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Aili Industrial EFU(Equipment Fan Filter Unit)는 반도체, 평판 디스플레이, 리튬 배터리 등 첨단 정밀 제조 장비용으로 특별히 개발된 핵심 공기 정화 부품입니다. 장비 기계에 직접 내장되거나 장비 가까이에 설치됩니다. 핵심 공정 표면에 ISO Class5-1(UDF) 고청정 수직 일방향 흐름 보호 기능을 제공하여 장비 작동 중에 생성된 입자상 물질을 효과적으로 제거하고 기체 분자 오염 물질(AMC)의 영향을 억제하는 동시에 공정 영역에서 안정적인 온도 및 습도 미세 환경을 유지하는 역할을 합니다. EFU는 장비 작동 안정성, 공정 반복성 및 최종 제품 수율을 직접적으로 결정하는 핵심 기능 단위입니다.
FFU(Fan Filter Unit) : Class 1,000 클린룸 등 공장 전체 환경을 서비스하기 위해 클린룸 천장에 설치됩니다. 단방향 흐름은 넓은 공간을 포함합니다. 일반적인 응용 분야는 웨이퍼 제조 공장과 바이오제약 작업장입니다.
EFU(Equipment Fan Filter Unit) : 장비 기계 내부 또는 장비 근처에 통합되어 장비 내부의 초청정 환경을 보장합니다(ISO Level 1). 장비 내부의 높은 저항을 극복해야 합니다. 일반적인 응용 분야는 리소그래피 기계, 포장 장비 및 패널 어레이 부문 내부입니다.
Aili Industry는 거의 20년 동안 기술을 축적해 왔으며 핵심 경쟁력은 '전체 산업 체인의 독립적 공급' 시스템에 뿌리를 두고 있습니다. 아웃소싱된 구성 요소의 조립에 의존하지 않고 세 가지 핵심 링크를 독립적으로 마스터합니다.
자체 생산 모터: 다양한 EFU 크기 및 장비 배압 조건에 맞게 맞춤화되고 최적화된 모터 권선 매개변수, 임펠러 구조 및 방열 설계로 7×24시간 연속 작동을 충족하는 고효율 EC, DC, AC 및 기타 모터 선택을 제공합니다.
자체 생산 필터: 필터 재료의 절단 및 성형은 자체 공장에서 완료되며 HEPA H13/H14 ~ ULPA U15/U16 등급에 적용할 수 있으며 PTFE 무붕소 필터 미디어와 같은 특수 재료를 지원합니다.
자체 개발된 제어 시스템: RS485, Modbus, PLC, I/O 및 기타 프로토콜을 지원하고 장비 주 제어 또는 공장 업무 시스템에 원활하게 연결할 수 있으며 0.35-2m/s의 무단 속도 조절, 원격 모니터링 및 그룹 제어 연결을 달성합니다.
전체 체인의 자체 생산이 가져오는 직접적인 가치: 모터 출력 특성과 필터 저항 특성은 공장 출고 전에 정확하게 교정되고 동적으로 일치될 수 있습니다. 동일한 에너지 소비로 더 높은 외부 정압, 더 균일한 표면 풍속 분포 및 더 긴 필터 수명을 얻을 수 있으며, 구매한 부품의 배치 차이로 인한 성능 변동을 피할 수 있습니다.
Aili Industrial은 '비표준 맞춤화'를 추가 옵션이 아닌 핵심 서비스로 간주합니다. 맞춤 측정기준에는 다음이 포함됩니다.
구조 치수 : 비표준 길이 및 너비(최소 300×180mm ~ 최대 1500×1500mm), 표준 두께 및 70mm 초박형도 가능합니다.
상자 재질 : 경량 알루미늄 합금, SUS304 스테인레스 스틸, 316 스테인레스 스틸, 알루미늄-아연 플레이트, 스프레이 코팅 강철 플레이트, 정전기 방지 코팅 옵션.
필터 등급 : HEPA H13/H14, ULPA U15/U16, 선택 사항인 PTFE 무붕소 필터 재료(붕소 오염 및 AMC 위험 감소).
공기 흡입구 및 배출구 및 설치 : 맞춤형 측면 공기 흡입구/측면 공기 배출구 구조, 내장형, 측면 장착형, 상단 장착형, 하단 장착형 등 다양한 설치 방법.
특수 작업 조건 : 방폭, 고온 저항, 내식성 및 기타 요구 사항을 조정할 수 있습니다.
제어 모드 : 전위차계, 0-10V, MODBUS, 무선 모니터링 및 기타 유연한 옵션.
Aili Industry는 수요 도킹, 프로젝트 선택, 샘플 시험 생산부터 배치 배송까지 완벽한 맞춤형 서비스 체인을 제공합니다.
EFU는 더 높은 청결도가 요구되는 핵심 프로세스 링크에 널리 사용됩니다.
반도체 : 8인치/12인치 웨이퍼 제조에 필요한 포토리소그래피, 에칭, 확산 등의 핵심 장비입니다.
평판 디스플레이(FPD) : 어레이, 컬러필름, 박스, 모듈조립.
리튬 배터리 : 폴 피스 코팅, 롤링, 슬리팅 및 기타 장비.
정밀가공 : EFEM, Load Port, Wafer Sorter.
