直流FFU(DC FFU,EC FFU)是一种采用直流风机作为驱动部件的风机过滤单元。
设备通常安装于洁净室吊顶或洁净区域上方,将:
风机 + 过滤器 + 箱体 + 控制器集成在一个模块化设备中。
运行过程中,空气进入FFU内部,经风机驱动后通过HEPA或ULPA过滤器进行过滤,再以相对稳定的气流送入洁净区域。
与普通交流风机方案相比,直流风机方案的一个重要特点是便于进行转速和风量调节,因此可以根据洁净室实际运行需求进行相应的运行控制。
艾立工业根据不同项目的风量、静压、安装尺寸、过滤器和控制要求,对直流FFU进行产品配置和风机匹配。
FFU采用模块化结构,可以结合洁净室吊顶系统进行安装。
适用于大面积洁净室及局部洁净区域。
根据不同洁净室的实际条件,可以对:
风量、静压、风速、尺寸、过滤器、风机及控制方式进行匹配。
空气进入 | → | 直流风机驱动 | → | 空气经过HEPA / ULPA过滤器 | → | 过滤颗粒物 | → | 洁净空气送入洁净区域 | 形成持续洁净送风 | → | 直流FFU通过风机与过滤器的组合,实现洁净室空气的过滤和循环送风。 |
洁净室在实际运行过程中,并不一定始终需要相同的送风状态。
例如:
生产状态、待机状态、局部工艺区域运行、不同洁净区域运行、不同生产班次等均可能存在不同的空气处理需求。
艾立工业的直流风方案可以通过控制系统调整风机运行状态,为FFU运行管理提供更加灵活的控制方式。
对于需要集中管理多台FFU的洁净室,还可以配置相应的FFU群控系统。
FFU通常需要长时间运行,因此风机运行状态会影响设备的长期运行能耗。
艾立工业直流风机方案可以结合控制系统进行转速调节,在满足洁净室实际风量需求的前提下,对FFU运行状态进行调整。
需要注意的是,实际能耗与:
风机型号、风量、静压、过滤器阻力、风机效率、运行时间、控制方式、洁净室设计等因素有关。
产品参数
以下是常规FFU的参数(可根据客户实际要求定制):
参数项目 | 常规参数 |
|---|---|
产品型号 | 常规款FFU |
FFU尺寸 | 575×575mm、765×510mm、1000×520mm、1175×575mm、其他尺寸 |
FFU材质 | SUS304、SUS201、SUS316、SUS430、SGLC、喷涂钢板 |
风机 | AC / EC |
输入电源 | 220VAC / 50Hz / 1P(可定制) |
风速 | 0.45m/s ±20%(可定制) |
控制方式 | 手动 / 群控 |
HEPA过滤器 | 50mm / 70mm可选 |
HEPA滤料 | 玻璃纤维(Glass Fibre)/PTFE |
HEPA过滤效率等级 | H13 / H14 / U15/U16/U17 |
工作温度 | 10~40℃ |
结构形式 | 分体式(Split Type) |
安装方式 | 水平 / 垂直 |
定制支持 | OEM / ODM |
以上参数为艾立工业常规款FFU的参考配置,具体产品参数根据实际型号及项目要求确定。艾立工业支持根据客户需求定制FFU的尺寸、风机、风量、风速、过滤器、控制方式、箱体材质及安装结构等。不同配置的产品参数可能有所不同,具体以产品技术资料及双方确认的技术方案为准。
艾立工业支持从核心部件到FFU整机进行项目化配置,可根据客户实际需求对产品进行定制。
需求沟通→项目参数确认→风量 / 静压 / 过滤器选型→风机及控制方案匹配→结构与尺寸设计→样品或技术方案确认→批量生产→产品测试→交付
核心部件与FFU整机协同研发制造
艾立工业深耕净化设备领域近二十年,拥有苏州与广德两大生产基地,其中广德智造基地面积近30,000平方米。
围绕FFU产品,公司具备:
根据不同FFU的风量、静压和安装要求进行风机匹配。
针对不同风机及空气处理设备进行电机方案开发与匹配。
自主研发控制硬件及软件,可用于FFU独立控制和群控系统。
覆盖初效、中效、HEPA、ULPA等过滤产品。
完成FFU箱体及相关结构件的制造。
完成核心部件匹配、装配及整机生产。
形成:风机 → 电机 → 控制 → 过滤器 → 箱体 → FFU整机 → 群控系统的产品制造体系。这也是艾立工业直流FFU进行项目化配置和产品开发的基础。
