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カスタマイズされたEFU装置側ファンフィルターユニット

Aili Industrial EFU (Equipment Fan Filter Unit) は、半導体プロセス装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、リチウム電池製造装置などのコアマシン向けに特別に開発された高精度空気濾過システムです。クリーンルームの天井に設置されるFFUとは異なり、EFUは装置本体に直接組み込まれ、フォトリソグラフィー装置、エッチング装置、洗浄装置、接着剤塗布および現像装置などに正確な末端空気供給を提供します。Aili Industrialはファン、制御システム、フィルタのチェーン全体の独立生産を実現し、非標準サイズ、特殊材料、特殊作業条件の詳細なカスタマイズをサポートします。
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製品紹介

Aili Industrial カスタマイズ EFU フィルター ユニット (1)

カスタマイズされたEFU装置側クリーンエア供給パッケージ

装置スペース、給気性能、制御インターフェースを共同開発


カスタマイズされた EFU は、設置スペース、局所的な清浄度要件、生産装置の制御インターフェースに従って設計された装置側ファン フィルター ユニットです。 Aili Industrial は、モーター、ファン、HEPA または ULPA フィルター、制御システム、ボックス構造を組み合わせて、半導体装置、リチウム電池装置、ディスプレイ パネル装置、SMT 実装機、自動化装置向けに非標準 EFU およびクリーン エア供給パッケージを提供します。


サイズと設置のカスタマイズ|風量と速度のマッチング|HEPA/ULPAフィルタ構成|制御システムのソフトウェアとハ​​ードウェアの開発


設備図面提出 → EFUカスタマイズ計画相談 →


カスタマイズされた EFU を選択するには、どの機器要件が適していますか?

既存の標準製品では装置のスペース、給気、インターフェースの要件を満たせない場合、装置の図面に基づいてEFUのカスタマイズを実行できます。機器をサポートする EFU は、製品構造と機器の使用要件を結び付けるために、設置条件、有効空気供給面積、濾過抵抗、動作モードを同時に考慮する必要があります。

デバイスが遭遇する状況

カスタマイズするときに何に注目すればよいでしょうか?

上部の高さが限られている、または内部スペースが狭い

超薄型EFU、小型EFU、規格外形状を評価し、吸気口クリアランス、フィルタ、メンテナンススペースを確認します。

取付開口部、穴位置、固定方法等に条件がございます。

機器のインターフェースに応じて、外観、取付枠、固定構造、シール方法を確認してください。

風量、速度、均一性について明確な目標を持つ

ファン、モーター、フィルター、ボックスの空気経路を共同で調整し、合意された設置およびテスト条件に従って検証します。

デバイスマスターコントロールとの連携が必要

起動停止、速度調整、ステータスフィードバック、通信インターフェース、機器動作ロジックを共同で確認します。

試用インストール後にプロトタイプを変更する必要がある

試組立とテストの結果に基づいて、コンポーネントの構成、構造、制御パラメータが同時にチェックされます。

カスタマイズされた EFU 技術パラメータとオプションの構成

アイリ工業では、プロジェクトの状況に応じて以下のカスタマイズされた内容を伝えることができます。具体的な寸法、空気供給性能、電気インターフェース、および供給構成は、計画書と図面で共同確認されます。