FFU(공장측) : 클린룸 천장에 설치 | 대형 클린룸 환경 유지(Class 1,000 등) | 단방향 흐름으로 넓은 공간을 커버 | 웨이퍼 제조공장, 바이오의약품 작업장
EFU(장비측) : 장비 기계 내부 통합 | 장비 내부의 초청정 환경 보장(ISO level 1) | 높은 정압으로 장비의 내부 저항 극복 | 노광기 내부, 패키징 장비, 패널 어레이 세그먼트
Aili Industrial은 외부 조달 및 조립에 의존하지 않고 팬, 필터부터 자동 제어 시스템까지 전체 체인의 독립적인 생산을 실현합니다. 팬 모터 권선부터 필터 재료 절단, 자동 제어 시스템 회로 기판 용접까지 모든 것이 자체 생산 기지에서 완료됩니다.
제어 가능한 품질: 모든 측면이 사내 품질 관리 시스템에 통합되어 구매한 부품의 배치 차이로 인한 성능 변동을 방지합니다 | - 심층적인 협업: 팬 풍량과 필터 저항을 실시간으로 일치시켜 전체 기계의 작동 효율성을 향상시킬 수 있습니다.
빠른 응답: 맞춤화 주기가 아웃소싱 모델보다 30%-50% 짧습니다 | - 판매 후 보증: 아웃소싱 부족으로 인한 장비 가동 중단을 방지하기 위해 자체 생산 핵심 부품을 교체합니다.
EFU 생산에 있어서 Aili Industrial의 가장 큰 기술적 하이라이트 중 하나는 자체 모터 생산 능력입니다. 단순히 아웃소싱 팬을 사용하는 것에 비해 자체 생산 모터는 다음과 같은 여러 가지 이점을 제공합니다.
심층적인 성능 매칭: 다양한 크기의 EFU에 최적화된 모터 매개변수 및 임펠러 구조 | - 다양한 모터 선택: 고효율 EC 모터, DC 모터 및 AC 모터는 유연하게 선택 가능
제어 가능한 신뢰성: 권선, 베어링부터 노화 테스트까지, 프로젝트 조건에 따라 맞춤화됨 | - 7×24시간 장기운영 : 장비 유지관리 비용 절감
Aili Industrial EFU는 장비 메인 제어 시스템과의 긴밀한 통합을 지원합니다.
통신 프로토콜: RS485, Modbus, PLC, I/O | - 제어방식 : 독립제어, 중앙집중제어, 원격감시, 네트워크제어
지능형 연동 : 청소장비 메인 제어 시스템과의 연동 및 그룹 제어 | - 정밀 조정: 0.35-0.9m/s 무단계 풍속 조정
Aili Industry는 '완전히 내장된 장비에 대한 요구 사항'을 강조합니다. EFU는 독립적인 모듈이 아니라 장비 시스템의 일부입니다. 크기, 인터페이스, 유지 관리 공간 및 배선 방법이 모두 전체 기계와 고도로 일치해야 합니다.
크기 사용자 정의: 모든 길이 및 너비(최소 300×300mm, 최대 1500×1500mm)의 비표준 사용자 정의 지원 | - 두께 맞춤화: 표준 두께 및 70mm 초박형 옵션
재료 맞춤화: 경량 알루미늄 합금, SUS304 스테인레스 스틸, 316 스테인레스 스틸, 알루미늄-아연 플레이트, 스프레이 코팅 강판 | - 표면 처리 : 정전기 방지 코팅 선택 사항
필터 사용자 정의: HEPA H13/H14, ULPA U15/U16 | - 특수 필터 재질 : PTFE Boron-Free 초미세 필터 (AMC 오염 방지)
공기 흡입 및 배출 방식: 측면 공기 흡입/측면 공기 배출 구조 사용자 정의 | - 설치 방법 : 내장형, 측면 장착형, 상단 장착형, 하단 장착형
제어 방법: 전위차계, 0-10V, MODBUS, 무선 모니터링 | - 특수 작업 조건: 방폭, 고온 저항, 내식성
캐비닛 두께 : 표준 두께 / 70mm 초박형 (필터 제외) | 캐비닛 재질: 알루미늄 합금 / SUS304 / 316 / 알루미늄-아연 플레이트
필터 등급: HEPA H13/H14 / ULPA U15/U16 | 여과 효율: 0.3μm 이상의 입자에 대해 ≥99.995%
공기량 범위: 200-3000m³/h(더 높은 수준은 사용자 정의 가능) | 풍속: 0.3-2m/s 균일하게 조정 가능한
모터 유형: 고효율 EC 브러시리스 DC 모터 | 제어 인터페이스: RS485 / Modbus / PLC / I/O
소음 제어: ≤55dB | 청결도: 최대 ISO 클래스 1
Aili Industrial은 Suzhou와 Guangde에 공장을 두고 있으며 이중 기반 협업 산업 레이아웃을 형성하고 있습니다. Guangde 생산 기지는 30,000m2 이상의 면적을 차지하고 표준화된 생산 작업장과 엔지니어링 기술 R&D 센터를 갖추고 있습니다.
각 팬은 최소 3번의 성능 테스트를 거쳤습니다 | - 공장 출고 전 종합적인 성능 테스트 및 검증
CE 인증 산업용 등급 정화 장비 | - 제품은 대량 생산에 앞서 엄격한 장기 테스트를 통과해야 합니다.
공간 제약, 청결 요구 사항 또는 장비 제어 요구 사항이 무엇이든 Aili의 산업 엔지니어 팀은 전문적인 지원을 제공할 수 있습니다.
귀하의 장비 모델에 대한 맞춤형 EFU 솔루션과 세부 사양을 얻으려면 즉시 Aili Industrial에 문의하십시오.
