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FFUコンピュータ群管理システム |集中制御、パーティション管理、リアルタイム監視
クリーンルーム内の複数のFFUユニットは、FFUコントローラ、通信ネットワーク、専用ゲートウェイ、コンピュータホストコンピュータを介して統合管理プラットフォームに接続され、単体制御、グループ制御、フレーム選択制御、仮想パーティション、稼働状況監視、アラーム記録、データ統計などの機能を実現します。
単一FFU → FFUコントローラ → 通信ネットワーク → 専用ゲートウェイ → コンピュータホスト → 集中管理
FFU コンピュータ群制御システムは、主にコンピュータ ホスト コンピュータ、スイッチ (現場の作業条件に応じて決定)、FFU 専用ゲートウェイ、および FFU ユニットで構成されます。
このシステムにより、現場の1台のFFUをコンピュータ上で速度制御、発停制御、運転状況照会などを監視することができます。ボックスの選択を通じて、制御および監視用に指定された FFU を選択することもできます。
FFUユニット |
FFUコントローラー |
通信ネットワーク |
専用ゲートウェイ |
コンピュータ ホストコンピュータ |
クリーンエア処理装置 |
スタート・ストップ、速度調整、通信 |
フィールドデバイスを接続する |
フィールドデータ通信 |
集中制御と監視 |
FFU → コントローラ → 通信ネットワーク → 専用ゲートウェイ → ホストコンピュータ → 制御と監視
単一 FFU 制御は小規模アプリケーションに適しています。しかし、クリーンルーム内のFFUの数が増えると、装置の起動・停止・動作パラメータを一つ一つ調整していくと現場の管理が煩雑になってしまいます。
例えば：
領域が異なれば、必要な動作状態も異なります
特定のエリアで風速を均一に調整する必要がある
特定の FFU で異常が発生したため、迅速に特定する必要があります。
設備のメンテナンスには稼働状況の問い合わせが必要
生産現場はシフトに応じて稼働モードを調整する必要がある
このとき、「単一機器制御」から「ネットワークによる集中管理」への移行が必要となります。
各 FFU は独立した制御ノードとして機能し、独立した重複しない ID アドレスを持ちます。システムはさまざまな FFU を識別し、個々のユニットの制御とステータスのクエリを実行できます。
制御命令の受信、FFU の開始と停止、速度調整、ステータス通信の完了を担当します。既存のコントローラー データによると、EC ファン コントローラーは開始と停止、無段階速度調整を実現でき、単一制御、グループ制御、ゾーン制御、RS485 通信をサポートしています。
RS485 などの通信方法を介してオンサイト FFU 制御ノードに接続します。具体的な通信方式、ケーブル、アドレス、プロトコルパラメータはシステム構成に応じて決定されます。
オンサイト FFU ネットワークとホスト コンピューター間のデータ通信を担当します。既存の Aili 産業用システム データの専用ゲートウェイは、複数のパーティションを管理でき、IP やボー レートなどのパラメータ構成をサポートします。また、FFU 制御、オフライン統計、入出力インターフェイスも備えています。
FFUをコンピュータ上で一元的に表示および管理します。異なるエリア、異なるFFUの動作状態を確認したり、シングル制御、グループ制御、フレーム選択制御を行うことができます。
Aili Industrialの既存のFFUグループ制御ホストコンピュータには、シングル制御、グループ制御、任意フレーム選択制御、仮想パーティション、サウンドアラーム、アラーム記録、操作記録、勤務動作記録、エリアハイライト表示、ワンキー起動、アラーム履歴照会、電子看板、統計、エリア表示、表表示、ロゴカスタマイズ、起動画面カスタマイズ、エリア名のカスタマイズ、勤務機能、ソフトウェアマルチスタート、データ統計転送などが含まれます。
単体制御 |
グループ制御 |
フレーム選択コントロール |
仮想パーティション |
単一の FFU を独立して制御 |
複数のFFUを制御 |
任意のデバイスを選択 |
実際のニーズに応じてエリアを再編成する |
警報音 |
アラーム記録 |
運用記録 |
当直業務記録 |
新しいアラーム音のリマインダー |
アラーム情報の保存 |
クエリ関連の操作 |
管理業務運営 |
領域の強調表示 |
ワンクリックブート |
