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直流风机过滤单元(DC/EC FFU)

艾立工业直流FFU(直流风机过滤单元)是一种采用直流风机作为动力单元的洁净室空气过滤与送风设备,通过风机驱动空气经过HEPA或ULPA过滤器后送入洁净区域。产品可根据洁净室的风量、静压、风速、安装尺寸、过滤器等级及控制要求进行配置,直流风机支持转速调节,可结合不同洁净室运行需求进行风量控制。艾立工业具备风机、电机、控制系统、过滤器及FFU整机等相关研发制造能力,可为半导体、精密电子、锂电、光电显示、光伏、生物医药等洁净环境提供直流FFU产品及配套方案。
  • ALGY-ECFFU

  • 艾立工业

状态:
数量:
艾立工EC直流FFU单元

直流FFU是什么?对直流FFU进行产品配置和风机匹配。

直流FFU(DC FFU,EC FFU)是一种采用直流风机作为驱动部件的风机过滤单元。

设备通常安装于洁净室吊顶或洁净区域上方,将:

风机 + 过滤器 + 箱体 + 控制器集成在一个模块化设备中。


运行过程中,空气进入FFU内部,经风机驱动后通过HEPA或ULPA过滤器进行过滤,再以相对稳定的气流送入洁净区域。


与普通交流风机方案相比,直流风机方案的一个重要特点是便于进行转速和风量调节,因此可以根据洁净室实际运行需求进行相应的运行控制。


艾立工业根据不同项目的风量、静压、安装尺寸、过滤器和控制要求,对直流FFU进行产品配置和风机匹配。

 

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艾立工业直流FFU核心特点

01|直流风机驱动

采用直流风机作为FFU动力单元,根据产品规格匹配相应的风量及静压要求。

02|支持灵活调速

直流风机可以通过控制系统调节运行转速,便于根据洁净室实际需求调整送风状态。
适用于不同工况下的风量管理。

03|支持HEPA / ULPA过滤

可根据洁净环境要求配置:
HEPA高效过滤器或ULPA超高效过滤器
具体过滤器规格根据洁净等级、风量、阻力和安装尺寸进行选择。

04|控制方式灵活

根据项目自动化程度,可以配置:
独立调速|集中控制 |FFU群控
RS485通信|PLC控制|远程监控接口
具体控制方式根据项目要求确定。

05|模块化安装

FFU采用模块化结构,可以结合洁净室吊顶系统进行安装。

适用于大面积洁净室及局部洁净区域。

06|支持项目定制

根据不同洁净室的实际条件,可以对:

风量、静压、风速、尺寸、过滤器、风机及控制方式进行匹配。

直流FFU的运行原理——直流FFU如何工作?

空气进入

直流风机驱动

空气经过HEPA / ULPA过滤器

过滤颗粒物

洁净空气送入洁净区域

形成持续洁净送风

直流FFU通过风机与过滤器的组合,实现洁净室空气的过滤和循环送风。

直流FFU与运行控制:根据洁净室需求调节送风状态

洁净室在实际运行过程中,并不一定始终需要相同的送风状态。

例如:

生产状态、待机状态、局部工艺区域运行、不同洁净区域运行、不同生产班次等均可能存在不同的空气处理需求。

艾立工业的直流风方案可以通过控制系统调整风机运行状态,为FFU运行管理提供更加灵活的控制方式。

对于需要集中管理多台FFU的洁净室,还可以配置相应的FFU群控系统

直流FFU与节能运行——通过风量调节优化运行状态

FFU通常需要长时间运行,因此风机运行状态会影响设备的长期运行能耗。

艾立工业直流风机方案可以结合控制系统进行转速调节,在满足洁净室实际风量需求的前提下,对FFU运行状态进行调整。

需要注意的是,实际能耗与:

  • 风机型号、风量、静压、过滤器阻力、风机效率、运行时间、控制方式、洁净室设计等因素有关。

产品参数

以下是常规FFU的参数(可根据客户实际要求定制):

参数项目

常规参数

产品型号

常规款FFU

FFU尺寸

575×575mm、765×510mm、1000×520mm、1175×575mm、其他尺寸

FFU材质

SUS304、SUS201、SUS316、SUS430、SGLC、喷涂钢板

风机

AC / EC

输入电源

220VAC / 50Hz / 1P(可定制)

风速

0.45m/s ±20%(可定制)

控制方式

手动 / 群控

HEPA过滤器

50mm / 70mm可选

HEPA滤料

玻璃纤维(Glass Fibre)/PTFE

HEPA过滤效率等级

H13 / H14 / U15/U16/U17

工作温度

10~40℃

结构形式

分体式(Split Type)

安装方式

水平 / 垂直

定制支持

OEM / ODM

以上参数为艾立工业常规款FFU的参考配置,具体产品参数根据实际型号及项目要求确定。艾立工业支持根据客户需求定制FFU的尺寸、风机、风量、风速、过滤器、控制方式、箱体材质及安装结构等。不同配置的产品参数可能有所不同,具体以产品技术资料及双方确认的技术方案为准。

艾立工业FFU支持哪些定制?

