử lý. Nội thất của EFEM là một môi trường vi mô với không gian nhỏ gọn và yêu cầu cao về sự sạch sẽ. Độ sạch bên trong của một số EFEM có thể đạt mức ISO Class 1-4-10。
Khi sử dụng FFU trong EFEM không thể xử lý giống như FFU trần phòng sạch thông thường. Không gian bên trong của EFEM bị hạn chế và FFU cần hợp tác với phạm vi hoạt động của cơ chế xử lý tấm bán dẫn, đường lưu thông không khí bên trong và kiểm soát áp suất. Kích thước, phương pháp lắp đặt và hướng cấp khí của FFU cần phù hợp với cấu trúc EFEM.
Do đó, khi sử dụng FFU trong EFEM, cần phải xem xét cả yêu cầu về không gian và yêu cầu về độ sạch. Aili Industrial có khả năng sản xuất hoàn chỉnh về máy móc hoàn chỉnh và hỗ trợ phía thiết bị của FFU, đồng thời có thể cung cấp các giải pháp cung cấp không khí siêu mỏng hoặc tùy chỉnh dựa trên cấu trúc bên trong của EFEM. Cấu trúc cơ bản của máy FFU các bạn có thể tham khảoBộ lọc quạt công nghiệp Aili FFU。
Cách kiểm tra thông quan nội bộ
Không gian bên trong EFEM thường được sử dụng bởi các robot xử lý tấm bán dẫn, đường ray dẫn hướng, cổng tải và cảm biến. Khi FFU được lắp đặt ở phía trên hoặc phía bên của EFEM, cần phải xác nhận các điều kiện thông thoáng sau: chiều cao của máy FFU có khớp với không gian phía trên của EFEM hay không; khoảng cách giữa cửa hút gió FFU và cấu trúc trên cùng của EFEM; khoảng cách giữa bề mặt thoát khí FFU và điểm cao nhất của cơ cấu xử lý tấm bán dẫn; liệu FFU có ảnh hưởng đến quỹ đạo chuyển động của robot hay không; và không gian vận hành cần thiết để bảo trì FFU và thay thế bộ lọc.
Không gian bên trong của EFEM nhỏ gọn và FFU thông thường có thể không được cài đặt. FFU siêu mỏng hoặc bộ cấp khí chuyên dụng EFEM tùy chỉnh có thể phù hợp hơn. Đối với những ứng dụng có dung lượng cực kỳ hạn chế, bạn có thể tham khảoEFU siêu mỏng 70mm vàTùy chỉnh bộ lọc quạt phía thiết bị EFU để hiểu giải pháp nhỏ gọn.
Con đường lưu thông không khí được tổ chức như thế nào?
Tổ chức luồng không khí bên trong EFEM thường áp dụng phương pháp tuần hoàn. FFU cung cấp không khí đi xuống từ đỉnh EFEM. Sau khi luồng không khí đi qua khu vực xử lý tấm bán dẫn, nó sẽ quay trở lại từ đường dẫn khí quay trở lại phía dưới hoặc bên cạnh, sau đó lưu thông qua FFU. Phương pháp tuần hoàn này có thể làm giảm sự xâm nhập của khí bên ngoài và duy trì sự sạch sẽ của môi trường vi mô bên trong-9。
Thiết kế đường dẫn luồng khí cần xem xét: liệu hướng cấp khí FFU có phù hợp với khu vực xử lý tấm bán dẫn hay không; đường dẫn gió hồi có bị chặn bởi cơ cấu hoặc dây cáp hay không; liệu luồng không khí có thể bao phủ các khu vực quan trọng mà không tạo ra nhiễu loạn hay không; liệu lọc cục bộ hay lọc hóa học là cần thiết.
Nếu EFEM sử dụng môi trường khí trơ, hệ thống lưu thông không khí cần phải được đóng hoàn toàn, FFU và đường dẫn khí trở lại tạo thành một vòng khép kín.-11。
Làm thế nào để tương ứng với mức độ sạch sẽ
Yêu cầu về mức độ sạch sẽ bên trong của EFEM thường cao hơn. Độ sạch bên trong của một số EFEM có thể đạt đến cấp độ ISO Loại 1 hoặc Loại 2 -4-18. Điều này có nghĩa là các bộ lọc phù hợp với FFU cần phải đáp ứng các yêu cầu về hiệu suất tương ứng, đồng thời việc niêm phong và lắp đặt cũng cần phải đáp ứng các tiêu chuẩn cao hơn.
Mức hiệu quả, phương pháp bịt kín và chất lượng lắp đặt của bộ lọc FFU ảnh hưởng trực tiếp đến độ sạch bên trong của EFEM. Việc kiểm tra rò rỉ tại nhà máy của bộ lọc chỉ là cơ sở và tính toàn vẹn của niêm phong sau khi lắp đặt cũng cần được xác nhận. Để biết chi tiết, vui lòng tham khảoNếu phần tử bộ lọc FFU vượt qua bài kiểm tra rò rỉ, tại sao phải kiểm tra con dấu lắp đặt (Lưu ý: Liên kết này là một ví dụ về trang sản phẩm bộ lọc, vui lòng tham khảo trang tương ứng trên trang web để biết nội dung cụ thể).