履歴クエリ |
電子看板 |
指定した領域を強調表示する |
クイックスタート FFU |
履歴アラームのクエリ |
システムステータスの表示 |
統計 |
地域別表示 |
テーブルディスプレイ |
データ統計の転送 |
関連データを集約する |
地域別に見る |
リスト形式で見る |
システム要件に基づいたデータ転送 |
ロゴのカスタマイズ |
起動画面のカスタマイズ |
地域名のカスタマイズ |
複数のソフトウェアを開く |
システムロゴの設定 |
スプラッシュ画面を構成する |
エリア名の変更 |
プロジェクトのニーズに基づいて複数のソフトウェア インスタンスを実行する |
クリーンルームのレイアウトに応じたFFUの柔軟な管理
特定の FFU を選択し、単一のデバイスで次の手順を実行します。
始動・停止→速度調整→運転状態照会→警報状態確認
複数の FFU をコントロール グループとして設定します。
例： A生産エリア、 B生産エリア、 Cテストエリア
現場の管理方法に基づいて、対応するコントロールグループを確立できます。
監視インターフェースで指定範囲内のFFUを直接選択し、選択した機器に対して一元的な制御操作を実行します。この方法は、多数のクリーン ルーム機器と複雑なレイアウトを備えたプロジェクトに特に適しています。
個別に表示または調整する必要がある FFU については、ホスト コンピュータの単一デバイス上で操作を実行できます。
スタート/ストップ制御 |
速度制御 |
ステータスクエリの実行中 |
デバイスステータスビュー |
FFUの開始または停止を制御します |
FFU の実行速度を設定する |
設備の稼働状況を確認する |
現在のデバイスのステータスを表示する |
FFU グループ制御システム データは、単一 FFU の速度調整、開始と停止、および実行ステータスのクエリを明確にサポートします。
複数の FFU を同じ制御ロジックに従って管理する必要がある場合は、グループ制御方式を使用できます。
FFUを選択 → 制御関係を確立 → グループ制御を実行 → デバイスのステータスを表示
同一エリアFFU |
同じ機能領域内の FFU |
FFUセットを指定する |
複数のパーティション |
地域ごとに一元管理 |
実際の機能に応じて分割する |
特定のデバイスを選択してください |
プロジェクト構成に応じた管理 |
システムは、ボックスの選択による制御および監視用の指定された FFU の選択をサポートします。
監視インターフェースに入る → FFUを選択 → 制御動作を選択 → デバイスのステータスを確認
デバイスの選択 |
バッチ操作 |
一緒に見る |
ステータスフィードバック |
インターフェースに応じてFFUを選択してください |
選択したデバイスで操作を実行する |
選択したデバイスの表示 |
操作後のステータスを表示する |
クリーンルームは同じ空間ではありません。生産エリア、装置エリア、プロセスエリアが異なれば、運用要件も異なる場合があります。 FFU の設置および配線プロセス中に形成される実際のパーティションは、その後の生産管理に必要な機能領域とは異なる場合があります。
したがって、Aili Industrial FFU グループ管理システムは、プロジェクトの実際のレイアウトに従って確立でき、既存のパーティションを再編成できます。
実際のFFUパーティション → カスタマイズゾーン → ゾーン管理 → ゾーン制御
エリアを追加する |
名前の変更 |
パーティションの追加 |
パーティションを削除する |
新しいカスタムエリアを作成する |
実際の用途に応じた命名 |
ゾーンにパーティションを追加する |
ゾーンから削除 |
カスタム領域を選択した後、その領域が属するパーティションの FFU を開始または停止できます。
リアルタイム監視インターフェースでは、ゲートウェイリストとFFUリストを表示できます。
ゲートウェイ名 |
IPアドレス |
接続状態 |
通信状態 |
ゲートウェイ名を表示 |
対応するIPを表示 |
オンライン/切断ステータス |
接続状態 |
FFUゲートウェイIP |
エリア |
ゾーンエイリアス |
FFU名 |
対応ゲートウェイ情報 |
エリア |
ゾーンエイリアス |
デバイス名 |
FFU番号 |
設定速度 |
リアルタイム速度 |
差圧警報 |
デバイス番号 |
速度パーセンテージを設定する |
現在の速度 |
差圧警報状態 |
ドライブアラーム |
通信状態 |
作業状況 |
IDアドレス |
