EFEM 장비에서 FFU를 사용할 때 고려해야 할 공간 및 청결 요구 사항은 무엇입니까?
EFEM은 일반 클린룸과 FFU에 대한 요구 사항이 다릅니다.
EFEM은 FOUP와 공정장비 사이에서 웨이퍼를 핸들링하는데 사용되는 장비 프론트엔드 모듈입니다. EFEM의 내부는 공간이 작고 청결도가 높은 마이크로 환경입니다. 일부 EFEM의 내부 청결도는 ISO 클래스 1 수준에 도달할 수 있습니다.-4-10。
EFEM에서 FFU를 사용하는 경우 일반 클린룸 천장 FFU와 동일한 방식으로 처리할 수 없습니다. EFEM의 내부 공간은 제한되어 있으며 FFU는 웨이퍼 핸들링 메커니즘의 작동 범위, 내부 공기 순환 경로 및 압력 제어와 협력해야 합니다. FFU의 크기, 설치 방법 및 공기 공급 방향은 EFEM 구조와 일치해야 합니다.
따라서 EFEM에서 FFU를 사용할 때는 공간 요구 사항과 청결 요구 사항을 모두 고려해야 합니다. Aili Industrial은 FFU 전체 기계 및 장비 측면 지원에 있어 완전한 생산 능력을 보유하고 있으며 EFEM의 내부 구조를 기반으로 초박형 또는 맞춤형 공기 공급 솔루션을 제공할 수 있습니다. FFU 기계의 기본 구조는 다음을 참조하십시오.Aili 산업용 FFU 팬 필터 장치。
내부 클리어런스 확인 방법
EFEM 내부 공간은 일반적으로 웨이퍼 처리 로봇, 가이드 레일, 로딩 포트 및 센서가 차지합니다. FFU가 EFEM의 상단 또는 측면에 설치된 경우 다음 여유 공간 조건을 확인해야 합니다. FFU 기계의 높이가 EFEM의 상단 공간과 일치하는지 여부; FFU 공기 흡입구와 EFEM의 상단 구조 사이의 거리; FFU 공기 출구 표면과 웨이퍼 핸들링 메커니즘의 가장 높은 지점 사이의 거리; FFU가 로봇의 모션 궤적에 영향을 미치는지 여부 FFU 유지 관리 및 필터 교체에 필요한 작동 공간.
EFEM의 내부 공간은 컴팩트하여 기존 FFU를 설치할 수 없습니다. 초박형 FFU 또는 맞춤형 EFEM 전용 공기 공급 장치가 더 적합할 수 있습니다. 공간이 매우 제한된 애플리케이션의 경우 다음을 참조하세요.70mm 초박형 EFU 및EFU 장비측 팬 필터 장치를 맞춤화하세요 .컴팩트 솔루션을 이해하려면
공기 순환 경로는 어떻게 구성되어 있나요?
EFEM 내부의 공기 흐름 조직은 일반적으로 순환 방식을 채택합니다. FFU는 EFEM 상단에서 아래쪽으로 공기를 공급합니다. 공기 흐름은 웨이퍼 처리 영역을 통과한 후 바닥 또는 측면 복귀 공기 경로에서 돌아와 FFU를 통해 순환합니다. 이러한 순환 방식은 외부 가스의 유입을 줄이고 내부 미세환경의 청정도를 유지할 수 있습니다.-9。
공기 흐름 경로 설계에서는 다음 사항을 고려해야 합니다. FFU 공기 공급 방향이 웨이퍼 처리 영역과 일치하는지 여부 환기 경로가 메커니즘이나 케이블에 의해 차단되었는지 여부 기류가 난기류를 발생시키지 않고 주요 구역을 덮을 수 있는지 여부 국소여과 또는 화학적 여과가 필요한지 여부.
EFEM이 불활성 가스 환경을 사용하는 경우 공기 순환 시스템은 완전히 닫혀야 하며 FFU와 반환 공기 경로는 폐쇄 루프를 형성합니다.-11。
청결도 대응 방법
EFEM 내부 청정도 수준 요구 사항은 일반적으로 더 높습니다. 일부 EFEM의 내부 청결도는 ISO 클래스 1 또는 클래스 2 수준에 도달할 수 있습니다 -4-18. 이는 FFU와 일치하는 필터가 해당 효율성 요구 사항을 충족해야 하며 밀봉 및 설치도 더 높은 표준을 충족해야 함을 의미합니다.
FFU 필터의 효율성 수준, 밀봉 방법 및 설치 품질은 EFEM의 내부 청결도에 직접적인 영향을 미칩니다. 필터의 공장 누출 테스트는 단지 기초일 뿐이며 설치 후 밀봉 무결성도 확인해야 합니다. 자세한 내용은 다음을 참조하세요.FFU 필터 요소가 누출 테스트를 통과한 경우 설치 씰을 확인해야 하는 이유는 무엇입니까 (참고: 이 링크는 필터 제품 페이지의 예입니다. 특정 내용은 사이트의 해당 페이지를 참조하십시오).
