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静電気制御とクリーンエア供給を装置側で一体化
ECファン、H14高効率フィルタ、静電制御モジュールをコンパクトなEFUに統合し、半導体装置、電子製造、精密生産環境にクリーンエア供給ソリューションを提供します。
ECモーター・H14フィルター・スタティック制御・無段変速・単体/グループ制御
帯電防止EFU|FFUは、装置端へのクリーンエア供給に使用され、帯電防止機能を兼ね備えたファンフィルタユニットです。
EFU は通常、きれいな空気と装置スペースが必要な場所に設置されます。ファンは空気を高効率フィルターを通過させ、対象エリアに送ります。
これに基づいて、帯電防止 EFU には静電気制御モジュールが追加され、特定のアプリケーション環境に合わせて静電気を制御します。
半導体装置、電子製造、精密生産環境では、空気の清浄度や静電気環境がプロセスに影響を与える可能性があります。したがって、フィルタ、ファン、静電モジュール、制御システムは、実際の機器の要件に応じて包括的に構成する必要があります。
Aili Industrial 帯電防止 EFU は EC ファン ソリューションを採用しており、H14 高効率フィルターと静電モジュールで構成でき、クリーンな空気と静電気の制御が必要な機器側のアプリケーションに適しています。
オプションの EC 内部ローター モーター構成を使用して、EFU に空力パワーを提供し、無段階速度調整をサポートできます。
既存の仕様および構成では、H14 高効率フィルターを使用しています (ULPA フィルターはオプション)。
静電モジュールを搭載しており、特定のアプリケーション環境での静電制御に使用できます。
無段階速度調整をサポートしており、構成に応じてローカル制御、単体制御、通信グループ制御を実現できます。
01空気が入る 周囲の空気が EFU に流入する |
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02ECファンドライブ ECファンが空気の流れを生成 |
→ |
03高効率ろ過 空気はH14高性能フィルターを通過します |
→ |
04静的制御 静的モジュールによるアプリケーション領域の静的制御 |
→ |
05クリーンエアの供給 処理された空気が装置またはクリーンエリアに入る |
静電気の影響を受けやすい環境向けの EFU 構成
クリーンエアのろ過に基づいて、帯電防止 EFU を静電モジュールと組み合わせて、アプリケーションエリアの静電気環境を制御できます。
静電モジュール:静電モジュール V で構成されます。
消散時間:既存の仕様に記録されている静電気の消散時間は、 <10 秒です。試験条件は±1000V～±100V、正面風速0.45m/s±20%、吹出口面からの距離30cmです。
プロジェクト要件に応じて、オプション:
オンライン粒子検出器→オンライン静電検出器。
テクニカルノート:上記の静電気パラメータは、特定の製品仕様およびテスト条件に対応しています。実際の性能は設置距離、風速、環境条件、製品構成によって影響されます。プロジェクトの選択は、最終製品の技術文書と実際のテスト条件に基づいて行う必要があります。
H14高効率ろ過（より高い浄化レベルのフィルタをカスタマイズ可能）により、装置にクリーンな空気を提供します
帯電防止 EFU は、静電気の制御を考慮するだけでなく、装置側の空気清浄要件を満たす必要があります。
従来製品仕様はH14高効率フィルターを搭載しております。フィルター素材には極細のグラスファイバーを使用し、外枠には陽極酸化処理を施したアルミニウムプロファイルを使用しています。
高効率フィルター効率: 99.99% @ 0.3 μm
フィルター構造:
超微細ガラス繊維フィルター素材→陽極酸化アルミニウムプロファイルフレーム→プラスチック溶射スチールメッシュ保護→オフホワイトのシールストリップ
参考風速： 0.45m/s±20%
具体的な風量と風速は、フィルター抵抗、ファン性能、装置の使用条件などから確認する必要があります。
静電気対策EFUはECファン構成を採用しており、ファンの動作状態はコントローラーで調整されます。
既存の製品仕様は、EC内部ローターモーターを採用し、220V/50Hz電源、定格電力150Wを備え、羽根車は金属羽根車を採用しています。
無段階速度調整：制御システムは無段階速度調整をサポートしており、機器の実際の空気供給要件に応じてファンの動作状態を調整できます。
スタンドアロン制御:各 EFU を独立して制御できます。
グループ管理：システム構成に応じて、複数のEFUをグループ管理できます。
通信制御：制御システムは485通信とModbus-RTU標準プロトコルをサポートしており、プロジェクト制御システムに応じて統合できます。