根据洁净室需求定制FFU

艾立工业支持从核心部件到FFU整机进行项目化配置,可根据客户实际需求对产品进行定制。

FFU尺寸
根据吊顶模块和安装空间定制FFU尺寸。
FFU风量
根据洁净室设计及系统要求匹配风量。
FFU风速
根据不同洁净环境及工艺需求进行配置。
FFU静压
根据过滤器及系统阻力选择相应风机方案。
FFU风机
支持AC、EC等不同风机方案。
FFU过滤器
支持HEPA、ULPA等过滤器配置。
FFU过滤器
支持HEPA、ULPA等过滤器配置。
FFU材质
根据洁净室环境和项目要求选择箱体材质。
FFU结构
支持常规、超薄、下拆式、下更换式等不同结构方案。

艾立工业FFU的定制流程

需求沟通→项目参数确认→风量 / 静压 / 过滤器选型→风机及控制方案匹配→结构与尺寸设计→样品或技术方案确认→批量生产→产品测试→交付

艾立工业直流FFU的全产业链制造

核心部件与FFU整机协同研发制造

艾立工业深耕净化设备领域近二十年,拥有苏州与广德两大生产基地,其中广德智造基地面积近30,000平方米。

围绕FFU产品,公司具备:

艾立工业风机检测

风机研发制造

根据不同FFU的风量、静压和安装要求进行风机匹配。

艾立工业电机检测

电机相关研发能力

针对不同风机及空气处理设备进行电机方案开发与匹配。

艾立工业产品需求技术沟通

控制系统

自主研发控制硬件及软件,可用于FFU独立控制和群控系统。

艾立工业FFU高效过滤器生产车间

过滤器

覆盖初效、中效、HEPA、ULPA等过滤产品。

艾立工业FFU生产钣金生产

钣金制造

完成FFU箱体及相关结构件的制造。

艾立工业FFU整机装配检查

FFU整机

完成核心部件匹配、装配及整机生产。

形成:风机 → 电机 → 控制 → 过滤器 → 箱体 → FFU整机 → 群控系统的产品制造体系。这也是艾立工业直流FFU进行项目化配置和产品开发的基础。

直流FFU选型需要什么?

01.FFU安装尺寸——02.目标风量——03.目标风速——04.所需静压——05.HEPA或ULPA要求——06——洁净等级——07.电源规格——08.控制方式——09.通信要求——10.洁净室吊顶结构——11.FFU数量——12.项目应用行业

如果是半导体、锂电、光电显示等项目,还可以提供具体工艺设备和现场条件,以便进行进一步选型。

直流FFU与其他风机方案如何选择?

对比项目

直流FFU

交流FFU

驱动方式

直流风机

交流风机

调速方式

根据控制方案进行调速

根据具体配置确定

控制灵活性

适合需要调速控制的应用

根据产品方案确定

运行管理

可结合控制系统

可结合相应控制系统

应用场景

洁净室、精密制造等

多种洁净室应用

选型依据

风量、静压、控制及能耗需求

风量、静压及项目要求

如何选择?

如果项目比较关注:省电,长期运行管理,可以重点考虑直流风机方案。

具体采用哪种风机,需要根据洁净室设计、风量、静压、电源条件及控制系统进行综合选择。

艾立工业FFU产品系列

艾立工业提供多种类型FFU,可按维护方式、功能特性、应用场景及尺寸规格进行分类选型,同时支持非标定制。

艾立工业室内更换式即下拆式FFU

下更换式FFU(底部换滤网)

维护人员无需攀爬,在地面即可完成滤网更换,有效降低登高作业风险。


采用底部更换滤网设计,单台滤网更换耗时较短,适用于层高不低于2.4m的洁净室。风量范围900-1500m³/h,运行噪音≤58dB,箱体材质可选304不锈钢、镀铝锌板、铝板、烤漆钢板等不同的材质。

艾立工业上更换式FFU(顶部换滤网)

上更换式FFU(顶部换滤网)

