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FFU风机过滤单元

**FFU(Fan Filter Unit,风机过滤单元)**是一种集风机与高效过滤器于一体的空气净化送风设备,通常安装于洁净室吊顶或洁净区域上方,通过风机驱动空气经过HEPA或ULPA过滤器后送入洁净空间,为洁净室提供持续、稳定的过滤空气。

艾立工业专注洁净设备研发与制造,FFU产品可根据不同洁净室项目需求,对风机类型、过滤器等级、风量、风速、安装尺寸、控制方式及外壳结构进行配置。

依托风机、控制系统、过滤器及整机制造能力,艾立工业能够从核心部件到FFU整机进行协同开发,为不同洁净环境提供相匹配的空气过滤与送风方案。

  • ALGY-1175

  • 艾立工业

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艾立工业FFU风机过滤单元

艾立工业FFU风机过滤单元

FFU(Fan Filter Unit,风机过滤单元)是由风机、HEPA/ULPA过滤器与箱体组合而成的模块化空气净化设备,广泛应用于洁净室环境。艾立工业具备无尘室设备研发、制造、安装及洁净室设计、施工、维护能力。公司从事净化设备领域多年,FFU产品覆盖锂电、半导体、电子光电、新能源、生物医药、精密机械、食品工业等行业。


艾立工业采取从风机、控制系统到过滤器的全链条自主生产模式,产品通过ISO 14644-1、CE等认证,可为用户提供非标定制服务。

 艾立工业FFU标准尺寸:

2'×2'(575*575mm)、2'×4'(1175*575mm)、4'×4'(1175×1175mm)等

可接受非标尺寸定制

箱体材质可选:铝锌镀钢、不锈钢(SUS304/316)、钢板烤漆

风机类型:AC交流或EC直流

控制方式:单机手动、触摸屏群控、计算机集中控制

技术参数(常见规格)

参数

范围/选项

适用洁净度等级

ISO 5级(百级)至ISO 8级

出风风速

0.3~0.9 m/s(连续可调)

过滤器等级

H13/H14(HEPA);U15/U16/U17(ULPA)

对0.3μm颗粒过滤效率

≥99.995%(H14级)(可选配更高等级的过滤器)

运行噪音

≤48-59dB(视型号)

箱体材质

304不锈钢、316不锈钢、覆铝锌板、冷轧钢板烤漆

电机类型

AC交流或EC直流无刷

通信接口

RS485,Modbus协议

安装方式

吊顶龙骨嵌入式,室内更换式等

电源

220V AC / 50Hz(可定制110V等)

注:尺寸、风量、过滤器等级等均可根据项目需求定制。

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产 品 特 点

高效过滤

可选配H13/H14级HEPA过滤器或U15-U17级ULPA超高效过滤器。


H13级对0.3μm颗粒过滤效率≥99.99%,U15级对0.12μm颗粒过滤效率≥99.9995%。


过滤器在无尘室生产,每台出厂前经检漏平台逐台扫描检漏。

节能低噪

可选EC直流电机,相比传统AC电机可节能30%-50%。

通过流体动力学优化风机结构与导风设计,运行噪音低至52-57dB,优于行业平均水平。

适用于对能耗和噪音有严格要求的长期运行场所。

模块化设计

采用独立单元架构,单台故障不影响其他单元运行。

模块化结构支持快速拆装,布局调整无需停工,过滤器可选快拆结构,支持单人快速更换。

风速均匀稳定

采用独特内部导流与出风设计,确保出风面风速均匀性,风速稳定。


有效消除涡流与死角,为工艺区域提供稳定、均衡的垂直单向气流。

智能控制

支持单机本地控制、触摸屏群控、计算机集中控制等多种模式。

液晶屏可群控300台FFU,电脑群控可控制几万台,可选配实时查看风速、压差等运行参数,具备故障报警与风压监测功能。

支持RS485/Modbus等主流协议,可无缝集成至厂务管理系统。

结构灵活,适配多种场景

提供多种结构选项:

下更换式(地面换滤网,无需攀爬)、上更换式(顶部维护)


超薄款(箱体厚度低至70mm,适配半导体夹层)


不锈钢款(耐腐蚀易清洁)、防爆款(防爆电机与电路)等,适配不同空间与工况。

多材质可选

箱体材质支持SUS304、SUS316L不锈钢、镀铝锌板、铝板、钢板烤漆等多种选项。

不锈钢款适用于医药、食品等对卫生要求较高的场景;

镀铝锌板款经济实用,适用于通用工业场合。

多重规格,支持按需定制

提供2'×2'、2'×4'、4'×4'、等多种标准尺寸,箱体厚度70-350mm灵活配置。


风速、尺寸、过滤等级、箱体材质、控制方式等均可按需定制。


箱体结构精巧坚固,便于安装。

核心优势

自主研发实验室+全套测试设备

行业常态:多数FFU厂家外购部件组装,缺乏自主验证能力,产品性能靠供应商数据。


艾立工业的不同:拥有先进的研发实验室,配备风机测试系统、风机动平衡测试系统、电机测试系统、过滤器检漏平台、TSI风量罩、粉尘粒子检测器、振动测试仪、风洞等全套测试设备。所有产品在批量生产前,均经过长期、多次、严格的测试验证方可量产。


