クリーンルーム浄化装置FAQと選定ガイド

FFU FAQ と選択ガイド

ここでは主にFFUの基本原理、風量計算、風量設定、風量構成、フィルタ選定、集中制御、各種給気装置の違いなどを説明し、清浄度、スペース、風量、静圧、制御の要件に応じた選択を支援します。

アイリ工業は、クリーンルーム面積、天井構造、清浄度、空気交換頻度、機器抵抗、制御要件に基づいて、FFU仕様、風量、フィルタレベル、設置数量、グループ制御方法などの選定提案をいたします。

EFUのよくある質問と装置側のクリーンエア供給ガイド

このセクションでは主に EFU の構造、アプリケーション シナリオ、EFU と FFU の違いを紹介し、機器メーカーが設置サイズ、目標空気量、外部静圧、クリーン エアの要件に基づいて適切な機器側の濾過および空気供給ソリューションを選択できるようにします。

Aili Industrialは、半導体装置、SMT装置、自動化装置、ローカルクリーンユニットの内部スペースに応じて、EFUの寸法、ボックスの高さ、風量、風速、濾過効率、設置方法、制御インターフェースをカスタマイズできます。

BFUと高効率給気ベントに関するよくある質問

ここでは、FFU、BFU、高効率給気口の構造上の違いと、クリーンルームの新設、部分改修、集中給気システムにおける選定方法について説明します。

BFU、高効率給気ベント、FFUを選択する場合は、集中給気システムの有無、利用可能な静圧、設置スペース、騒音要件、メンテナンス方法、事後管理要件などを総合的に考慮する必要があります。フィルターの効率だけで判断することはできません。

HEPA および ULPA エア フィルターに関するよくある質問

ここでは主に、HEPAとULPAの違い、H13～U16の濾過レベルの選択方法、フィルター交換サイクルの判断基準などを紹介し、濾過効率、システム抵抗、運転エネルギー消費量、メンテナンスコストを考慮するのに役立ちます。

フィルターレベルが高いほど良いです。実際の選定は、目標とする清浄度、検出粒子径、システム風量、有効静圧、フィルタ設置サイズ、シール方法、使用エネルギー消費量などを総合的に判断してください。

よくあるご質問とエアシャワールームのパラメータ設定

エアシャワーは通常、クリーンエリア内に人や物が入る通路に設置され、ろ過された高速気流によって表面に付着したパーティクルを吹き飛ばすために使用されます。エアシャワーの効果は、ノズルの風速、シャワー時間、ノズルのレイアウト、ファンの性能、フィルターの抵抗、人員の使用状況に関係します。

ここではエアシャワーの動作パラメータの設定方法を中心に紹介しており、流路形態、使用人数、現場の管理プロセス、クリーンエリアの要件に合わせて合理的に装置を設置することができます。

よくある質問とパス窓口の選択ガイド

転送ウィンドウは、クリーン エリアと非クリーン エリアの間、またはクリーン レベルが異なるエリア間の材料の転送に使用されます。循環ファン、フィルター、UVランプ、差圧制御などの浄化機能の有無により、静的搬送ウィンドウと動的搬送ウィンドウに分けられます。

このセクションでは主に 2 つの移送ウィンドウの構造と用途の違いを紹介し、ユーザーが材料の種類、移送頻度、清浄度要件、汚染制御プロセスに基づいて選択できるようにします。

クリーンワークベンチとエアフロー形式の選択に関するよくある質問

クリーン ワークベンチは、ファンとエア フィルターを通じて、動作エリアに比較的独立した局所的なクリーン環境を提供します。クリーンエアの流れ方向により、水平流クリーンベンチと垂直流クリーンベンチの形式が一般的です。

このセクションでは主に、構造、動作スペース、製品保護、気流方向、適用可能なシナリオの観点から 2 つの気流形式の違いを比較し、ユーザーがプロセス フローに基づいて適切なクリーン ワークベンチを選択できるようにします。

クリーンシェッドのよくある問題と清浄度管理

クリーン ワークベンチは、ファンとエア フィルターを通じて、動作エリアに比較的独立した局所的なクリーン環境を提供します。クリーンエアの流れ方向により、水平流クリーンベンチと垂直流クリーンベンチの形式が一般的です。

このセクションでは主に、構造、動作スペース、製品保護、気流方向、適用可能なシナリオの観点から 2 つの気流形式の違いを比較し、ユーザーがプロセス フローに基づいて適切なクリーン ワークベンチを選択できるようにします。

ファンボックスと風量・静圧の選定に関するよくあるご質問

ファン ボックスは、空調システム、浄化装置、またはローカル空気供給システムに必要な空気動力を供給するために使用されます。ファンボックスの主なパラメータには、風量、全圧または静圧、モーター出力、速度調整方法、騒音、インターフェイスのサイズ、取り付け方向が含まれます。

ここではファンボックスの風量と静圧の求め方を中心に、配管抵抗、フィルタ抵抗、吹出口抵抗、システムマージンを考慮した選定方法を説明します。。

ケミカルフィルターとガス汚染制御に関するよくある質問

ケミカルフィルターは主に空気中の特定のガス状汚染物質を処理するために使用され、粒子状物質濾過用の HEPA フィルターや ULPA フィルターとは異なる作業目標を持っています。化学フィルターの材質が異なれば、酸性ガス、アルカリ性ガス、有機ガス、その他の汚染物質に対する処理能力も異なります。

ここではケミカルフィルターで対応できる汚染物質の種類を中心に、フィルター材質を選択する際に注意すべき汚染物質の組成、濃度、温度、湿度、除去条件、交換サイクルなどについて紹介します。

FFU とクリーン機器のインテリジェント制御に関するよくある質問

クリーン ワークベンチは、ファンとエア フィルターを通じて、動作エリアに比較的独立した局所的なクリーン環境を提供します。クリーンエアの流れ方向により、水平流クリーンベンチと垂直流クリーンベンチの形式が一般的です。

このセクションでは主に、構造、動作スペース、製品保護、気流方向、適用可能なシナリオの観点から 2 つの気流形式の違いを比較し、ユーザーがプロセス フローに基づいて適切なクリーン ワークベンチを選択できるようにします。

清浄度レベルとクリーンプロジェクト選択ガイド

クリーン装置の選定には、対象となるクリーン度、部屋の面積、床の高さ、プロセスダスト量、人員数、温湿度、換気回数、運転時間、装置の設置条件など多方面から分析する必要があります。

このセクションでは、ISO の清浄度レベル、クラス 100 のクリーン ルームと ISO 5 の関係、および新しいクリーン プロジェクトと省エネ改修プロジェクトの機器選択におけるさまざまな優先順位の紹介に焦点を当てます。