01.FFU安装尺寸——02.目标风量——03.目标风速——04.所需静压——05.HEPA或ULPA要求——06——洁净等级——07.电源规格——08.控制方式——09.通信要求——10.洁净室吊顶结构——11.FFU数量——12.项目应用行业
如果是半导体、锂电、光电显示等项目,还可以提供具体工艺设备和现场条件,以便进行进一步选型。
对比项目 | 直流FFU | 交流FFU |
|---|---|---|
驱动方式 | 直流风机 | 交流风机 |
调速方式 | 根据控制方案进行调速 | 根据具体配置确定 |
控制灵活性 | 适合需要调速控制的应用 | 根据产品方案确定 |
运行管理 | 可结合控制系统 | 可结合相应控制系统 |
应用场景 | 洁净室、精密制造等 | 多种洁净室应用 |
选型依据 | 风量、静压、控制及能耗需求 | 风量、静压及项目要求 |
如果项目比较关注:省电,长期运行管理,可以重点考虑直流风机方案。
具体采用哪种风机,需要根据洁净室设计、风量、静压、电源条件及控制系统进行综合选择。
艾立工业提供多种类型FFU,可按维护方式、功能特性、应用场景及尺寸规格进行分类选型,同时支持非标定制。
维护人员无需攀爬,在地面即可完成滤网更换,有效降低登高作业风险。
采用底部更换滤网设计,单台滤网更换耗时较短,适用于层高不低于2.4m的洁净室。风量范围900-1500m³/h,运行噪音≤58dB,箱体材质可选304不锈钢、镀铝锌板、铝板、烤漆钢板等不同的材质。
维护人员从吊顶上方技术夹层进行操作,不占用洁净室内部作业空间。
采用顶部更换滤网方式,这是传统FFU的标准维护方式,适用于吊顶上方有足够维护空间的洁净室,适合常规洁净室吊顶安装场景。
适配EFEM、Load Port等半导体微环境,满足层高受限空间的洁净需求。
专为半导体制造设备及紧凑型空间研发,风机主体厚度压缩至70mm。采用自研直流电机与高精度动平衡铝合金风轮。可选配PTFE无硼超细滤网。控制接口支持RS485/Modbus协议,箱体材质可选轻量化铝合金或不锈钢。
搭载直流无刷电机,可比交流FFU节能30%-50%,支持无级调速与智能群控。
采用直流无刷电机驱动,电能转化效率更高,平均功率约60W-180W。支持0-100%无级调速。运行噪音约52-58分贝,比交流FFU低5-7分贝。支持RS485/Modbus协议接入中央监控系统。
电机与电气系统满足防爆规范要求,专为锂电新能源等易燃易爆环境设计。
针对锂电池产线的实际工艺段和防爆分区,进行设备材质、电机选型与电气设计的针对性优化。采用防爆电机与防静电箱体材质,满足相关防爆规范要求。曾为锂电池新建产线加急定制,5天内完成生产、配送与现场调试。
防静电FFU集成静电消除装置实时中和气流电荷,避免静电放电对精密电子产品的损害。
针对半导体与电子制造特性,箱体材质及滤网均可提供防静电处理选项。通过集成静电消除装置,电离空气产生正负离子,有效中和气流中的静电荷。可选防静电复合涂层,表面电阻稳定,粉尘吸附量可有效降低。
艾立工业不锈钢FFU全不锈钢箱体耐腐蚀且不易滋生微生物,适用于医药、食品等卫生要求较高的场景。
箱体采用SUS304或SUS316L不锈钢制造,具有较强的耐腐蚀和抗氧化能力。适用于食品工业、生物医药、腐蚀性气体环境等对卫生要求较高的场景。表面经精细化抛光处理,便于清洁和消毒,结构设计减少缝隙与死角。
艾立工业大风量FFU风速可定制至2m/s以上,满足精密涂布、干燥固化等对大风量送风的工艺要求。
适用于对送风量有较高要求的工艺场景,如精密涂布、干燥固化等需要较强气流携带热量的工序。电机功率和风机选型按高风量需求重新匹配,确保大风量下仍保持较低噪音和稳定运行。
专为松下、ASM、富士等主流贴片机定制,机身高度可定制。
可直接无缝嵌装在贴片机顶部安全罩上,无需对进行改造。可选除静电款,带屏幕款等。除松下外,也可适配ASM、富士、雅马哈等品牌机型。
专为EFEM、Load Port、Sorter、Stocker、OHT及半导体清洗设备配套,支持与设备PLC联动控制。
对气流均匀性、无振动及长期连续运行有较高要求,适配各类半导体设备通讯协议。典型应用场景包括EFEM设备前端模块、晶圆传送盒接口、晶圆分选机、晶圆仓储系统、OHT天车内部微环境及半导体清洗设备等。
