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장비측에는 정전기 제어와 청정공기 공급이 일체화되어 있습니다.
EC 팬, H14 고효율 필터 및 정전기 제어 모듈이 소형 EFU에 통합되어 반도체 장비, 전자 제조 및 정밀 생산 환경에 깨끗한 공기 공급 솔루션을 제공합니다.
EC 모터·H14 필터·정적 제어·무단 속도 조절·단일 기계/그룹 제어
정전기 방지 EFU|FFU는 장비 끝단에 깨끗한 공기 공급을 위해 사용되는 팬 필터 장치로 정전기 제어 기능이 결합되어 있습니다.
EFU는 일반적으로 깨끗한 공기와 장비 공간이 필요한 위치에 설치됩니다. 팬은 고효율 필터를 통해 공기를 구동한 후 목표 영역으로 보냅니다.
이를 바탕으로 정전기 방지 EFU는 특정 응용 환경에 맞게 정전기를 제어하는 정전기 제어 모듈을 추가합니다.
반도체 장비, 전자 제조 및 정밀 생산 환경의 경우 공기 청정도 및 정전기 환경이 공정에 영향을 미칠 수 있습니다. 따라서 필터, 팬, 정전기 모듈 및 제어 시스템은 실제 장비 요구 사항에 따라 포괄적으로 구성되어야 합니다.
Aili 산업용 정전기 방지 EFU는 EC 팬 솔루션을 채택하고 H14 고효율 필터 및 정전기 모듈로 구성할 수 있어 깨끗한 공기 및 정전기 제어가 필요한 장비측 애플리케이션에 적합합니다.
옵션인 EC 내부 로터 모터 구성을 사용하여 EFU에 공기역학적 출력을 제공하고 무단계 속도 조절을 지원할 수 있습니다.
기존 사양 및 구성에서는 H14 고효율 필터(ULPA 필터는 옵션)를 사용합니다.
정전기 모듈이 장착되어 있어 특정 응용 환경에서 정전기 제어에 사용할 수 있습니다.
무단 속도 조절을 지원하며 구성에 따라 로컬 제어, 단일 기계 제어 및 통신 그룹 제어를 실현할 수 있습니다.
01공기 유입 주변 공기가 EFU로 유입됩니다. |
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02EC 팬 드라이브 EC 팬이 공기 흐름을 생성합니다. |
→ |
03고효율 여과 H14 고효율 필터를 통과하는 공기 |
→ |
04정적 제어 정적 모듈을 통한 응용 분야의 정적 제어 |
→ |
05깨끗한 공기공급 처리된 공기가 장비나 청정 구역으로 유입됩니다. |
정전기에 민감한 환경을 위한 EFU 구성
깨끗한 공기 여과를 기반으로 정전기 방지 EFU를 정전기 모듈과 결합하여 적용 영역의 정전기 환경을 제어할 수 있습니다.
정전기 모듈: 정전기 모듈 V로 구성됩니다.
소산 시간: 기존 사양에 기록된 정전기 소산 시간은 <10S입니다. 테스트 조건은 ±1000V ~ ±100V, 풍속 0.45m/s ±20%, 공기 출구 표면으로부터 30cm 거리입니다.
프로젝트 요구 사항에 따라 선택 사항:
온라인 입자 검출기 → 온라인 정전기 검출기。
기술 노트: 위의 정전기 매개변수는 특정 제품 사양 및 테스트 조건에 해당합니다. 실제 성능은 설치 거리, 풍속, 환경 조건 및 제품 구성에 따라 영향을 받습니다. 프로젝트 선택은 최종 제품 기술 문서 및 실제 테스트 조건을 기반으로 해야 합니다.
장비에 깨끗한 공기를 제공하기 위한 H14 고효율 여과(더 높은 정화 수준의 필터를 맞춤화 가능)
정전기 방지 EFU는 정전기 제어를 고려해야 할 뿐만 아니라 장비 측면의 공기 청정도 요구 사항도 충족해야 합니다.
