半导体设备、精密电子设备及其他高端制造设备内部，需要在有限的结构空间中完成机械、电气、工艺及洁净空气系统的集成。
传统空气过滤设备的尺寸和安装结构可能受到设备内部空间限制。
艾立工业70mm超薄EFU针对这一应用场景进行超薄化设计，通过超薄风机结构减少设备端空气过滤模块的空间占用，并根据设备安装条件对产品尺寸、风量、过滤器及控制方式进行匹配。
适用于半导体设备、EFEM、精密电子设备、光电设备及其他需要设备端洁净空气的应用。
EFU即设备端风机过滤单元，是一种面向生产设备内部或设备端局部洁净环境的空气过滤设备。
与主要安装在洁净室吊顶上的FFU不同，EFU更加关注：
设备内部安装空间
局部洁净区域
设备结构集成
设备端送风
风量与风速匹配
过滤器阻力
控制系统接口
与设备整体结构的配合
因此，EFU并不是简单地将普通FFU缩小，而是需要结合设备结构、安装空间和空气处理要求进行设计。
艾立工业70mm超薄EFU采用70mm超薄箱体结构。
70mm风机结构与HEPA/ULPA过滤模块组合后，可以形成约100mm的典型整体工作厚度。
这种结构尤其适用于：设备内部狭小空间 → 设备顶部 → 设备侧壁 → 局部洁净区域
采用针对超薄结构进行匹配的风机方案。
支持：AC风机/EC风机
对于需要变速控制、通信控制或设备系统集成的项目，可以根据要求配置EC风机方案。
根据项目洁净要求，可配置：
HEPA/ULPA
过滤等级可根据具体产品方案选择。
箱体不仅承担风机及过滤器的安装，还需要与设备结构进行匹配。
可以根据项目需求设计：
外形尺寸|安装孔位|进风方式
出风方式|固定结构|接线方式
特殊接口
支持：
独立调节 → RS485 → Modbus等项目化控制方案
可低至70mm风机结构
针对设备内部空间有限的应用进行设计。
不是简单缩小普通FFU，而是围绕：
设备空间 → 风机 → 过滤器 → 气流 → 控制 → 安装进行整体匹配。
根据不同项目要求选择AC或EC风机。
对于需要变速控制、通信控制及系统集成的设备，可进一步配置EC控制方案。
根据洁净等级和工艺要求选择合适的过滤器方案。
可根据客户设备的：
图纸 → 安装空间 → 接口要求 → 控制要求
进行产品定制。
艾立工业具备：
风机 → 电机 → 控制系统 → 过滤器 → 钣金 → EFU整机
的制造与研发能力。核心部件与整机之间可以进行统一匹配。
设备内部空间越来越受到限制
半导体及精密制造设备内部通常需要集成大量功能模块。
例如：机械运动机构、工艺模块、电气组件、传感器、管路系统、真空系统、控制系统、洁净空气系统等，这些系统共同占用设备内部空间。
因此，设备端空气过滤模块除了需要满足空气过滤及送风要求，还需要考虑：
设备内部可用空间有限。
EFU需要与设备整体结构匹配。
需要根据设备内部洁净区域确定。
需要考虑过滤器及设备内部气流阻力。
需要与设备控制系统进行通信或联动。
这也是超薄EFU与普通FFU应用逻辑不同的地方。
参数项目 | 技术参数 |
|---|---|
产品名称 | 超薄EFU |
产品类型 | Equipment Fan Filter Unit |
风机结构 | 超薄风机结构 |
产品尺寸 | 可根据项目定制 |
参考产品尺寸 | 500×400×70mm |
风机 | AC / EC |
控制方式 | 独立调节 / 群控 |
过滤器 | HEPA / ULPA |
过滤等级 | H13 / H14 / U15/U16/U17等，根据配置确定 |
过滤器滤料 | 玻璃纤维，PTFE等，根据配置确定 |
箱体材质 | SUS304 / SUS316 / 铝合金 / 喷涂钢板等 |
安装方式 | 水平 / 垂直 / 特殊安装 |
安装结构 | 支持定制 |
尺寸 | 支持定制 |
风量 | 支持定制 |
风速 | 支持定制 |
风机 | 支持定制 |
过滤器 | 支持定制 |
控制系统 | 支持定制 |
OEM / ODM | 支持 |
半导体设备厂商通常会根据设备内部结构确定EFU安装位置。
不同项目可能存在：尺寸不同、进风方向不同、出风方向不同、安装孔位不同、风量要求不同、静压要求不同、控制接口不同
因此，艾立工业不仅提供标准化产品，也支持根据客户设备条件进行定制。
作为全产业链的EFU生产商，艾立工业提供全方位的定制服务
根据设备内部空间进行：长度 → 宽度 → 安装孔位 → 外形结构的定制。
根据设备内部空气循环和目标洁净区域要求确定风量。
根据设备内部洁净要求及工艺条件匹配风速。
根据：过滤器阻力 → 风道阻力 → 设备内部阻力
确定风机静压方案。
支持：AC → EC不同风机方案。
支持：HEPA → ULPA不同净化等级定制
根据过滤等级、风量、阻力及空间选择相应过滤模块。
支持：独立调节 → RS485 → Modbus等项目控制方案
可以根据设备结构设计：
水平安装 → 垂直安装 → 特殊安装
EFU根据设备内部空间和气流组织方式进行安装，为指定区域提供经过过滤的空气。
艾立工业具备电机、风机、过滤器及控制系统等核心部件的研发与制造能力。
根据设备内部高度、宽度、安装位置及接口条件设计EFU结构。
综合考虑风量、静压、风速、过滤器阻力及气流分布。
