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静电控制与洁净空气送风，一体化应用于设备端
将EC风机、H14高效过滤器与静电控制模块集成于紧凑型EFU中，为半导体设备、电子制造及精密生产环境提供洁净空气送风方案。
EC电机 · H14过滤 · 静电控制 · 无级调速 · 单机/群组控制
防静电EFU|FFU是一种用于设备端洁净空气供应，并结合静电控制功能的风机过滤单元。
EFU通常安装在对洁净空气和设备空间有要求的位置，通过风机驱动空气经过高效过滤器后送入目标区域。
在此基础上，防静电EFU增加静电控制模块，用于针对具体应用环境进行静电控制。
对于半导体设备、电子制造及精密生产环境而言，空气洁净度和静电环境都可能影响工艺过程，因此需要根据实际设备要求对过滤器、风机、静电模块和控制系统进行综合配置。
艾立工业防静电EFU采用EC风机方案，并可配置H14高效过滤器及静电模块，适用于需要洁净空气与静电控制的设备端应用。
可选采用EC内转子电机配置，为EFU提供空气动力，并支持无级调速。
现有规格配置采用H14高效过滤器（可选ULPA过滤器）。
配置静电模块，可用于特定应用环境下的静电控制。
支持无级调速，并可根据配置实现本地控制、单机控制及通讯群控。
01空气进入 环境空气进入EFU | → | 02EC风机驱动 EC风机产生气流 | → | 03高效过滤 空气经过H14高效过滤器 | → | 04静电控制 通过静电模块对应用区域进行静电控制 | → | 05洁净送风 经过处理后的空气进入设备或洁净区域 |
面向静电敏感环境的EFU配置
防静电EFU在洁净空气过滤的基础上，可结合静电模块对应用区域的静电环境进行控制。
静电模块：配置带有静电模块V。
消散时间：现有规格记录的静电消散时间为：＜10S，测试条件为±1000V至±100V、面风速0.45 m/s ±20%、距离出风面30 cm。
根据项目要求，可选配：
在线粒子检测仪→在线静电检测仪。
技术说明：上述静电参数对应具体产品规格和测试条件，实际性能会受到安装距离、风速、环境条件及产品配置影响。项目选型时应以最终产品技术文件和实际测试条件为准。
H14高效过滤（可定制更高净化等级的过滤器），为设备提供洁净空气
防静电EFU不仅需要考虑静电控制，还需要满足设备端对空气洁净度的要求。
现有产品规格配置H14高效过滤器，过滤器尺寸为滤材采用超细玻璃纤维，外框采用阳极氧化铝型材。
高效过滤器效率：99.99% @ 0.3 μm
过滤器结构：
超细玻璃纤维滤材→阳极氧化铝型材外框→喷塑钢网保护→灰白色密封条
参考风速：0.45 m/s ±20%
具体风量及风速需要结合过滤器阻力、风机性能和设备端工况确认。
防静电EFU采用EC风机配置，通过控制器对风机运行状态进行调节。
现有产品规格采用EC内转子电机，配置220V / 50Hz电源，额定功率150W，叶轮采用金属叶轮。
无级调速：控制系统支持无级调速，可根据设备端实际送风要求调整风机运行状态。
单机控制：每台EFU可以进行独立控制。
群组控制：根据系统配置，多台EFU可以进行群组管理。
通讯控制：控制系统支持485通信，并支持Modbus-RTU标准协议，可根据项目控制系统进行集成。
从单机控制到群组管理
本地控制→ 单机调速→ 多台群控→ RS485通信→ Modbus-RTU
控制系统支持单控或群控，并支持分区控制和485通信。Modbus-RTU通信中包含FFU启停、转速设定、实时电流和实时转速等数据项。
参数项目 | 规格参数 |
|---|---|
产品型号 | F-DE315-450×450×160-F70H14 |
EFU箱体尺寸 | 450×450×160 mm |
过滤器尺寸 | 450×450×70+10 mm |
过滤器等级 | H14 |
过滤效率 | 99.99% @ 0.3 μm |
过滤器滤材 | 超细玻璃纤维 |
过滤器外框 | 阳极氧化铝型材 |
保护网 | 喷塑钢网 |
参考风速 | 0.45 m/s ±20% |
风机类型 | EC风机 |
电机类型 | 内转子EC电机 |
电源 | 220V / 50Hz |
额定功率 | 150W |
叶轮 | 金属叶轮 |
静电模块 | 配置 |
静电模块电压 | 4.6 kV |
静电消散时间 | ＜10S |
调速方式 | 无级调速 |
控制方式 | 本地控制 / 通讯控制 |
通讯方式 | RS485 / Modbus-RTU |
在线粒子检测 | 选配 |
在线静电检测 | 选配 |
箱体材质 | 钢板烤漆/镀铝锌板/不锈钢 |