カスタマイズアイテム

通信可能な設定内容

確認が必要な設備の状態

外形寸法と設置高さ

規格外の長さと幅、超薄型構造、小型構造、ボックスとフィルターの組み合わせ。

利用可能なスペースの合計、予約された開口部、吸気口のギャップ、および周辺コンポーネントの位置。

風量と風速

有効給気面積、目標風量、目標風速、運転モードに応じて設定します。

保護面積、装置内部のエアダクト、フィルタ抵抗、実際の使用状況。

静圧と気流の均一性

ファンの動作点、ボックスの空気経路、フィルターの構成を一致させます。

機器の抵抗、測定場所、均一性基準および試験方法。

フィルター

HEPA H13/H14、ULPA U15/U16 およびその他の濾過グレード、濾材、フレーム、シーリング構成。

粒子状物質管理の目的、フィルター面積、作動抵抗、交換方法。

モーターとファン

動作条件に応じて、AC、EC、または DC の電源構成と速度調整方式を評価します。

供給電圧、周波数、負荷条件、動作時間、および制御要件。

ボックスの材質と表面処理

ステンレス鋼、アルミニウム合金、溶射鋼板、その他の材料および構造ソリューション。

材料の適合性、洗浄とメンテナンス、接地と静電気制御の要件。

制御と機器の連携

単一ユニットまたはグループの制御、開始と停止、速度調整、ステータスフィードバック、RS485 通信、PWM 速度調整、その他のプロジェクト構成。

配線定義、信号パラメータ、通信プロトコル、機器の PLC および動作ロジック。

設置とメンテナンス

フレームの取り付け、穴の位置、吸気・排気方向、フィルターの分解・組立、電気メンテナンス構造などを決定します。

固定および耐荷重条件、シール面、メンテナンスの指示、および操作スペース。

試作品と納品資料

プロジェクトごとに試作品、図面、配線情報、検査項目、構成リストを確認します。

開発段階、受け入れ条件、購入数量、および予想されるサポート体制。

Aili Industrial をカスタム EFU メーカーとして選択する理由は何ですか?

Aili Industrial には 30,000 平方メートルの製造拠点があり、その研究開発および製造システムは、モーター、ファン、制御システム ソフトウェアおよびハードウェア、エア フィルター、板金加工、完全な機械組み立てをカバーしています。コアコンポーネントは自社で開発・生産されており、関連する技術者が同じ機器要件に基づいて社内共同開発を実施し、空気供給性能、設置構造、制御インターフェース、製造手配を一緒に確認することができます。

コアコンポーネントから完全な EFU マシンまで、独立した研究開発と製造を行っています。

Aili Industrial は、モーターの製造、ファンの独立した研究開発と生産、制御システムのソフトウェアとハ​​ードウェアの開発、フィルターの製造、板金組立の能力を備えています。カスタマイズされた EFU プロジェクトは、コンポーネントの構成段階から設計に参加し、確認された技術要件を機械の製造と検査の完了に結び付けることができます。

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エア供給性能と取付構造を合わせて調整

目標風量、風速、均一性、機器抵抗に焦点を当て、関連担当者がファンの動作、フィルター構成、ボックスの空気経路、および制御パラメーターを共同で評価しました。設置スペースが限られている場合は、外観の高さ、吸排気口の条件、固定方法、メンテナンススペースなどを同時に考慮し、性能調整と構造設計の繰り返しを少なくする必要があります。

制御システムのソフトウェアとハ​​ードウェアの内部ドッキング

制御システムと機器の研究開発担当者は、顧客の電気計画に従って、始動/停止、速度調整、動作ステータス、障害フィードバック、通信要件を共同で確認できます。 RS485、Modbus、PWM、またはデバイス I/O リンクを使用する場合は、特定の構成に従ってインターフェイス定義、信号パラメータ、および制御ロジックを確認し、デバイスの統合およびデバッグと連携します。

開発の反応がより直接的になる

図面の打ち合わせ、部品選定、試作試作、パラメータ調整を内部で直結できます。機器の要件が変更された場合、関連するエンジニアが共同で変更の影響を確認し、要件を何度も繰り返し確認したり個別に確認したりする必要性を軽減し、プロトタイプの開発や問題の処理をサポートできます。

共同プロジェクトのコスト評価

同じソリューションでファン、モーター、フィルター、制御、板金構造を評価することで、開発段階で性能構成、処理アセンブリ、メンテナンス条件を調整できます。プロトタイプとバッチのマッチング計画を組み合わせることで、不必要な構成、インターフェースの手戻り、繰り返しの変更が削減され、顧客はプロジェクトの開発コストと調達コストを評価しやすくなります。

試作検証からバッチマッチングまで

プロジェクトごとに図面、部品構成、試験状況、検査要件を確認し、試作段階で決定した内容をその後の生産に活かします。運用中に問題が発生した場合、関係する研究開発担当者が現場の作業条件に基づいて電力、濾過、構造、制御の側面から共同で分析し、目標を絞った調整について議論できます。