可根据设备控制系统配置调速、PLC联动、RS485、Modbus等方案。
对风机、过滤器、控制系统及整机运行状态进行相应性能测试。
艾立工业长期从事洁净设备及核心部件研发制造。在EFU产品中，核心制造能力可以覆盖：
自主研发及生产风机相关产品。
根据风机和空气处理要求进行电机匹配。
自主研发控制系统，支持项目化控制需求。
自主生产HEPA、ULPA等空气过滤产品。
自主完成产品箱体及结构件的设计制造。
完成：设计 → 部件制造 → 装配 → 测试 → 交付，形成从核心部件到整机的生产链。
普通产品可以按照成熟标准尺寸进行组合。但超薄EFU需要在有限空间中同时完成：
风机 → 电机 → 风道 → 过滤器 → 箱体 → 控制
各个部件之间的空间和性能匹配。艾立工业具备风机、电机、控制系统、过滤器、钣金及整机制造能力，因此可以从产品整体进行匹配，而不是只对单一箱体进行加工。
半导体制造设备内部通常包含多个工艺模块和功能区域，对局部空气洁净度、气流组织及设备内部空间都有相应要求。艾立工业70mm超薄EFU可根据设备安装空间、风量、风速、过滤等级及控制方式进行配置，为设备内部或指定局部区域提供经过HEPA/ULPA过滤的洁净空气。
适用于多种半导体及精密制造设备。
面向晶圆制造前端工艺设备，根据设备内部空间和洁净空气要求进行EFU结构及参数匹配。
EFEM是半导体设备的重要前端模块，EFU可根据EFEM内部空间、安装位置及空气处理要求进行定制，为设备内部相关区域提供经过过滤的洁净空气。
半导体清洗设备对设备内部洁净空气环境具有相应要求。
70mm超薄EFU可根据清洗机内部安装空间、洁净区域、风量及过滤要求进行结构设计和参数匹配，可用于设备内部局部洁净空气处理。
适用于不同类型的晶圆清洗及相关湿法工艺设备。
针对光刻相关设备内部的洁净空气需求，可根据设备空间、安装结构、风量及过滤等级进行EFU方案设计。
对于设备内部空间受限的应用，超薄结构有利于进行设备端空气过滤模块的空间匹配。
用于刻蚀设备内部或指定区域的洁净空气过滤。
可根据设备结构、目标风量、静压、过滤器及控制方式进行产品配置。
适用于PVD、CVD、ALD等相关薄膜工艺设备的设备端洁净空气应用。
根据设备内部空间和工艺环境要求，对EFU的风机、过滤器、风量及安装结构进行匹配。
根据设备内部洁净空气要求和安装空间进行EFU产品配置，可针对设备结构进行尺寸、过滤器及控制方式定制。
针对化学机械抛光相关设备的局部洁净空气需求，根据设备内部空间及空气处理要求进行EFU方案设计。
适用于晶圆传输、处理及其他相关设备端洁净空气应用，可根据设备内部不同区域的空气处理要求进行配置。
对于对设备内部空气环境有要求的检测、量测及精密设备，可根据安装空间和洁净空气要求配置超薄EFU。
适用于先进封装相关设备的局部洁净空气处理，根据设备结构、安装空间、过滤等级及风量要求进行定制。
半导体前端设备 → EFEM → 半导体清洗机 → 光刻设备 → 刻蚀设备 → 薄膜沉积设备 → 离子注入设备 → CMP设备 → 晶圆处理设备 → 检测量测设备 → 先进封装设备
晶圆制造设备、半导体前端设备、EFEM等。
FPD、OLED及相关设备
先进封装设备及局部洁净区域。
电子元器件及精密制造设备。
精密光学及相关设备。
需要设备端洁净空气的微纳加工设备。
需求沟通 → 图纸/空间确认 → 风量及过滤参数确认 → 风机与过滤器匹配 → EFU结构设计 → 样品确认 → 产品测试 → 批量生产 → 交付
EFU是Equipment Fan Filter Unit的缩写，即设备端风机过滤单元，主要用于设备内部或设备端局部洁净环境的空气过滤和送风。
70mm主要指超薄风机结构的高度。与过滤器组合后的EFU整体安装尺寸需要根据具体过滤器、箱体和产品配置确定。你们现有产品资料给出的典型方案为70mm风机结构，配合过滤模块后整体工作厚度约100mm。
主要面向半导体设备、EFEM、先进封装设备、FPD/OLED设备、精密电子设备以及其他需要设备端局部洁净空气的设备。
可以。你们现有超薄EFU产品资料包含EC无刷电机方案，并支持RS485等控制方式。
可以。根据具体项目要求，可以选择HEPA或ULPA过滤方案。
可以。艾立工业支持OEM/ODM，可以根据客户CAD图纸对产品尺寸、出风口形状、特殊接线接口等进行定制。
可以。设备端EFU通常需要根据设备空间进行匹配，因此支持产品尺寸和安装结构定制。
FFU主要用于洁净室空气过滤和送风，常见安装位置为洁净室吊顶；EFU主要服务于设备端局部洁净环境，更强调设备内部空间、安装结构及控制接口的匹配。
可以。艾立工业具备风机、电机、控制系统、过滤器、钣金及洁净设备整机制造能力，可以根据项目要求提供从核心部件匹配到EFU整机的定制方案。
如果您的设备存在：
安装空间有限 → 设备内部洁净要求 → HEPA/ULPA过滤需求 → 特殊风量/风速要求 → 设备控制系统集成 → 特殊尺寸或安装结构
艾立工业可以根据设备实际条件进行EFU方案匹配。
设备图纸 → 安装空间 → 目标风量 → 风速 → 过滤等级 → 控制方式
我们的工程团队可以据此进一步确认产品方案。
洁净室设备及核心部件研发制造企业
电话：136 4625 8112