ドライブ関連のアラーム |
現在の通信状況 |
現在の作業状況 |
FFU対応ID |
監視インターフェイスでは、システムは FFU ステータスを区別するためにさまざまな色を使用します。
緑 |
青 |
黄色 |
赤 |
FFU実行 |
FFUのシャットダウン |
FFUオフライン |
FFUアラーム |
同時に、緑色の円グラフは、現在のページの FFU の合計数を表すために使用されます。
リアルタイム監視ページは、エリア名または FFU 名に基づくクエリをサポートします。
エリア名を入力→クエリをクリック→エリアのFFUを表示
FFU 名を入力 → [クエリ] をクリック → 指定した FFU のステータスを表示
地域クエリ |
FFUクエリ |
デバイスのステータス |
運行情報 |
エリア内のFFUを問い合わせる |
指定されたFFUを問い合わせます |
現在のステータスを表示する |
動作パラメータを表示する |
群管理システムでは機器の異常を集中表示できます。
アラームが発生した場合、オペレータは監視インターフェースを通じて該当する機器とエリアを確認できます。
システムの既存の機能には次のものが含まれます。
アラーム表示→サウンドリマインダー→アラーム確認→アラーム記録→履歴照会
FFU が対応する差圧検出コンポーネントで構成され、コントローラーが対応するインターフェイスを備えている場合、システムはさらに関連する差圧信号を取得できます。
既存のシステム監視インターフェイスでは、以下を表示できます。
差圧警報
ドライブアラーム
通信状態
作業状況
この情報は、保守担当者が機器の動作状態をさらに判断するのに役立ちます。
群管理システムでは、機器の状態をリアルタイムに表示するだけでなく、稼働管理記録も作成できます。
デバイスのアラーム情報を記録します。
システム内の文書管理操作。
勤務運行管理に利用します。
システム稼働データを要約します。
その後のクエリや運用管理が容易になります。
大規模でクリーンな工場では、FFU 制御システムはプロジェクト要件に基づいて他のシステムと対話できます。
FFU → グループ管理システム → 工場事務システム
FFU → 群管理システム → BMS
FFU → グループ制御システム → PLC
FFU → 群管制システム → 消防管制システム
実際の通信インターフェース、プロトコル、ドッキング方法はプロジェクト自動化アーキテクチャに応じて確認する必要があります。
専用ゲートウェイは最大 5 つのクライアントに接続できます。愛利工業が提供するホストコンピュータを使用するほか、プロジェクトの要件に応じて、工場事務システムや消防管制システムなどの他の自動制御システムとの接続にも使用できます。
FFU → 専用ゲートウェイ → Aili 産業用ホストコンピュータ
FFU → 専用ゲートウェイ → 工場事務システム
FFU → 専用ゲートウェイ → 消防管制システム
FFU → 専用ゲートウェイ → その他の自動制御システム
実際のインターフェース、通信プロトコル、ドッキング方法はプロジェクトに応じて確認する必要があります。
単体制御 |
グループ制御 |
任意のフレーム選択 |
仮想パーティション |
FFUの独立制御 |
複数のデバイスを一元管理 |
特定のデバイスを選択してください |
実際のニーズに応じて再分割 |
スタート/ストップ制御 |
速度制御 |
リアルタイム監視 |
地域クエリ |
制御装置の起動と停止 |
FFUの動作速度を調整する |
実行ステータスの表示 |
指定エリアの問い合わせ |
警報音 |
アラーム記録 |
運用記録 |
履歴クエリ |
新しいアラーム音のリマインダー |
アラーム情報の保存 |
稼働情報の保存 |
履歴情報のクエリ |
職務関数 |
FFUマスターコントロール |
電子看板 |
統計 |
デューティ動作の設定 |
選択した領域の統合制御 |
システムステータスの概要 |
システム情報の概要 |
領域の強調表示 |
地域別表示 |
ロゴのカスタマイズ |
起動画面のカスタマイズ |
指定された領域を強調表示する |
地域別に見る |
ロゴの設定 |
スプラッシュ画面を構成する |
地域名のカスタマイズ |
複数のソフトウェアを開く |
データ統計の転送 |
複数のクライアント |
カスタムエリア名 |
プロジェクトに応じた使い方 |
プロジェクトに基づいたデータ転送 |
最大5クライアント |
オペレーター → シングル FFU → 開始/停止/速度調整 → ステータスの表示