对客户的实际意义:

每一台FFU出厂前都经过实测验证,不是“设计值”,是“实测值”

风机每台经过三次性能测试才允许上线组装

过滤器逐台检漏,不是“抽检合格”,是“逐台合格”

特殊需求(如低振动、高风速)有设备可验证

全产业链自主生产

行业常态:多数FFU厂家外购风机、外购控制器、外购过滤器,做的是“拼装”,品质依赖供应商。


艾立工业的不同:实现了风机、控制系统、过滤器三大核心部件全链路自研自产。厂房面积近3万平方米,从电机绕线、滤料复合、控制系统软硬件设计、整机总装,均在自有体系内完成。



对客户的实际意义:

品质可追溯,不是“出了问题找供应商”,是“全程自己掌控”

定价透明,不是“多层加价”,是“源头价格”

交期可控,不是“等供应商排期”,是“自主协调各环节”

自研风机与电机

行业常态:绝大多数FFU厂家不具备自产电机能力,依赖外购品牌,风速只能选现成档位。


艾立工业的不同:拥有资深的电机工程师团队,从电磁设计、叶轮动力学到控制系统全链路自研。自研扁平式无刷电机厚度仅28mm。每台风机经过三次性能测试才允许上线。



对客户的实际意义:


风速任意定制,不是“只能选现有档位”,是“要什么风速调什么风速”(可精准实现1.0m/s、1.5m/s、1.8m/s甚至2.5/s等非标风速)

超薄EFU装得进半导体夹层,不是“200-300mm装不下”,是“100mm装得进100-150mm空间”

电机寿命更长,不是“用一下就坏”

控制系统全自主研发

行业常态:多数FFU的控制系统外购标准方案,客户想改个逻辑得等供应商排期。


艾立的不同:控制系统软硬件全部自行设计制造,资深软硬件工程师可为客户定制。液晶屏款可控300台FFU,电脑款可控几万台FFU,支持运行状态实时监测、报警功能和风压监测功能。


对客户的实际意义:


控制逻辑按需定制,不是“供应商给什么用什么”,是“你要怎么控就怎么编”

系统无缝集成,不是“还得另配对接方案”,是“主流协议全支持”

管理一套搞定,不是“一台一台操作”,是“几万台全管完”

多场景深度定制化设计能力

行业常态:多数FFU厂家只提供标准品,空间不够让客户改厂房、粉尘大让客户加防护、有振动让客户自己隔振。


艾立工业的不同:基于自研电机、自研控制系统、全产业链制造三大底层能力,可针对不同工况深度适配。仅举部分定制方向:

空间定制:70mm超薄EFU,直接装入半导体设备100-120mm夹层,无需设计

恶劣环境定制:防护款FFU,密封结构杜绝锂电导电粉尘侵入

此外,风速、尺寸、过滤等级、箱体材质、控制方式等均可按需配置。


对客户的实际意义:

不用为设备改厂房,不是“装不下凑合用”,是“按你的空间设计”

不用为环境换设备,不是“坏了再买一台”,是“按工况定制,按场景验证”

非标不加价,不是“定制就翻倍”,是“自研自产,成本可控”

一站式供应

行业常态:洁净室建设面临供应商分散——FFU找一家、过滤器找一家、风淋室再找一家,规格不统一、交期不同步、售后无统筹。


艾立工业的不同:产品线覆盖初、中、高效/超高效空气过滤器,FFU、EFU、BFU、高效送风口、风淋室、传递窗、洁净工作台、称量室、采样车、洁净屏、净化板、不锈钢制品等全系列。




对客户的实际意义:

一次对接,不是“面对七八个供应商”,是“一个窗口全解决”

统一标准,不是“各家电控各不同”,是“全线规格一致”

同步交付,不是“等了这个等那个”,是“一起到位、统筹售后”

艾立工业FFU产品系列

艾立工业提供多种类型FFU,可按维护方式、功能特性、应用场景及尺寸规格进行分类选型,同时支持非标定制。

艾立工业室内更换式即下拆式FFU

下更换式FFU(底部换滤网)

维护人员无需攀爬,在地面即可完成滤网更换,有效降低登高作业风险。


采用底部更换滤网设计,单台滤网更换耗时较短,适用于层高不低于2.4m的洁净室。风量范围900-1500m³/h,运行噪音≤58dB,箱体材质可选304不锈钢、镀铝锌板、铝板、烤漆钢板等不同的材质。

艾立工业上更换式FFU(顶部换滤网)

上更换式FFU(顶部换滤网)

维护人员从吊顶上方技术夹层进行操作,不占用洁净室内部作业空间。


采用顶部更换滤网方式,这是传统FFU的标准维护方式,适用于吊顶上方有足够维护空间的洁净室,适合常规洁净室吊顶安装场景。

艾立工业超薄款EFU

超薄型FFU/EFU

适配EFEM、Load Port等半导体微环境,满足层高受限空间的洁净需求。


专为半导体制造设备及紧凑型空间研发,风机主体厚度压缩至70mm。采用自研直流电机与高精度动平衡铝合金风轮。可选配PTFE无硼超细滤网。控制接口支持RS485/Modbus协议,箱体材质可选轻量化铝合金或不锈钢。