単体制御からグループ管理へ
ローカル制御→ 単体速度調整→ 複数台グループ制御→ RS485通信→ Modbus-RTU
制御方式はシングル制御またはグループ制御をサポートし、パーティション制御と485通信をサポートします。 Modbus-RTU通信には、FFUの開始と停止、速度設定、リアルタイム電流、リアルタイム速度などのデータ項目が含まれます。
パラメータ項目 |
仕様 |
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製品型式 |
F-DE315-450×450×160-F70H14 |
EFUボックスのサイズ |
450×450×160mm |
フィルターサイズ |
450×450×70+10mm |
フィルターレベル |
H14 |
ろ過効率 |
99.99% @ 0.3μm |
濾材 |
超極細ファイバーグラス |
フィルターフレーム |
陽極酸化アルミニウムプロファイル |
保護ネット |
溶射スチールメッシュ |
基準風速 |
0.45m/秒±20% |
ファンの種類 |
ECファン |
モーターの種類 |
インナーローターECモーター |
電源 |
220V/50Hz |
定格電力 |
150W |
インペラ |
金属製インペラ |
静電モジュール |
構成 |
静電モジュール電圧 |
4.6kV |
静電気の放散時間 |
<10秒 |
速度調整方式 |
無段階速度調整 |
制御方法 |
ローカル制御・通信制御 |
通信方式 |
RS485/Modbus-RTU |
オンライン粒子検出 |
オプション |
オンライン静電気検知 |
オプション |
キャビネットの材質 |
塗装鋼板/亜鉛メッキ板/ステンレス鋼 |
一部の静電パラメータは特定の試験条件に対応します。実際の製品のサイズ、フィルター、ファン、モーター、風量、風速、静電性能、制御方法、オプション機能は、特定のモデルやプロジェクトの要件に応じて調整される場合があります。静電気の消散時間、バランス電圧などの性能データは、指定された試験条件と併せて理解する必要があります。最終的な製品パラメータおよび適用条件は、Aili Industrial が確認した製品技術文書および実際の製品テスト結果に準拠します。
機器設置スペースに合わせたコンパクトな構造
さまざまな機器スペースと設置条件について、プロジェクト要件に応じて確認できます: EFU 全体サイズ → フィルター サイズ → ファン構成 → 静電モジュール → 設置および固定方法 → 制御方法
Aili Industrialは、機器側のスペースと技術要件に応じて製品構造を適合させることができます。
該当する業種
半導体装置の内部やデバイス側でクリーンエアの供給や静電気抑制が必要な用途に使用されます。
電子部品や関連生産環境における空気の清浄度や静電気環境が要求されるエリアに適しています。
粒子制御および静電気環境に対する特定の要件を持つ精密生産装置で使用されます。
一部のオプトエレクトロニクス、ディスプレイ、精密機器のクリーンエア処理に適しています。
クリーン装置の装置側給気ユニットとして使用でき、プロジェクトの要件に応じてろ過機能や静電制御機能を構成できます。
パナソニックおよびその他のブランドの装着機のサポートおよび改造に適しています。
粒子制御と静電気環境の両方が関係する用途では、特定のプロセス条件に基づいて選択できます。
クリーンさと静的環境の両方に配慮したEFU/FFU。半導体、エレクトロニクス、精密製造装置の場合、空気濾過だけで装置側の環境要件をすべて満たせるとは限りません。
帯電防止 EFU は、EC ファン → H14 高効率ろ過 → 静電気制御 → 無段階速度調整 → 通信制御を 1 つの装置ユニットに統合しており、プロジェクトの要件に応じて組み合わせて構成できます。
アプリケーション要件に従って静電気を制御するように静電気モジュールを構成します。
空気は H14 高性能フィルターでろ過されます。
ECファンと制御システムによる無段階速度調整。
単体制御、グループ制御、通信制御に対応。
Aili IndustrialはFFU、EFUおよび関連クリーン機器を中心とした製品の研究開発および製造システムを確立しています。
EFU サイズ、風量、静圧、制御要件に基づいてファンとモーターを構成します。
EFUの構造に合わせたHEPAなどの高効率ろ過ソリューションを提供します。
プロジェクトの要件に従って、静電制御モジュールと関連する検出機能を構成します。
無段階速度調整、単体制御、グループ制御、通信制御に対応。
製品の構造や設置要件に応じてボックスや固定構造物を製造します。
製品の組み立て、検査、技術パラメータの確認を完了します。
帯電防止 EFU はどのように選択すればよいですか?