维护人员从吊顶上方技术夹层进行操作,不占用洁净室内部作业空间。


采用顶部更换滤网方式,这是传统FFU的标准维护方式,适用于吊顶上方有足够维护空间的洁净室,适合常规洁净室吊顶安装场景。

艾立工业超薄款EFU

超薄型FFU/EFU

适配EFEM、Load Port等半导体微环境,满足层高受限空间的洁净需求。


专为半导体制造设备及紧凑型空间研发,风机主体厚度压缩至70mm。采用自研直流电机与高精度动平衡铝合金风轮。可选配PTFE无硼超细滤网。控制接口支持RS485/Modbus协议,箱体材质可选轻量化铝合金或不锈钢。

艾立工EC直流FFU单元

直流FFU风机过滤单元

搭载直流无刷电机,可比交流FFU节能30%-50%,支持无级调速与智能群控。


采用直流无刷电机驱动,电能转化效率更高,平均功率约60W-180W。支持0-100%无级调速。运行噪音约52-58分贝,比交流FFU低5-7分贝。支持RS485/Modbus协议接入中央监控系统。

艾立工业防爆款FFU风机过滤单元

防爆FFU风机过滤单元

电机与电气系统满足防爆规范要求,专为锂电新能源等易燃易爆环境设计。



针对锂电池产线的实际工艺段和防爆分区,进行设备材质、电机选型与电气设计的针对性优化。采用防爆电机与防静电箱体材质,满足相关防爆规范要求。曾为锂电池新建产线加急定制,5天内完成生产、配送与现场调试。

艾立工业除静电FFU过滤单元

防静电FFU风机过滤单元

防静电FFU集成静电消除装置实时中和气流电荷,避免静电放电对精密电子产品的损害。


针对半导体与电子制造特性,箱体材质及滤网均可提供防静电处理选项。通过集成静电消除装置,电离空气产生正负离子,有效中和气流中的静电荷。可选防静电复合涂层,表面电阻稳定,粉尘吸附量可有效降低。

艾立工业不锈钢FFU过滤单元

不锈钢FFU过滤单元

艾立工业不锈钢FFU全不锈钢箱体耐腐蚀且不易滋生微生物,适用于医药、食品等卫生要求较高的场景。


箱体采用SUS304或SUS316L不锈钢制造,具有较强的耐腐蚀和抗氧化能力。适用于食品工业、生物医药、腐蚀性气体环境等对卫生要求较高的场景。表面经精细化抛光处理,便于清洁和消毒,结构设计减少缝隙与死角。

艾立工业大风量FFU风机过滤单元

大风量FFU单元

艾立工业大风量FFU风速可定制至2m/s以上,满足精密涂布、干燥固化等对大风量送风的工艺要求。


适用于对送风量有较高要求的工艺场景,如精密涂布、干燥固化等需要较强气流携带热量的工序。电机功率和风机选型按高风量需求重新匹配,确保大风量下仍保持较低噪音和稳定运行。

艾立工业松下贴片机专业FFUEFU过滤单元

SMT贴片机专用FFU/EFU

专为松下、ASM、富士等主流贴片机定制,机身高度可定制。



可直接无缝嵌装在贴片机顶部安全罩上,无需对进行改造。可选除静电款,带屏幕款等。除松下外,也可适配ASM、富士、雅马哈等品牌机型。

艾立工业半导体行业用FFU EFU(1)

半导体设备端EFU/FFU

专为EFEM、Load Port、Sorter、Stocker、OHT及半导体清洗设备配套,支持与设备PLC联动控制。


对气流均匀性、无振动及长期连续运行有较高要求,适配各类半导体设备通讯协议。典型应用场景包括EFEM设备前端模块、晶圆传送盒接口、晶圆分选机、晶圆仓储系统、OHT天车内部微环境及半导体清洗设备等。

艾立工业面板显示用FFUEFU净化单元

面板显示制造专用FFU

适用于TFT-LCD、AMOLED等面板产线,满足Array、Cell、Module工序对洁净度的差异化需求。


面板制造中,微小灰尘或纤维均可导致亮点、暗点、坏点等缺陷。艾立工业FFU可形成稳定的垂直层流送风,风速稳定在0.45m/s,确保粒子沉降效率较优。针对AMC气态分子污染物,可搭配化学过滤器去除酸碱及有机物。洁净度可满足LCD生产ISO 4-5级、OLED生产ISO 3-4级的要求。

艾立工业锂电专用EFU FFU

锂电新能源专用FFU

艾立工业锂电行业专用FFU适用于极片涂布、电芯卷绕、电解液注液等工艺环节,从容应对高粉尘环境。


锂电池生产中,金属碎屑及导电性粉尘直接影响电池性能与安全性。艾立工业防护款FFU单元配HEPA或ULPA过滤器,高效拦截粉尘及纤维污染物。注液区可选用防爆FFU,杜绝静电火花风险,确保生产安全。

应用行业——艾立工业直流FFU适用于哪些行业?