オペレータ → PC → エリア/グループ/シングルFFU → 集中制御 → ステータスフィードバック
群管理システムはFFU自体のクリーンエア供給機能を変更するものではなく、複数のFFUが通信やソフトウェア管理を通じてプロジェクトのニーズに応じた集中操作や状況確認を行うことができます。
Aili Industrial の FFU 関連製品システムは以下をカバーします。
ファン |
モーター |
制御システム |
フィルター |
ファン製品 |
EC/DC/AC ソリューション |
コントローラーとシステム |
HEPA/ULPA |
板金製造 |
FFU完成機 |
グループ管理システム |
プロジェクトのカスタマイズ |
キャビネットの製造 |
FFUデバイス |
コンピュータグループ制御 |
システム構成 |
これにより、プロジェクト要件に基づいて、FFU 機器、コントローラー、グループ制御システム間の全体的な構成が可能になります。
半導体 |
電子製造業 |
光電子ディスプレイ |
新しいエネルギー |
多エリアクリーン環境 |
産地管理 |
クリーンな生産現場 |
クリーンな生産空間 |
薬 |
研究室 |
きれいな小屋 |
工業用クリーンルーム |
クリーンエリア管理 |
FFU集中監視 |
地域のクリーンな環境 |
マルチリージョン FFU 管理 |
具体的なシステム構成は、FFU の数、クリーン ルームのレイアウト、プロジェクトの制御要件に基づいて決定する必要があります。
多数の FFU が異なるプロセス領域に分散されており、装置の状態を一元的に管理する必要があります。
異なる生産エリアに応じて FFU 制御パーティションを確立します。
複数エリアのクリーンエア供給装置の集中管理に最適です。
クリーンエリアに応じたFFUの設備管理と状態監視を行います。
複数のFFUで一元管理するクリーンスペースに最適です。
クリーンルームの設計段階で、FFU の通信と制御ネットワークを同時に計画します。
元のFFUと制御条件に基づいて、対応するグループ制御アップグレード計画を策定できます。
単体制御 |
グループ制御 |
任意のフレーム選択 |
仮想パーティション |
FFUの独立制御 |
複数のデバイスを一元管理 |
特定のデバイスを選択してください |
実際のニーズに応じて再分割 |
スタート/ストップ制御 |
速度制御 |
リアルタイム監視 |
地域クエリ |
制御装置の起動と停止 |
FFUの動作速度を調整する |
実行ステータスの表示 |
指定エリアの問い合わせ |
警報音 |
アラーム記録 |
運用記録 |
履歴クエリ |
新しいアラーム音のリマインダー |
アラーム情報の保存 |
稼働情報の保存 |
履歴情報のクエリ |
職務関数 |
FFUマスターコントロール |
電子看板 |
統計 |
デューティ動作の設定 |
選択した領域の統合制御 |
システムステータスの概要 |
システム情報の概要 |
領域の強調表示 |
地域別表示 |
ロゴのカスタマイズ |
起動画面のカスタマイズ |
指定された領域を強調表示する |
地域別に見る |
ロゴの設定 |
スプラッシュ画面を構成する |
地域名のカスタマイズ |
複数のソフトウェアを開く |
データ統計の転送 |
複数のクライアント |
カスタムエリア名 |
プロジェクトに応じた使い方 |
プロジェクトに基づいたデータ転送 |
最大5クライアント |
FFUコンピュータ群制御システムは、コンピュータホストコンピュータ、FFU専用ゲートウェイ、FFUユニットで構成され、制御・監視システムを構成します。単体制御、速度調整、始動・停止、現場FFUの運転状態照会などが行えます。フレーム選択制御もサポートします。
できる。このシステムは、単一 FFU の速度調整、開始/停止制御、および実行ステータスのクエリをサポートしています。
できる。このシステムは、グループ制御と任意のフレーム選択制御をサポートしています。
できる。仮想パーティションやカスタムエリアをサポートしており、プロジェクトの実際の管理方法に合わせてエリアを再編成することができます。
できる。具体的な速度調整範囲は、FFU で使用されるコントローラーとモーターの構成によって異なります。
できる。リアルタイム監視ページでは、FFU のゲートウェイ、エリア、名前、番号、設定速度、リアルタイム速度、通信状態、動作状態などの情報を表示できます。
できる。このシステムはアラーム プロンプトをサポートしており、音を通じて新しいアラームを通知できます。サウンドリマインダーを実現するには、コンピューターを外部デバイスに接続する必要があります。