部分静电参数对应特定测试条件。实际产品的尺寸、过滤器、风机、电机、风量、风速、静电性能、控制方式及选配功能可能根据具体型号和项目要求进行调整。静电消散时间、平衡电压等性能数据应结合规定的测试条件进行理解，最终产品参数及适用条件以艾立工业确认的产品技术文件和实际产品测试结果为准。
紧凑结构，适应设备端安装空间
针对不同设备空间和安装条件，可根据项目要求确认：EFU外形尺寸→过滤器尺寸→风机配置→静电模块→安装固定方式→控制方式
艾立工业可根据设备端空间和技术要求进行产品结构匹配。
适用行业
用于半导体设备内部或设备端需要洁净空气供应及静电控制的应用。
适用于电子元器件及相关生产环境中对空气洁净度和静电环境有要求的区域。
用于对微粒控制和静电环境有特定要求的精密生产设备。
适用于部分光电、显示及精密设备的洁净空气处理。
可作为洁净设备中的设备端送风单元，根据项目要求配置过滤和静电控制功能。
适用于松下等品牌贴片机配套及贴片机改造使用。
对于同时关注颗粒物控制和静电环境的应用，可根据具体工艺条件进行选型。
一个EFU/FFU，同时关注洁净度与静电环境。对于半导体、电子及精密制造设备，单独考虑空气过滤并不一定能够覆盖全部设备端环境要求。
防静电EFU将：EC风机→H14高效过滤→静电控制→无级调速→通讯控制，集成在一个设备单元中，可以根据项目需求进行组合配置。
配置静电模块，根据应用要求进行静电控制。
通过H14高效过滤器对空气进行过滤。
通过EC风机和控制系统进行无级调速。
支持单机控制、群组控制及通讯控制。
艾立工业围绕FFU、EFU及相关洁净设备建立了产品研发与制造体系。
根据EFU尺寸、风量、静压和控制需求进行风机与电机配置。
提供与EFU结构匹配的HEPA等高效过滤方案。
根据项目要求配置静电控制模块及相关检测功能。
支持无级调速、单机控制、群组控制及通讯控制。
根据产品结构和安装要求进行箱体及固定结构制造。
完成产品装配、检查及技术参数确认。
防静电EFU如何选型？
01 使用设备 | → | 02 洁净等级 | → | 03 目标风速 | → | 04 过滤器等级 |
05 静电控制要求 | → | 06 安装尺寸 | → | 07 控制方式 | → | 08 检测功能 |
设备名称 · 安装位置 · 洁净等级 · EFU尺寸 · 目标风速 · 过滤器等级 · 静电控制要求 · 电源 · 控制方式 · 通讯要求 · 是否需要在线检测
根据这些信息，可以更准确地匹配防静电EFU配置。
防静电EFU是在风机过滤单元基础上增加静电控制功能的设备端洁净送风单元。它将EC风机、高效过滤器和静电模块集成在一个设备中，用于同时满足洁净空气供应和特定静电控制需求。
主要用于对空气洁净度和静电环境同时有要求的设备及生产环境，例如半导体设备、贴片机、电子制造、光电设备和精密制造等。
现有产品规格配置H14高效过滤器，过滤器尺寸为450×450×70+10 mm，滤材采用超细玻璃纤维，过滤效率记录为99.99%@0.3 μm。艾立工业作为全产业链EFU生产厂家，可根据您的要求全方位定制。
现有产品规格记录的静电消散时间为＜10S，测试条件为±1000V至±100V、面风速0.45 m/s ±20%、距离出风面30 cm。具体产品性能需要以实际产品测试条件和技术文件为准。
现有规格记录的平衡电压为≤|±100V|，对应特定测试条件。实际使用中的静电参数会受到安装距离、风速、环境条件和产品配置影响。
可以。现有控制系统支持无级调速，可以根据设备端送风要求对EC风机运行状态进行调整。
可以。产品控制系统支持单控和群控，并支持分区控制及485通信，可根据项目系统要求进行配置。
现有控制系统支持Modbus-RTU标准协议，可实现FFU启动/停止、转速设定以及实时电流、实时转速等数据的通信。
可以根据项目要求选配在线静电检测仪。产品规格书同时将在线粒子检测仪列为选配项目。
可以根据设备安装空间、过滤器尺寸、风机配置和项目要求进行结构设计。现有产品规格中有450×450×160 mm的EFU配置，具体尺寸可根据实际项目确认。
现有规格配置采用EC内转子电机，电源为220V/50Hz，额定功率150W，叶轮为金属叶轮。不同型号和项目配置可能有所不同。
选型时建议提供设备安装空间、洁净等级、目标风速、过滤器等级、静电控制要求、电源、控制方式及是否需要在线检测等信息，由工程人员根据具体工况进行配置。
产品价格与尺寸、过滤器、风机、电机、静电模块、控制方式及选配检测功能等因素有关。建议提供具体项目参数后进行配置和报价。
如果您的设备同时关注洁净空气、静电控制、风量调节和设备空间，可以将项目参数发送给艾立工业。
我们可以根据您的设备条件协助确认：
EFU尺寸 · H14过滤器 · EC风机 · 静电模块 · 风速 · 控制方式 · 通讯功能 · 在线检测