Cách phối hợp kiểm soát áp lực
Áp suất dương thường được duy trì bên trong EFEM để ngăn không khí chưa được lọc xâm nhập vào -16. Sự cân bằng giữa lượng không khí cung cấp FFU và lượng không khí hồi lại quyết định áp suất bên trong. Nếu thể tích không khí cung cấp FFU lớn hơn thể tích không khí hồi, áp suất dương sẽ được hình thành bên trong. Nếu luồng gió hồi không được thông suốt, áp suất có thể tăng lên.
Mối quan hệ áp lực giữa EFEM và FOUP cũng cần được khẳng định. Khi FOUP được bật, áp suất bên trong của EFEM phải cao hơn một chút so với áp suất bên trong của FOUP hoặc duy trì mối quan hệ thích hợp để ngăn các hạt xâm nhập vào EFEM từ FOUP hoặc từ EFEM đi vào FOUP.-3。
Cách xem xét độ rung và tiếng ồn
EFEM chứa các robot xử lý wafer chính xác. Rung trong quá trình vận hành FFU có thể ảnh hưởng đến độ chính xác định vị của robot hoặc độ ổn định khi xử lý tấm bán dẫn. Nếu FFU được gắn trực tiếp trên cấu trúc EFEM, rung động có thể được truyền tới robot.
Các biện pháp giảm rung có thể xem xét các miếng đệm hấp thụ rung, lắp đặt linh hoạt hoặc lựa chọn quạt có độ rung thấp. Nếu EFEM có yêu cầu về độ rung cao hơn, dữ liệu rung và phương pháp cài đặt FFU có thể được xác nhận trong giai đoạn lựa chọn.
Cách dự trữ không gian bảo trì
FFU bên trong EFEM yêu cầu bảo trì thường xuyên, bao gồm thay thế bộ lọc và kiểm tra quạt. Không gian bảo trì cần được dành riêng trong giai đoạn thiết kế. Nếu FFU được cài đặt phía trên EFEM, việc thay thế bộ lọc yêu cầu quyền truy cập từ trên xuống. Nếu không đủ không gian, có thể cần thiết kế một kết cấu có thể tháo rời hoặc phương pháp bảo trì bên.
FFU thả xuống cho phép thay thế bộ lọc từ một phía của thiết bị, giảm nhu cầu truy cập từ trên xuống. Các cấu trúc liên quan có thể được tham khảoFFU có thể tháo rời Tìm hiểu cách bảo trì nó.
Các vấn đề cần xác nhận trước trong quá trình truyền thông dự án
Trong giai đoạn thiết kế giải pháp FFU của thiết bị EFEM, nên xác nhận những điều sau với nhà sản xuất FFU và phía thiết bị: kích thước khe hở bên trong EFEM; phạm vi chuyển động của cơ chế xử lý wafer; Vị trí và phương pháp cài đặt FFU; đường lưu thông luồng không khí; mức độ sạch mục tiêu; yêu cầu kiểm soát áp suất; yêu cầu về độ rung và tiếng ồn; không gian và phương pháp bảo trì; liệu có cần môi trường khí trơ hay không; liệu có cần lọc hóa học hay không.
Nếu bạn đang chọn FFU hoặc EFU cho thiết bị EFEM của mình, bạn có thể truy cậpBộ lọc quạt FFU công nghiệp Aili để tìm hiểu về cấu hình máy hoàn chỉnh, bạn cũng có thể tham khảoEFU siêu mỏng 70mm vàTùy chỉnh bộ lọc quạt phía thiết bị EFU để tìm hiểu về giải pháp nhỏ gọn phía thiết bị hoặc liên hệ với Aili Industrial để nhận được hỗ trợ hỗ trợ EFEM.
Tóm lại
Khi sử dụng FFU trong thiết bị EFEM, cần phải xem xét cả yêu cầu về không gian và độ sạch. Khoảng hở bên trong, đường dẫn lưu thông không khí, mức độ sạch, kiểm soát áp suất, độ rung và không gian bảo trì là tất cả các điều kiện cần được kiểm tra. Không gian bên trong của EFEM nhỏ gọn, có thể yêu cầu các giải pháp FFU siêu mỏng hoặc tùy chỉnh. Yêu cầu về mức độ sạch sẽ cao hơn, bộ lọc và phốt lắp đặt cần phải đáp ứng các tiêu chuẩn tương ứng.
Aili Industrial có khả năng sản xuất hoàn chỉnh về máy móc hoàn chỉnh và hỗ trợ phía thiết bị của FFU, đồng thời có thể cung cấp các giải pháp cung cấp không khí siêu mỏng hoặc tùy chỉnh dựa trên cấu trúc bên trong của EFEM. Nếu bạn cần biết thêm về ứng dụng FFU của thiết bị EFEM, bạn có thể truy cậpBộ lọc quạt Aili Industrial FFU , bạn cũng có thể liên hệ với Aili Industrial để được hỗ trợ dự án.