Aili Industrial の研究開発と製造能力について詳しく知る→

シナリオをサポートするカスタマイズされた EFU アプリケーション業界および機器

装置ごとにプロセス領域、設置条件、制御要件に違いがあります。以下は、伝達および評価できる EFU サポート シナリオです。具体的な計画は、装置の用途、プロセス条件、および受け入れ要件に基づいて決定されます。

アプリケーション産業

シナリオをサポートする機器

EFU のカスタマイズに関する懸念事項

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半導体装置EFUカスタマイズ

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太陽光発電設備EFUカスタマイズ

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光学検査装置EFU

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自動化機器EFUカスタマイズ

精密な組み立て、積み降ろし、および自動生産装置のための部分的にクリーンなモジュール。

モーションメカニズムの回避、標準外の寸法、制御インターフェイス、および機器のリズムを備えています。

機器のレイアウト、動作範囲、電気インターフェース、および動作ロジック。

医薬品・医療機器EFU

医療機器のきれいな組み立て、梱包、関連機器のための局所空気供給。

プロセスの清浄度要件、材料、洗浄メンテナンス、フィルター交換。

プロセスの使用、機器のインターフェース、洗浄および受け入れの要件。

実験装置 EFU のカスタマイズ

指定された操作エリア内の機器、装置およびローカルのクリーンエア供給施設。

使用目的、粒子状物質管理の目的、スペースおよび動作騒音の要件。

機器の使用法、空調条件、および意図された動作領域。

食品・化粧品機器 EFU

地域の空気清浄度を必要とする組立、梱包、試験装置。

プロセス環境、ボックスの材質、洗浄メンテナンス、ろ過構成。

製品技術、設置条件、清掃方法、および動作要件。

半導体産業向けのクリーンエアソリューションを見る→ SMT実装機専用FFU/EFUはこちら→

機器メーカーパッケージのプロジェクト例

半導体装置の風速均一性カスタマイズ

半導体製造装置メーカーの支援プロジェクトにおいて、お客様から対象エリアの風速の均一性に関するご要望をいただきました。 Aili Industrial は、ファン、制御システム、ボックス設計を調整してプロジェクト要件を達成しました。関連コンポーネントと機械全体が一体となって調整に参加するため、お客様が指定した給気エリアを中心に性能検証を行うことができます。

リチウム電池装備 2m/sの高風速対応

リチウム電池製造装置メーカーのプロジェクトにおいて、愛利工業は顧客が提案した目標風速に焦点を当て、風力タービンと関連構成を調整することでプロジェクトの風速目標である2m/sを達成しました。この結果は、特定のプロジェクトの製品構成と使用条件に対応します。新しいプロジェクトは、サイズ、有効空気供給面積、濾過構成、抵抗条件に基づいて再確認する必要があります。

機器の図面からカスタム EFU の納品まで

要件提出→共同評価→試作検証→製造・納品

プロジェクト段階

アイリ産業の協力内容

要件を提出する

機器の使用法、図面、利用可能なスペース、空気供給目標、濾過要件、電源および制御インターフェースを整理します。既存の技術仕様を一緒に提供することができます。

共同評価

関係技術者が共同でモーター、ファン、フィルター、制御、構造構成を確認し、設置・メンテナンス条件を確認し、製品計画を策定します。

試作検証

プロジェクトのニーズに応じてプロトタイプの試用設置とテストを手配し、インターフェイスのサイズ、風量と速度、均一性と制御機能を確認します。テストの状況、方法、基準を明確にし、調整を実施します。

製造・納品

確認された図面、構成および検査要件を生産および組立に使用し、合意された製品および関連材料を提供し、その後のバッチマッチングに接続します。

カスタム EFU に関するよくある質問

カスタム EFU と標準 EFU の違いは何ですか?

標準 EFU は、設置寸法と動作要件が既存のモデルと一致するプロジェクトに適しています。非標準 EFU は、機器のスペース、風量と速度、フィルターと制御条件を中心に設計されています。カスタマイズが必要かどうかは、装置の開口部、利用可能な高さ、目標の空気供給要件に基づいて決定できます。

設備図面しかなく、EFU風量はまだ決まっていない。計画を伝えてもらえますか?