기존 제품 사양에는 H14 고효율 필터가 탑재되어 있습니다. 필터 소재는 초미세 유리섬유로 만들어졌으며, 외부 프레임은 양극산화 처리된 알루미늄 프로파일로 만들어졌습니다.
고효율 필터 효율: 99.99% @ 0.3 μm
필터 구조:
초미세 유리 섬유 필터 재료 → 양극 처리된 알루미늄 프로파일 프레임 → 플라스틱 스프레이 강철 메쉬 보호 → 황백색 씰링 스트립
기준 풍속: 0.45m/s ±20%
특정 풍량과 속도는 필터 저항, 팬 성능 및 장비 작동 조건을 기반으로 확인해야 합니다.
정전기 방지 EFU는 EC 팬 구성을 채택하고 팬의 작동 상태는 컨트롤러를 통해 조정됩니다.
기존 제품 사양은 220V/50Hz 전원 공급 장치, 정격 전력 150W를 갖춘 EC 내부 로터 모터를 채택하고 임펠러는 금속 임펠러를 채택합니다.
무단계 속도 조절: 제어 시스템은 무단계 속도 조절을 지원하며 장비의 실제 공기 공급 요구 사항에 따라 팬 작동 상태를 조정할 수 있습니다.
독립형 제어: 각 EFU를 독립적으로 제어할 수 있습니다.
그룹 제어: 시스템 구성에 따라 여러 EFU를 그룹으로 관리할 수 있습니다.
통신 제어: 제어 시스템은 485 통신 및 Modbus-RTU 표준 프로토콜을 지원하며 프로젝트 제어 시스템에 따라 통합될 수 있습니다.
단일 기계 제어에서 그룹 관리까지
로컬 제어 → 단일 기계 속도 조절 → 다중 장치 그룹 제어 → RS485 통신 → Modbus-RTU
제어 시스템은 단일 제어 또는 그룹 제어를 지원하며 파티션 제어 및 485 통신을 지원합니다. Modbus-RTU 통신에는 FFU 시작 및 중지, 속도 설정, 실시간 전류 및 실시간 속도와 같은 데이터 항목이 포함됩니다.
매개변수 항목 |
명세서 |
|---|---|
제품 모델 |
F-DE315-450×450×160-F70H14 |
EFU 박스 크기 |
450×450×160mm |
필터 크기 |
450×450×70+10mm |
필터 수준 |
H14 |
여과 효율 |
99.99% @ 0.3μm |
필터 미디어 |
초극세 섬유유리 |
필터 프레임 |
양극 처리된 알루미늄 프로파일 |
보호망 |
스프레이 강철 메쉬 |
기준 풍속 |
0.45m/s ±20% |
팬 유형 |
EC 팬 |
모터 유형 |
내부 로터 EC 모터 |
전원 공급 장치 |
220V/50Hz |
정격 출력 |
150W |
임펠러 |
금속 임펠러 |
정전기 모듈 |
구성 |
정전기 모듈 전압 |
4.6kV |
정전기 소산 시간 |
10초 미만 |
속도 조절 방법 |
무단계 속도 조절 |
제어방식 |
로컬 제어/통신 제어 |
통신방식 |
RS485/모드버스-RTU |
온라인 입자 감지 |
선택 과목 |
온라인 정전기 감지 |
선택 과목 |
캐비닛 재질 |
도장강판/아연도금판/스테인리스 |
일부 정전기 매개변수는 특정 테스트 조건에 해당합니다. 실제 제품 크기, 필터, 팬, 모터, 풍량, 풍속, 정전기 성능, 제어 방법 및 옵션 기능은 특정 모델 및 프로젝트 요구 사항에 따라 조정될 수 있습니다. 정전기 소산 시간, 밸런스 전압 등의 성능 데이터는 지정된 테스트 조건과 연계하여 이해해야 합니다. 최종 제품 매개변수 및 적용 조건은 Aili Industrial에서 확인한 제품 기술 문서 및 실제 제품 테스트 결과에 따릅니다.