艾立工业FFU广泛应用于对空气洁净度有严格要求的各大前沿领域:

半导体制造:晶圆光刻、刻蚀、薄膜沉积、封装测试、第三代清洗机、EFEM设备前端模块、Load Port晶圆传送盒接口。需超低振动、超低释气ULPA滤材,保障纳米级制程精度。

面板显示制造:TFT-LCD阵列基板制程(薄膜沉积、光刻、刻蚀)、彩膜制备、成盒工序(取向层涂覆、摩擦定向、液晶注入)、OLED蒸镀、模组组装。艾立工业针对OLED、LCD贴合、检测等工位优化出风气流形态,减少面板生产瑕疵。

光伏制造:硅片清洗、扩散制绒、PECVD镀膜、丝网印刷等工序,需严格控制微尘与气态分子污染物,保障电池片转换效率。

生物医药:GMP无菌车间、疫苗灌装线、冻干制剂生产、无菌制剂灌装。需持续稳定的高洁净度环境,保障药品安全。

医疗设施:百级洁净手术室、干细胞实验室、ICU病房。需低噪音、低振动运行,保障患者安全与医护人员操作舒适度。

锂电新能源:极片涂布、电芯卷绕、电解液注液区。可选防护款FFU(防导电粉尘侵入)、防爆FFU(杜绝静电火花风险),保障电池性能与生产安全。

精密制造:航天部件装配、OLED面板检测、SMT贴片线、精密模具加工。需微振动控制与稳定洁净环境,保障产品精度。

精密光学镀膜:光学镜片、滤光片等镀膜工艺,0.3微米微粒即可导致膜层缺陷,需超净环境保障镀膜质量。

医疗器械制造:无菌医疗器械生产、植入物加工、检测包装等环节,需持续稳定的高洁净度环境,保障产品安全。

体外诊断试剂生产:诊断试剂灌装线对微生物控制要求极为严格,关乎医疗安全与检测准确性。

数据中心:服务器机房、存储设备对粉尘敏感,细微颗粒物易附着硬件表面影响散热与运行稳定性,需低噪音、低振动FFU保障设备长期可靠运行。

食品工业:高洁净度包装车间、乳制品/饮料灌装线、发酵环境微生物控制,需耐腐蚀易清洁的不锈钢FFU保障食品安全。

精细化工:高纯度化学品生产、精密配料、产品包装等环节,需控制颗粒物与化学气态污染物,保障产品纯度与一致性。

高校与科研实验室:微生物检测、精密仪器操作、样品前处理等实验环境,需局部高洁净度保障实验数据准确性与可重复性。

FAQ

什么是直流FFU?

直流FFU是采用直流风机作为动力单元的风机过滤单元,将风机、过滤器及箱体等集成,用于洁净室空气过滤和送风。

直流FFU可以使用HEPA过滤器吗?

可以。直流FFU可以根据洁净环境要求配置HEPA过滤器。

直流FFU可以使用ULPA过滤器吗?

可以根据具体产品结构、风量和过滤器阻力等条件进行ULPA配置。

直流FFU可以调速吗?

可以根据具体风机及控制方案进行转速调节,从而调整FFU运行状态。

直流FFU适合半导体洁净室吗?

可以应用于半导体洁净室。实际选型需要结合洁净等级、风量、静压、风速均匀性、过滤器和控制方式确定。

直流FFU节能吗?

直流风机方案具有调速和运行控制方面的特点,实际能耗取决于风量、静压、风机效率、过滤器阻力及运行工况等因素,因此需要结合具体型号和使用条件进行评估。

直流FFU可以做群控吗?

可以根据项目需求配置FFU群控系统,并可结合RS485、PLC等控制方式进行系统集成。

艾立工业可以定制直流FFU吗?

可以根据项目的安装尺寸、风量、静压、过滤器、风机及控制要求进行产品配置和技术沟通。

为您的洁净室选择合适的直流FFU

如果您正在进行:

半导体洁净室建设

电子厂洁净室建设

锂电洁净室建设

光电显示洁净室建设

光伏洁净区域建设

洁净室改造

FFU设备更新

FFU批量采购

可以向艾立工业提供FFU安装尺寸、风量、静压、过滤器等级及控制要求。

艾立工业

洁净室核心部件及设备制造企业

电话:136 4625 8112

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