まず、保護する必要があるエリア、有効な空気供給範囲、機器の内部構造、および既存の清掃要件を提供します。これに基づいてエアの供給方向、風量と速度、ろ過構成をアイリ工業と共同で整理し、設備抵抗や動作条件に基づいて計画を確認することができます。

超薄型EFUや小型EFUをカスタマイズする際に注意すべき点は何ですか?

製品の完成外観、フィルターの形状、取り付け開口部、吸気口の隙間、固定構造、メンテナンススペースなどを同時に確認する必要があります。実際の設置に必要なキャビネットの厚みや総スペースは別途ご確認ください。具体的な寸法は対応機種および確認図に準じます。

カスタマイズされたEFUは設備PLCと連携できますか?

プロジェクトに応じて起動・停止、速度調整、ステータスフィードバック、通信設定などの通信が可能です。お客様は、PLC 側のインターフェイス、信号定義、および動作ロジックを提供する必要があります。 RS485 通信、Modbus プロトコル、または PWM 速度調整に関しては、プロトコル、配線、信号パラメータも併せて確認する必要があります。

半導体装置EFUの風速均一性要件の確認方法

まず、有効空気供給面積、測定場所、測定点の配置、稼働状況、判定方法を明確にします。 Aili Industry はこれらの条件を組み合わせて、ファン、フィルター、制御パラメータ、ボックス構造を共同で評価し、合意された試験方法を通じて結果を確認します。

AMC または温度と湿度の要件を備えた機器の EFU 要件を提案するにはどうすればよいですか?

懸念されるガス汚染物質、空気条件、温度と湿度の目標、および機器の既存の処理システムを計画段階で明記する必要があります。 EFU の空気供給は、化学ろ過、温湿度処理、装置の空気ダクトなどの条件と合わせて評価する必要があります。関連する機能は、特定の構成および検証要件に従って確認する必要があります。

カスタマイズされた EFU の価格と開発サイクルを決定する方法

サイズ構成、風量・静圧、濾過レベル、制御開発、試作検証、購入数量、納期などを総合的に評価。図面、技術要件、および推定バッチ計画を提供して、構成、見積もり、開発の取り決めを共同で確認するのに役立ちます。

試作品を作ってから一括で設備合わせをすることはできますか?

プロジェクトの開発段階に応じて、試作試作、試組立、性能検証などのコミュニケーションが可能です。プロトタイプが確認された後、設計変更、構成リスト、検査要件、インターフェイス データが次の生産に反映され、バッチ マッチングとの接続が容易になります。

EFU のよくある質問と選択ガイドをもっと見る →

EFU関連製品および技術情報

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EFU装置エンドファンフィルターユニットシリーズ

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ろ過グレード、サイズ、抵抗、シールの適合性を確認してください。

カスタマイズされた EFU の選択と技術的なコンサルティング

非標準の EFU メーカーをお探しの場合、または半導体、リチウム電池、ディスプレイ パネル、SMT、オートメーション機器用のクリーン エア供給モジュールを構成する必要がある場合は、機器の図面と技術要件を Aili Industrial に提供してください。

を優先して指定してください機器の目的、設置スペース、確保された開口部、目標空気量または速度、濾過要件、電源および制御インターフェース。均一性、騒音、振動、材質、または合格要件がすでに存在する場合は、これらの要件も提供できます。

Aili Industrial は、関連するエンジニアを組織して、コンポーネントと完全な機械ソリューションを共同で評価し、プロトタイプの開発、パラメータ調整、バッチマッチングの取り決めについて連絡を取ることができます。

非標準EFU図面の提出→ コンサルティング体制とパフォーマンス構成→ プロトタイプのやり取りと一括マッチング→

Aili Industry - モーター、ファン、制御システムからフィルター、EFU 完成機まで、機器メーカーにクリーン エア供給の研究開発、製造、プロジェクト支援サポートを提供します。

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Aili Industrial は 、FFU、EFU、HEPA/ULPA エア フィルター、高効率給気ベント、ファン ボックス、その他のクリーン エア機器を開発、製造しています。モーター、ファン、制御システム、フィルター、および完全な機械サポート機能を利用して、クリーン ルームおよび生産設備プロジェクトの選択とカスタマイズのサポートを提供します。

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