압력 제어에 협력하는 방법
여과되지 않은 공기가 유입되는 것을 방지하기 위해 일반적으로 EFEM 내부에는 양압이 유지됩니다 -16. FFU 공급 공기량과 환기 공기량의 균형에 따라 내부 압력이 결정됩니다. FFU 공급 공기량이 환기 공기량보다 크면 내부에 양압이 형성됩니다. 환기가 원활하지 않으면 압력이 상승할 수 있습니다.
EFEM과 FOUP 사이의 압력 관계도 확인해야 합니다. FOUP를 켰을 때 EFEM의 내부 압력은 FOUP의 내부 압력보다 약간 높거나 적절한 관계를 유지하여 입자가 FOUP에서 EFEM으로 들어가거나 EFEM에서 FOUP으로 들어가는 것을 방지해야 합니다.-3。
진동과 소음을 고려하는 방법
EFEM에는 정밀 웨이퍼 핸들링 로봇이 포함되어 있습니다. FFU 작동 중 진동은 로봇 포지셔닝 정확도나 웨이퍼 취급 안정성에 영향을 미칠 수 있습니다. FFU를 EFEM 구조물에 직접 장착하면 로봇에 진동이 전달될 수 있습니다.
진동 감소 조치에는 진동 흡수 패드, 유연한 설치 또는 저진동 팬 선택이 포함될 수 있습니다. EFEM의 진동 요구 사항이 더 높은 경우 선택 단계에서 FFU 진동 데이터 및 설치 방법을 확인할 수 있습니다.
유지보수 공간 예약 방법
EFEM 내부의 FFU에는 필터 교체, 팬 검사 등 정기적인 유지 관리가 필요합니다. 설계 단계에서 유지 관리 공간을 예약해야 합니다. FFU가 EFEM 상단에 설치된 경우 필터 교체를 위해서는 상단에서 접근해야 합니다. 공간이 부족한 경우 분리 가능한 구조로 설계하거나 측면 유지관리 방식을 설계해야 할 수도 있습니다.
드롭다운 FFU를 사용하면 장치의 한쪽에서 필터를 교체할 수 있으므로 상단 접근 필요성이 줄어듭니다. 관련 구조를 참조할 수 있습니다.분리형 FFU는 유지 관리 방법을 알고 있습니다.
프로젝트 커뮤니케이션 시 사전에 확인해야 할 사항
EFEM 장비 FFU 솔루션의 설계 단계에서는 FFU 제조업체 및 장비 측과 함께 다음 사항을 확인하는 것이 좋습니다. EFEM 내부 여유 공간 크기; 웨이퍼 핸들링 메커니즘 이동 범위; FFU 설치 위치 및 방법; 공기 흐름 순환 경로; 목표 청정도 수준; 압력 제어 요구 사항; 진동 및 소음 요구 사항; 유지관리 공간 및 방법; 불활성 가스 환경이 필요한지 여부; 화학적 여과가 필요한지 여부.
EFEM 장치에 대해 FFU 또는 EFU를 선택하는 경우 다음을 방문하세요.전체 기계 구성에 대해 알아보려면 Aili Industrial FFU 팬 필터 장치를 참조하십시오.70mm 초박형 EFU 및EFU 장비측 팬 필터 장치를 맞춤화하여 장비측 소형 솔루션에 대해 알아보거나 Aili Industrial에 문의하여 EFEM 지원 지원을 받으십시오.
결론적으로
EFEM 장비에 FFU를 사용할 때는 공간과 청결 요구 사항을 모두 고려해야 합니다. 내부 공간, 공기 순환 경로, 청정도, 압력 제어, 진동 및 유지 관리 공간은 모두 확인해야 할 조건입니다. EFEM의 내부 공간은 컴팩트하므로 초박형 또는 맞춤형 FFU 솔루션이 필요할 수 있습니다. 청정도 수준에 대한 요구 사항은 상대적으로 높으며 필터 및 설치 씰은 해당 표준을 충족해야 합니다.
Aili Industrial은 FFU 전체 기계 및 장비 측면 지원에 있어 완전한 생산 능력을 보유하고 있으며 EFEM의 내부 구조를 기반으로 초박형 또는 맞춤형 공기 공급 솔루션을 제공할 수 있습니다. EFEM 장비 FFU 애플리케이션에 대해 더 자세히 알고 싶으시면 다음을 방문하세요.Aili Industrial FFU 팬 필터 장치 , 프로젝트 지원을 위해 Aili Industrial에 문의하실 수도 있습니다.