できる。ホスト コンピュータには、アラーム記録機能と履歴クエリ機能が含まれています。
できる。操作記録機能を搭載しています。
仮想パーティションは、実際の運用や管理のニーズに基づいて確立された FFU パーティションを再結合するために使用され、システム内の地域管理方法が実際の使用ニーズにより一致するようになります。
既存の専用ゲートウェイは最大 6 つのパーティションをサポートし、各パーティションには最大 60 個の FFU、合計で最大 360 個の FFU があります。
既存の専用ゲートウェイは最大 5 つのクライアントに接続できます。
Aili Industry に関連する FFU コントローラ情報は 485 通信をサポートしており、具体的な通信方法は最終的なコントローラとシステム構成に従って決定されます。
既存の専用ゲートウェイは最大 5 つのクライアントをサポートしており、プロジェクトの要件に応じて工場業務システムや消防管制システムなどの他の自動制御システムに接続するために使用できます。具体的なインターフェースやドッキング方法はプロジェクトに応じて確認する必要があります。
既存のソフトウェアにはワンクリック起動機能やFFUマスター制御機能があり、実際のパーティションに応じて均一に制御することができます。
できる。このシステムには勤務機能と勤務操作記録が含まれており、毎日複数の勤務時間帯の設定をサポートします。
できる。システムはカスタム領域名をサポートしており、カスタム領域のパーティションを管理できます。
システム価格は、FFUの数、コントローラ、ゲートウェイの数、ホストコンピュータの機能、通信ネットワーク、その他のシステムの必要性などに関係しており、具体的なプロジェクト構成に応じて確認する必要があります。
アイリ工業では、メンテナンス方法、機能特性、用途シナリオ、サイズ仕様に応じて分類・選択できる複数種類のFFUを提供しており、標準以外のカスタマイズにも対応しています。
メンテナンス担当者は、登ることなく地上でフィルタ交換を完了できるため、登攀作業のリスクが効果的に軽減されます。
底部交換フィルター設計を採用しており、1枚のフィルターを交換する時間が短縮されます。床高さ2.4m以上のクリーンルームに最適です。風量範囲は900-1500m³/h、動作音は≤58dB、ボックス材質は304ステンレス鋼、亜鉛メッキ板、アルミニウム板、塗装鋼板などから選択可能です。
メンテナンス担当者は、クリーン ルーム内の作業スペースを占有することなく、吊り天井の上の技術用メザニンから作業を行います。
従来のFFUの標準メンテナンス方法である上部フィルター交換方式を採用。天井上に十分なメンテナンススペースがあるクリーンルームに適しており、従来のクリーンルームの天井設置シナリオにも適しています。
EFEM やロード ポートなどの半導体微小環境に適応し、床の高さが制限されたスペースの洗浄ニーズに対応します。
半導体製造装置や狭いスペース向けに特別に開発されたファン本体の厚さは70mmに圧縮されています。自社開発のDCモーターと高精度ダイナミックバランスアルミ合金風車を採用しています。オプションの PTFE ボロンフリー超微細フィルター。制御インターフェースはRS485/Modbusプロトコルに対応し、筐体材質は軽量アルミニウム合金またはステンレスから選択可能です。
DC ブラシレスモーターを搭載しており、AC FFU と比較して 30% ～ 50% のエネルギーを節約でき、無段階速度調整とインテリジェントなグループ制御をサポートします。
ブラシレスDCモーターによって駆動されるため、電力変換効率が高く、平均電力は約60W〜180Wです。 0〜100%の無段階速度調整をサポートします。動作音は約52～58デシベルで、AC FFUより5～7デシベル低くなります。中央監視システムにアクセスするための RS485/Modbus プロトコルをサポートします。
モーターと電気システムは防爆仕様の要件を満たしており、リチウム電池の新エネルギー源などの可燃性および爆発性環境向けに特別に設計されています。
リチウム電池生産ラインの実際のプロセスセクションと防爆ゾーンに対して、装置材料、モーターの選択、電気設計の目標を絞った最適化が行われます。関連する防爆規制の要件を満たすために、防爆モーターと帯電防止ボックス素材を採用しています。当社は新しいリチウム電池生産ラインのカスタマイズを迅速化し、5 日以内に生産、配送、オンサイト試運転を完了しました。
