| Количество: | |
|---|---|
Контроль статического электричества и подача чистого воздуха встроены в оборудование.
EC-вентилятор, высокоэффективный фильтр H14 и модуль электростатического управления интегрированы в компактный EFU и обеспечивают подачу чистого воздуха для полупроводникового оборудования, электронного производства и прецизионного производства.
EC-двигатель · Фильтр H14 · Статическое управление · Бесступенчатое регулирование скорости · Управление одной машиной/группой
Антистатический EFU|FFU — это вентиляторный фильтрующий блок, используемый для подачи чистого воздуха со стороны оборудования и совмещенный с функцией статического контроля.
EFU обычно устанавливается в местах, где требуется чистый воздух и место для оборудования. Вентилятор пропускает воздух через высокоэффективный фильтр, а затем направляет его в нужную область.
Поэтому в антистатический EFU добавлен модуль электростатического управления для контроля статического электричества в конкретных условиях применения.
Для полупроводникового оборудования, электронного производства и прецизионного производства чистота воздуха и электростатическая среда могут повлиять на процесс. Поэтому фильтры, вентиляторы, электростатические модули и системы управления должны быть комплексно настроены в соответствии с реальными требованиями к оборудованию.
Промышленный антистатический EFU Aili использует решение EC-вентилятора и может быть оснащен высокоэффективным фильтром H14 и электростатическим модулем, который подходит для применений на стороне оборудования, требующих чистого воздуха и контроля статического электричества.
Доступна дополнительная конфигурация двигателя с внутренним ротором EC, обеспечивающая аэродинамическую мощность EFU и поддерживающую бесступенчатое регулирование скорости.
В существующих спецификациях и конфигурациях используется высокоэффективный фильтр H14 (опциональный фильтр ULPA).
Оснащенный электростатическим модулем, он может использоваться для электростатического контроля в конкретных условиях применения.
Он поддерживает бесступенчатую регулировку скорости и может осуществлять локальное управление, управление одной машиной и управление группой связи в соответствии с конфигурацией.
01вход воздуха Окружающий воздух поступает в ЭФУ |
→ |
02EC-привод вентилятора ЕС-вентилятор генерирует воздушный поток |
→ |
03Высокоэффективная фильтрация Воздух проходит через высокоэффективный фильтр H14. |
→ |
04Статический контроль Статический контроль областей применения с помощью статических модулей |
→ |
05Подача чистого воздуха Очищенный воздух поступает в оборудование или в чистые зоны. |
Конфигурация EFU для сред, чувствительных к статике
Благодаря фильтрации чистого воздуха антистатический EFU можно комбинировать с электростатическим модулем для контроля электростатической среды в зоне применения.
Электростатический модуль: оснащен электростатическим модулем V.
Время рассеяния: Время рассеяния статического электричества, зафиксированное в существующих спецификациях, составляет: <10 с. Условия испытаний : от ±1000 В до ±100 В, скорость встречного ветра 0,45 м/с ±20 % и расстояние 30 см от поверхности выхода воздуха.
В соответствии с требованиями проекта, по желанию:
Онлайн-детектор частиц → Онлайн-электростатический детектор。
Техническое примечание: Вышеуказанные электростатические параметры соответствуют конкретным характеристикам продукта и условиям испытаний. На фактическую производительность будут влиять расстояние установки, скорость ветра, условия окружающей среды и конфигурация продукта. Выбор проекта должен основываться на технической документации конечного продукта и реальных условиях испытаний.
Высокоэффективная фильтрация H14 (фильтры с более высоким уровнем очистки могут быть изготовлены по индивидуальному заказу) для обеспечения чистого воздуха для оборудования.
Антистатический EFU не только должен учитывать контроль статического электричества, но также должен соответствовать требованиям к чистоте воздуха со стороны оборудования.
Существующие спецификации продукта оснащены высокоэффективным фильтром H14. Фильтрующий материал изготовлен из ультратонкого стекловолокна, а внешняя рама — из анодированных алюминиевых профилей.
Высокая эффективность фильтра: 99,99% при 0,3 мкм.
Структура фильтра:
Ультратонкий фильтрующий материал из стекловолокна → рама из анодированного алюминия → защитная стальная сетка с пластиковым напылением → кремово-белая уплотнительная лента
Базовая скорость ветра: 0,45 м/с ±20 %.
Конкретный объем воздуха и скорость должны быть подтверждены на основе сопротивления фильтра, производительности вентилятора и условий работы оборудования.
Антистатический EFU использует конфигурацию вентилятора EC, а рабочее состояние вентилятора регулируется с помощью контроллера.
В существующих спецификациях продукта используется двигатель EC с внутренним ротором, оснащенный источником питания 220 В/50 Гц, номинальной мощностью 150 Вт, а рабочее колесо оснащено металлическим рабочим колесом.
Бесступенчатое регулирование скорости: система управления поддерживает плавное регулирование скорости и может регулировать рабочее состояние вентилятора в соответствии с фактическими потребностями оборудования в подаче воздуха.
Автономное управление: каждым EFU можно управлять независимо.