适用于TFT-LCD、AMOLED等面板产线,满足Array、Cell、Module工序对洁净度的差异化需求。
面板制造中,微小灰尘或纤维均可导致亮点、暗点、坏点等缺陷。艾立工业FFU可形成稳定的垂直层流送风,风速稳定在0.45m/s,确保粒子沉降效率较优。针对AMC气态分子污染物,可搭配化学过滤器去除酸碱及有机物。洁净度可满足LCD生产ISO 4-5级、OLED生产ISO 3-4级的要求。
艾立工业锂电行业专用FFU适用于极片涂布、电芯卷绕、电解液注液等工艺环节,从容应对高粉尘环境。
锂电池生产中,金属碎屑及导电性粉尘直接影响电池性能与安全性。艾立工业防护款FFU单元配HEPA或ULPA过滤器,高效拦截粉尘及纤维污染物。注液区可选用防爆FFU,杜绝静电火花风险,确保生产安全。
艾立工业FFU广泛应用于对空气洁净度有严格要求的各大前沿领域:
半导体制造:晶圆光刻、刻蚀、薄膜沉积、封装测试、第三代清洗机、EFEM设备前端模块、Load Port晶圆传送盒接口。需超低振动、超低释气ULPA滤材,保障纳米级制程精度。
面板显示制造:TFT-LCD阵列基板制程(薄膜沉积、光刻、刻蚀)、彩膜制备、成盒工序(取向层涂覆、摩擦定向、液晶注入)、OLED蒸镀、模组组装。艾立工业针对OLED、LCD贴合、检测等工位优化出风气流形态,减少面板生产瑕疵。
光伏制造:硅片清洗、扩散制绒、PECVD镀膜、丝网印刷等工序,需严格控制微尘与气态分子污染物,保障电池片转换效率。
生物医药:GMP无菌车间、疫苗灌装线、冻干制剂生产、无菌制剂灌装。需持续稳定的高洁净度环境,保障药品安全。
医疗设施:百级洁净手术室、干细胞实验室、ICU病房。需低噪音、低振动运行,保障患者安全与医护人员操作舒适度。
锂电新能源:极片涂布、电芯卷绕、电解液注液区。可选防护款FFU(防导电粉尘侵入)、防爆FFU(杜绝静电火花风险),保障电池性能与生产安全。
精密制造:航天部件装配、OLED面板检测、SMT贴片线、精密模具加工。需微振动控制与稳定洁净环境,保障产品精度。
精密光学镀膜:光学镜片、滤光片等镀膜工艺,0.3微米微粒即可导致膜层缺陷,需超净环境保障镀膜质量。
医疗器械制造:无菌医疗器械生产、植入物加工、检测包装等环节,需持续稳定的高洁净度环境,保障产品安全。
体外诊断试剂生产:诊断试剂灌装线对微生物控制要求极为严格,关乎医疗安全与检测准确性。
数据中心:服务器机房、存储设备对粉尘敏感,细微颗粒物易附着硬件表面影响散热与运行稳定性,需低噪音、低振动FFU保障设备长期可靠运行。
食品工业:高洁净度包装车间、乳制品/饮料灌装线、发酵环境微生物控制,需耐腐蚀易清洁的不锈钢FFU保障食品安全。
精细化工:高纯度化学品生产、精密配料、产品包装等环节,需控制颗粒物与化学气态污染物,保障产品纯度与一致性。
高校与科研实验室:微生物检测、精密仪器操作、样品前处理等实验环境,需局部高洁净度保障实验数据准确性与可重复性。
直流FFU是采用直流风机作为动力单元的风机过滤单元,将风机、过滤器及箱体等集成,用于洁净室空气过滤和送风。
可以。直流FFU可以根据洁净环境要求配置HEPA过滤器。
可以根据具体产品结构、风量和过滤器阻力等条件进行ULPA配置。
可以根据具体风机及控制方案进行转速调节,从而调整FFU运行状态。
可以应用于半导体洁净室。实际选型需要结合洁净等级、风量、静压、风速均匀性、过滤器和控制方式确定。
直流风机方案具有调速和运行控制方面的特点,实际能耗取决于风量、静压、风机效率、过滤器阻力及运行工况等因素,因此需要结合具体型号和使用条件进行评估。
可以根据项目需求配置FFU群控系统,并可结合RS485、PLC等控制方式进行系统集成。
可以根据项目的安装尺寸、风量、静压、过滤器、风机及控制要求进行产品配置和技术沟通。
如果您正在进行:
半导体洁净室建设
电子厂洁净室建设
锂电洁净室建设
光电显示洁净室建设
光伏洁净区域建设
洁净室改造
FFU设备更新
FFU批量采购
可以向艾立工业提供FFU安装尺寸、风量、静压、过滤器等级及控制要求。
洁净室核心部件及设备制造企业
电话:136 4625 8112