静電気防止 FFU 統合静電気除去デバイスは、気流の帯電をリアルタイムで中和し、静電気放電による精密電子製品への損傷を防ぎます。
半導体・電子製造の特性を考慮し、ボックス材質やフィルターに帯電防止処理をオプションで用意しております。除電装置を統合することにより、イオン化された空気はプラスとマイナスのイオンを生成し、気流内の静電気を効果的に中和します。オプションの帯電防止複合コーティングは、表面抵抗を安定させ、粉塵の吸着を効果的に軽減します。
Aili Industrial ステンレス鋼 FFU オールステンレス鋼ボックスは耐腐食性があり、微生物が繁殖しにくいです。医薬品や食品など衛生面の要求が高いシーンに最適です。
ボックス本体は耐食性、耐酸化性に優れたSUS304またはSUS316Lステンレス鋼を使用しています。食品工業、バイオ医療、腐食性ガス環境など衛生面の要求が厳しい現場に最適です。表面は細かく研磨されているため、洗浄や消毒が簡単で、構造設計により隙間やデッドコーナーが減少します。
Aili Industrial の大容量 FFU の風速は、精密コーティング、乾燥、硬化における大容量空気供給のプロセス要件を満たすために 2m/s 以上にカスタマイズできます。
精密塗布、乾燥、硬化など、熱を運ぶために強い風量が必要なプロセスなど、空気供給量の要求が高いプロセスシナリオに適しています。モーター出力とファンの選択は、大風量要件に応じて再調整され、大風量下でも低騒音と安定した動作を保証します。
これは、Panasonic、ASM、Fuji などの主流の装着機向けに特別にカスタマイズされています。本体の高さはカスタマイズ可能です。
装着機上部の安全カバーにそのままシームレスに直接装着できます。オプションで静電気除去モデル、スクリーン付きモデルなど。パナソニックのほか、ASM、富士、ヤマハなどのブランドモデルにも対応可能です。
EFEM、ロードポート、ソーター、ストッカー、OHT、半導体洗浄装置向けに設計されており、装置PLCとの連携制御にも対応しています。
エアフローの均一性、無振動、長期連続稼働に対する高い要件を備えており、さまざまな半導体装置の通信プロトコルに適しています。一般的なアプリケーション シナリオには、EFEM 装置のフロントエンド モジュール、ウェーハ搬送ボックス インターフェイス、ウェーハ ソーター、ウェーハ保管システム、OHT クレーンの内部微小環境、半導体洗浄装置などが含まれます。
TFT-LCD、AMOLED、その他のパネル生産ラインに適しており、アレイ、セル、モジュールプロセスの異なる清浄度要件を満たすことができます。
パネル製造では、小さな塵や繊維が輝点、黒点、画素抜けなどの欠陥を引き起こす可能性があります。 Aili Industrial FFU は、安定した風速 0.45m/s で安定した垂直層流空気供給を形成でき、最適な粒子沈降効率を保証します。 AMC ガス状分子汚染物質の場合、化学フィルターを使用して酸、塩基、有機物を除去できます。清浄度は、LCD 製造の ISO 4-5 および OLED 製造の ISO 3-4 の要件を満たすことができます。
Aili 産業用リチウム電池業界固有の FFU は、ポールピースコーティング、バッテリーコアの巻線、電解液注入、その他のプロセスリンクに適しており、粉塵の多い環境にも簡単に対応できます。
リチウム電池の製造では、金属破片や導電性粉塵が電池の性能と安全性に直接影響します。 Aili 産業用保護 FFU ユニットには、粉塵や繊維汚染物質を効率的に遮断するための HEPA または ULPA フィルターが装備されています。防爆 FFU を液体注入エリアに使用すると、静電気火花のリスクが排除され、生産の安全性が確保されます。
クリーンルームを新設する場合でも、既存のFFUシステムを集中制御して改修する場合でも、まずFFUの数、装置のモデル、サイトのレイアウトを確認します。
FFUグループ制御ソリューション |
FFUコントローラー |
専用ゲートウェイ |
ホストコンピュータシステム |
|---|---|---|---|
集中制御とパーティション管理 |
FFUのスタート、ストップ、速度調整 |
フィールド通信とデータ接続 |
PCの監視と管理 |
FFU 数量 + FFU モデル + クリーン ルーム レイアウト + 制御要件
→ アイリ産業がシステム構成を確認→
→ プロジェクトに適したFFUグループ制御ソリューションを入手