Групповое управление: в соответствии с конфигурацией системы можно управлять несколькими EFU в группе.
Управление связью: система управления поддерживает связь 485 и стандартный протокол Modbus-RTU и может быть интегрирована в соответствии с системой управления проектом.
От управления одной машиной до группового управления
Местное управление → Регулирование скорости одной машины → Управление группой нескольких агрегатов → Связь RS485 → Modbus-RTU
Система управления поддерживает одиночное или групповое управление, а также управление разделами и связь 485. Связь Modbus-RTU включает в себя такие элементы данных, как запуск и остановка FFU, настройка скорости, ток в реальном времени и скорость в реальном времени.
Элементы параметров |
Технические характеристики |
|---|---|
Модель продукта |
Ф-ДЕ315-450×450×160-F70H14 |
Размер коробки ЭФУ |
450×450×160 мм |
размер фильтра |
450×450×70+10мм |
Уровень фильтра |
Н14 |
Эффективность фильтрации |
99,99% при 0,3 мкм |
Фильтрующий материал |
ультратонкое стекловолокно |
рамка фильтра |
Анодированные алюминиевые профили |
защитная сетка |
Сетка из напыленной стали |
Эталонная скорость ветра |
0,45 м/с ±20% |
Тип вентилятора |
ЕС-вентилятор |
Тип двигателя |
ЕС-двигатель с внутренним ротором |
источник питания |
220 В/50 Гц |
Номинальная мощность |
150 Вт |
рабочее колесо |
металлическое рабочее колесо |
Электростатический модуль |
Конфигурация |
Напряжение электростатического модуля |
4,6 кВ |
Время рассеяния статического электричества |
<10 с |
Метод регулирования скорости |
Бесступенчатое регулирование скорости |
Метод управления |
Местное управление/управление связью |
Метод связи |
RS485/Modbus-RTU |
Онлайн-обнаружение частиц |
Необязательный |
Онлайн-обнаружение статического электричества |
Необязательный |
Материал корпуса |
Окрашенная стальная пластина/оцинкованная пластина/нержавеющая сталь |
Некоторые электростатические параметры соответствуют конкретным условиям испытаний. Фактический размер продукта, фильтр, вентилятор, двигатель, объем воздуха, скорость ветра, электростатические характеристики, метод управления и дополнительные функции могут быть скорректированы в соответствии с конкретными моделями и требованиями проекта. Данные о рабочих характеристиках, такие как время рассеяния статического электричества, балансовое напряжение и т. д., следует понимать в сочетании с указанными условиями испытаний. Конечные параметры продукта и применимые условия зависят от технической документации продукта, подтвержденной Aili Industrial, и фактических результатов испытаний продукта.
Компактная конструкция, адаптируемая к месту установки оборудования
Для различных помещений для оборудования и условий установки вы можете подтвердить в соответствии с требованиями проекта: общий размер ЭФУ → размер фильтра → конфигурация вентилятора → электростатический модуль → метод установки и крепления → метод управления.
Aili Industrial может подобрать структуру продукта в соответствии с пространством оборудования и техническими требованиями.
Применимые отрасли
Используется в приложениях, требующих подачи чистого воздуха и контроля статического электричества внутри или на стороне полупроводникового оборудования.
Он подходит для зон с требованиями к чистоте воздуха и электростатической среде в электронных компонентах и связанных с ними производственных средах.
Используется в прецизионном производственном оборудовании с особыми требованиями к контролю частиц и электростатическим средам.
Подходит для обработки чистым воздухом некоторого оптоэлектронного, дисплейного и прецизионного оборудования.
Его можно использовать в качестве устройства подачи воздуха на стороне оборудования в чистом оборудовании, а также можно сконфигурировать с функциями фильтрации и электростатического контроля в соответствии с требованиями проекта.
Он подходит для поддержки и модификации установочных машин Panasonic и других марок.
Для применений, когда речь идет как о контроле частиц, так и об электростатических средах, выбор может основываться на конкретных условиях процесса.
EFU/FFU, уделяя внимание как чистоте, так и статичности окружающей среды. Для полупроводникового, электронного и прецизионного производственного оборудования фильтрация воздуха сама по себе не обязательно может удовлетворить все экологические требования, предъявляемые к оборудованию.
Антистатический EFU объединяет: EC-вентилятор → высокоэффективную фильтрацию H14 → статический контроль → плавное регулирование скорости → коммуникационное управление в одном блоке оборудования, который можно комбинировать и конфигурировать в соответствии с требованиями проекта.
Настройте модуль статического электричества для управления статическим электричеством в соответствии с требованиями приложения.
Воздух фильтруется высокоэффективным фильтром H14.
Бесступенчатое регулирование скорости с помощью ЕС-вентилятора и системы управления.
Поддерживает управление одной машиной, групповое управление и управление связью.
Aili Industrial создала систему исследований, разработок и производства продукции на базе FFU, EFU и соответствующего чистого оборудования.
Настройте вентиляторы и двигатели в зависимости от размера EFU, объема воздуха, статического давления и требований к управлению.