01 設備の使い方 |
→ |
02 清潔度レベル |
→ |
03 目標風速 |
→ |
04 フィルターレベル |
05 静電気対策の要求事項 |
→ |
06 設置寸法 |
→ |
07 制御方法 |
→ |
08 検知機能 |
機器名 ・設置場所 ・クリーン度 ・EFUサイズ ・目標風速 ・フィルターレベル ・静電気対策要件 ・電源 ・制御方式 ・通信要件 ・オンライン検知の要否
この情報に基づいて、静電気防止 EFU 構成をより正確に一致させることができます。
帯電防止EFUは、ファンフィルタユニットに静電気抑制機能を付加した装置側クリーンエア供給ユニットです。 EC ファン、高効率フィルター、静電モジュールを 1 つのデバイスに統合し、クリーンな空気の供給と特定の静電気制御のニーズの両方を満たします。
主に半導体装置、装着機、電子製造、光電子機器、精密製造など、空気の清浄性と静電気環境の両方が要求される装置や生産環境で使用されます。
既存の製品仕様はH14高効率フィルターを搭載しており、フィルターサイズは450×450×70+10mm、フィルター材質は極細ガラス繊維、濾過効率は99.99%@0.3μmを記録しています。フル産業チェーン EFU メーカーとして、Aili Industry はお客様の要件に応じて完全にカスタマイズできます。
従来の製品仕様に記載されている静電気散逸時間は10秒未満、試験条件は±1000V～±100V、正面風速0.45m/s±20%、吹出口面からの距離30cmです。特定の製品性能は、実際の製品テスト条件と技術文書に従う必要があります。
既存の仕様に記録されているバランス電圧は、特定のテスト条件に対応して、≤|±100V| です。実際の使用における静電気パラメータは、設置距離、風速、環境条件、製品構成の影響を受けます。
できる。既存の制御システムは無段階速度調整をサポートしており、機器側の空気供給要件に応じて EC ファンの動作状態を調整できます。
できる。製品制御システムはシングル制御とグループ制御をサポートし、パーティション制御と485通信をサポートし、プロジェクトのシステム要件に応じて構成できます。
既存の制御システムはModbus-RTU標準プロトコルをサポートしており、FFUの開始/停止、速度設定、リアルタイム電流、リアルタイム速度などのデータの通信を実現できます。
オンライン静電気検出器はプロジェクトの要件に応じて選択できます。製品仕様にはオンライン粒子検出器もオプション品として記載されています。
機器の設置スペース、フィルターサイズ、ファン構成、プロジェクト要件に基づいて構造設計を実行できます。既存の製品仕様には、450×450×160 mm の EFU 構成が含まれます。具体的なサイズは実際のプロジェクトに基づいて確認できます。
従来の仕様構成はECインナーローターモーターを使用し、電源は220V/50Hz、定格電力は150W、羽根車は金属羽根車です。構成はモデルやプロジェクトによって異なる場合があります。
選択の際には、機器の設置スペース、清浄度レベル、目標風速、フィルターレベル、静電気制御要件、電源、制御方法、オンラインテストが必要かどうかなどの情報を提供することをお勧めします。エンジニアリングスタッフは、特定の作業条件に応じて構成します。
製品の価格は、サイズ、フィルター、ファン、モーター、静電モジュール、制御方法、オプションの検出機能などの要素に関連します。構成と見積もりの前に、特定のプロジェクト パラメータを指定することをお勧めします。
にも重点を置いた設備の場合はクリーンエア、静電気制御、風量調整、設備スペース、プロジェクトパラメータをAili Industrialに送信できます。
お客様の機器の状態に基づいて確認をお手伝いいたします。
EFUサイズ・H14フィルター・ECファン・静電モジュール・風速・制御方式・通信機能・オンライン検出