컴팩트한 구조로 장비 설치 공간에 적합
다양한 장비 공간 및 설치 조건의 경우 프로젝트 요구 사항에 따라 확인할 수 있습니다. EFU 전체 크기 → 필터 크기 → 팬 구성 → 정전기 모듈 → 설치 및 고정 방법 → 제어 방법
Aili Industrial은 장비 측면 공간 및 기술 요구 사항에 따라 제품 구조를 일치시킬 수 있습니다.
적용 산업
반도체 장비 내부 또는 장치측의 청정 공기 공급 및 정전기 제어가 필요한 용도에 사용됩니다.
전자 부품 및 관련 생산 환경에서 공기 청정도 및 정전기 환경이 요구되는 분야에 적합합니다.
입자 제어 및 정전기 환경에 대한 특정 요구 사항이 있는 정밀 생산 장비에 사용됩니다.
일부 광전자, 디스플레이, 정밀 장비의 청정 공기 처리에 적합합니다.
청정 장비의 장비측 공기 공급 장치로 사용할 수 있으며 프로젝트 요구 사항에 따라 여과 및 정전기 제어 기능을 구성할 수 있습니다.
Panasonic 및 기타 브랜드의 배치 기계를 지원하고 수정하는 데 적합합니다.
입자 제어와 정전기 환경이 모두 관련된 응용 분야의 경우 특정 공정 조건을 기반으로 선택할 수 있습니다.
청결함과 정적인 환경을 모두 고려한 EFU/FFU입니다. 반도체, 전자 제품 및 정밀 제조 장비의 경우 공기 여과만으로는 장비 측의 모든 환경 요구 사항을 반드시 충족할 수는 없습니다.
정전기 방지 EFU는 EC 팬 → H14 고효율 여과 → 정적 제어 → 무단계 속도 조절 → 통신 제어를 하나의 장비 단위로 통합하며 프로젝트 요구 사항에 따라 결합 및 구성할 수 있습니다.
애플리케이션 요구 사항에 따라 정전기를 제어하도록 정전기 모듈을 구성합니다.
공기는 H14 고효율 필터를 통해 필터링됩니다.
EC 팬 및 제어 시스템을 통한 무단계 속도 조절.
단일 기계 제어, 그룹 제어 및 통신 제어를 지원합니다.
Aili Industrial은 FFU, EFU 및 관련 청정 장비를 중심으로 제품 R&D 및 제조 시스템을 구축했습니다.
EFU 크기, 공기량, 정압 및 제어 요구 사항에 따라 팬과 모터를 구성합니다.
EFU 구조에 맞는 HEPA 등 고효율 여과 솔루션을 제공합니다.
프로젝트 요구 사항에 따라 정전기 제어 모듈 및 관련 감지 기능을 구성하십시오.
무단계 속도 조정, 단일 기계 제어, 그룹 제어 및 통신 제어를 지원합니다.
제품 구조 및 설치 요구사항에 따라 박스 및 고정 구조물을 제작합니다.
제품 조립, 검사 및 기술 매개변수 확인을 완료합니다.
정전기 방지 EFU를 선택하는 방법은 무엇입니까?
01 장비사용 |
→ |
02 청결도 |
→ |
03 목표풍속 |
→ |
04 필터 수준 |
05 정전기 관리 요구사항 |
→ |
06 설치 치수 |
→ |
07 제어방식 |
→ |
08 감지 기능 |
장비명 · 설치 위치 · 청정도 · EFU 크기 · 목표 풍속 · 필터 수준 · 정전기 제어 요구 사항 · 전원 공급 장치 · 제어 방법 · 통신 요구 사항 · 온라인 감지 필요 여부
이 정보를 바탕으로 정전기 방지 EFU 구성을 보다 정확하게 일치시킬 수 있습니다.