Предоставьте высокоэффективные решения для фильтрации, такие как HEPA, которые соответствуют структуре EFU.
Настройте модуль электростатического управления и соответствующие функции обнаружения в соответствии с требованиями проекта.
Поддерживает бесступенчатую регулировку скорости, управление одной машиной, групповое управление и управление связью.
Производство коробок и фиксированных конструкций в соответствии с конструкцией продукта и требованиями к установке.
Полная сборка изделия, проверка и подтверждение технических параметров.
Как выбрать антистатический ЭФУ?
01 Использование оборудования |
→ |
02 уровень чистоты |
→ |
03 Целевая скорость ветра |
→ |
04 уровень фильтра |
05 Требования по контролю статического электричества |
→ |
06 Установочные размеры |
→ |
07 Метод управления |
→ |
08 Функция обнаружения |
Название оборудования · Место установки · Уровень чистоты · Размер EFU · Целевая скорость ветра · Уровень фильтра · Требования к контролю статического электричества · Электропитание · Метод управления · Требования к связи · Требуется ли онлайн-обнаружение
На основании этой информации можно более точно подобрать антистатическую конфигурацию ЭФУ.
Антистатический EFU — это блок подачи чистого воздуха со стороны оборудования, который добавляет функцию электростатического контроля к блоку фильтра вентилятора. Он объединяет ЕС-вентилятор, высокоэффективный фильтр и электростатический модуль в одном устройстве, что обеспечивает как подачу чистого воздуха, так и особые потребности в электростатическом контроле.
Он в основном используется в оборудовании и производственных средах, где требуется как чистота воздуха, так и электростатическая среда, например, полупроводниковое оборудование, машины для размещения, электронное производство, оптоэлектронное оборудование и прецизионное производство.
Существующие спецификации продукта оснащены высокоэффективным фильтром H14, размер фильтра составляет 450 × 450 × 70 + 10 мм, материал фильтра — ультратонкое стекловолокно, а эффективность фильтрации составляет 99,99% при 0,3 мкм. Являясь производителем ЭФУ с полной отраслевой цепочкой, компания Aili Industry может полностью адаптировать оборудование в соответствии с вашими требованиями.
Время рассеяния статического электричества, зафиксированное в существующих спецификациях продукта, составляет <10 с, условия испытаний составляют от ± 1000 В до ± 100 В, скорость встречного ветра 0,45 м/с ± 20 % и расстояние 30 см от поверхности выхода воздуха. Конкретные характеристики продукта должны соответствовать реальным условиям испытаний продукта и технической документации.
Напряжение баланса, зафиксированное в существующих спецификациях, составляет ≤|±100В|, что соответствует конкретным условиям испытаний. Электростатические параметры при фактическом использовании будут зависеть от расстояния установки, скорости ветра, условий окружающей среды и конфигурации продукта.
Может. Существующая система управления поддерживает бесступенчатое регулирование скорости и может регулировать рабочее состояние ЕС-вентилятора в соответствии с требованиями к подаче воздуха на стороне оборудования.
Может. Система управления продуктом поддерживает одиночное управление и групповое управление, а также управление разделами и связь 485 и может быть настроена в соответствии с требованиями системы проекта.
Существующая система управления поддерживает стандартный протокол Modbus-RTU, который может осуществлять передачу данных о запуске/остановке FFU, настройке скорости, токе в реальном времени, скорости в реальном времени и других данных.
Онлайн-электростатический детектор можно выбрать в соответствии с требованиями проекта. В спецификации продукта также указан онлайн-детектор частиц в качестве дополнительной опции.
Структурное проектирование может быть выполнено с учетом места для установки оборудования, размера фильтра, конфигурации вентилятора и требований проекта. Существующие характеристики продукта включают конфигурацию ЭФУ 450×450×160 мм. Конкретный размер может быть подтвержден на основе фактического проекта.
В существующей конфигурации спецификации используется двигатель EC с внутренним ротором, источник питания 220 В/50 Гц, номинальная мощность 150 Вт, а крыльчатка представляет собой металлическую крыльчатку. Конфигурации могут различаться в зависимости от модели и проекта.
При выборе рекомендуется предоставить такую информацию, как место для установки оборудования, уровень чистоты, целевая скорость ветра, уровень фильтра, требования к электростатическому контролю, источник питания, метод управления и необходимость онлайн-тестирования, а инженерный персонал настроит его в соответствии с конкретными условиями работы.
Цена продукта зависит от таких факторов, как размер, фильтр, вентилятор, двигатель, электростатический модуль, метод управления и дополнительные функции обнаружения. Рекомендуется указать конкретные параметры проекта перед настройкой и составлением предложения.
Если ваше оборудование также ориентировано на чистый воздух, контроль статического электричества, регулировку объема воздуха и пространство для оборудования , вы можете отправить параметры проекта в Aili Industrial.
Мы можем помочь подтвердить, исходя из состояния вашего оборудования:
Размер EFU · Фильтр H14 · EC-вентилятор · Электростатический модуль · Скорость ветра · Метод управления · Функция связи · Онлайн-обнаружение