정전기 방지 EFU는 팬 필터 유닛에 정전기 제어 기능을 추가한 장비측 청정 공기 공급 장치입니다. EC 팬, 고효율 필터 및 정전기 모듈을 하나의 장치에 통합하여 깨끗한 공기 공급과 특정 정전기 제어 요구 사항을 모두 충족합니다.
반도체 장비, 배치 기계, 전자 제조, 광전자 장비 및 정밀 제조 등 공기 청정도와 정전기 환경이 모두 요구되는 장비 및 생산 환경에 주로 사용됩니다.
기존 제품 사양은 H14 고효율 필터를 탑재했으며, 필터 사이즈는 450×450×70+10mm, 필터 재질은 초극세 유리섬유, 여과효율은 99.99%@0.3μm를 기록하고 있다. 전체 산업 체인 EFU 제조업체인 Aili Industry는 귀하의 요구 사항에 따라 완전히 맞춤화할 수 있습니다.
기존 제품 사양에 기록된 정전기 소산 시간은 <10S이고, 테스트 조건은 ±1000V ~ ±100V, 면풍 속도 0.45m/s ±20%, 공기 출구 표면으로부터 30cm 거리입니다. 특정 제품 성능은 실제 제품 테스트 조건 및 기술 문서에 따라 달라질 수 있습니다.
기존 사양에 기록된 밸런스 전압은 특정 테스트 조건에 해당하는 ≤|±100V|입니다. 실제 사용 시 정전기 매개변수는 설치 거리, 풍속, 환경 조건 및 제품 구성에 따라 영향을 받습니다.
할 수 있다. 기존 제어 시스템은 무단계 속도 조절을 지원하고 장비 끝의 공기 공급 요구 사항에 따라 EC 팬 작동 상태를 조정할 수 있습니다.
할 수 있다. 제품 제어 시스템은 단일 제어 및 그룹 제어를 지원하고 파티션 제어 및 485 통신을 지원하며 프로젝트 시스템 요구 사항에 따라 구성할 수 있습니다.
기존 제어 시스템은 FFU 시작/정지, 속도 설정, 실시간 전류, 실시간 속도 및 기타 데이터의 통신을 실현할 수 있는 Modbus-RTU 표준 프로토콜을 지원합니다.
프로젝트 요구 사항에 따라 온라인 정전기 감지기를 선택할 수 있습니다. 제품 사양에는 온라인 입자 탐지기도 옵션 항목으로 나열되어 있습니다.
장비 설치 공간, 필터 크기, 팬 구성 및 프로젝트 요구 사항을 기반으로 구조 설계를 수행할 수 있습니다. 기존 제품 사양에는 450×450×160mm의 EFU 구성이 포함된다. 구체적인 규모는 실제 프로젝트를 기반으로 확인할 수 있습니다.
기존 사양 구성은 EC 내부 로터 모터를 사용하고 전원은 220V/50Hz, 정격 출력은 150W, 임펠러는 금속 임펠러를 사용한다. 구성은 모델 및 프로젝트에 따라 다를 수 있습니다.
선택 시 장비 설치 공간, 청정도, 목표 풍속, 필터 수준, 정전기 제어 요구 사항, 전원 공급 장치, 제어 방법 및 온라인 테스트 필요 여부 등의 정보를 제공하는 것이 좋으며 엔지니어링 직원이 특정 작업 조건에 따라 구성합니다.
제품 가격은 크기, 필터, 팬, 모터, 정전기 모듈, 제어 방법 및 선택적 감지 기능과 같은 요소와 관련이 있습니다. 구성 및 견적 전에 특정 프로젝트 매개변수를 제공하는 것이 좋습니다.
귀하의 장비가 에도 중점을 두고 있다면 깨끗한 공기, 정전기 제어, 풍량 조정 및 장비 공간 프로젝트 매개변수를 Aili Industrial에 보낼 수 있습니다.
귀하의 장비 상태에 따라 확인을 도와드릴 수 있습니다.
EFU 크기 · H14 필터 · EC 팬 · 정전기 모듈 · 풍속 · 제어 방식 · 통신 기능 · 온라인 감지