艾立工EC直流FFU单元

直流FFU风机过滤单元

搭载直流无刷电机,可比交流FFU节能30%-50%,支持无级调速与智能群控。


采用直流无刷电机驱动,电能转化效率更高,平均功率约60W-180W。支持0-100%无级调速。运行噪音约52-58分贝,比交流FFU低5-7分贝。支持RS485/Modbus协议接入中央监控系统。

艾立工业防爆款FFU风机过滤单元

防爆FFU风机过滤单元

电机与电气系统满足防爆规范要求,专为锂电新能源等易燃易爆环境设计。



针对锂电池产线的实际工艺段和防爆分区,进行设备材质、电机选型与电气设计的针对性优化。采用防爆电机与防静电箱体材质,满足相关防爆规范要求。曾为锂电池新建产线加急定制,5天内完成生产、配送与现场调试。

艾立工业除静电FFU过滤单元

防静电FFU风机过滤单元

防静电FFU集成静电消除装置实时中和气流电荷,避免静电放电对精密电子产品的损害。


针对半导体与电子制造特性,箱体材质及滤网均可提供防静电处理选项。通过集成静电消除装置,电离空气产生正负离子,有效中和气流中的静电荷。可选防静电复合涂层,表面电阻稳定,粉尘吸附量可有效降低。

艾立工业不锈钢FFU过滤单元

不锈钢FFU过滤单元

艾立工业不锈钢FFU全不锈钢箱体耐腐蚀且不易滋生微生物,适用于医药、食品等卫生要求较高的场景。


箱体采用SUS304或SUS316L不锈钢制造,具有较强的耐腐蚀和抗氧化能力。适用于食品工业、生物医药、腐蚀性气体环境等对卫生要求较高的场景。表面经精细化抛光处理,便于清洁和消毒,结构设计减少缝隙与死角。

艾立工业大风量FFU风机过滤单元

大风量FFU单元

艾立工业大风量FFU风速可定制至2m/s以上,满足精密涂布、干燥固化等对大风量送风的工艺要求。


适用于对送风量有较高要求的工艺场景,如精密涂布、干燥固化等需要较强气流携带热量的工序。电机功率和风机选型按高风量需求重新匹配,确保大风量下仍保持较低噪音和稳定运行。

艾立工业松下贴片机专业FFUEFU过滤单元

SMT贴片机专用FFU/EFU

专为松下、ASM、富士等主流贴片机定制,机身高度可定制。



可直接无缝嵌装在贴片机顶部安全罩上,无需对进行改造。可选除静电款,带屏幕款等。除松下外,也可适配ASM、富士、雅马哈等品牌机型。

艾立工业半导体行业用FFU EFU(1)

半导体设备端EFU/FFU

专为EFEM、Load Port、Sorter、Stocker、OHT及半导体清洗设备配套,支持与设备PLC联动控制。


对气流均匀性、无振动及长期连续运行有较高要求,适配各类半导体设备通讯协议。典型应用场景包括EFEM设备前端模块、晶圆传送盒接口、晶圆分选机、晶圆仓储系统、OHT天车内部微环境及半导体清洗设备等。

艾立工业面板显示用FFUEFU净化单元

面板显示制造专用FFU

适用于TFT-LCD、AMOLED等面板产线,满足Array、Cell、Module工序对洁净度的差异化需求。


面板制造中,微小灰尘或纤维均可导致亮点、暗点、坏点等缺陷。艾立工业FFU可形成稳定的垂直层流送风,风速稳定在0.45m/s,确保粒子沉降效率较优。针对AMC气态分子污染物,可搭配化学过滤器去除酸碱及有机物。洁净度可满足LCD生产ISO 4-5级、OLED生产ISO 3-4级的要求。

艾立工业锂电专用EFU FFU

锂电新能源专用FFU

艾立工业锂电行业专用FFU适用于极片涂布、电芯卷绕、电解液注液等工艺环节,从容应对高粉尘环境。


锂电池生产中,金属碎屑及导电性粉尘直接影响电池性能与安全性。艾立工业防护款FFU单元配HEPA或ULPA过滤器,高效拦截粉尘及纤维污染物。注液区可选用防爆FFU,杜绝静电火花风险,确保生产安全。

应用场景

艾立工业FFU广泛应用于对空气洁净度有严格要求的各大前沿领域:

半导体制造:晶圆光刻、刻蚀、薄膜沉积、封装测试、第三代清洗机、EFEM设备前端模块、Load Port晶圆传送盒接口。需超低振动、超低释气ULPA滤材,保障纳米级制程精度。

面板显示制造:TFT-LCD阵列基板制程(薄膜沉积、光刻、刻蚀)、彩膜制备、成盒工序(取向层涂覆、摩擦定向、液晶注入)、OLED蒸镀、模组组装。艾立工业针对OLED、LCD贴合、检测等工位优化出风气流形态,减少面板生产瑕疵。

光伏制造:硅片清洗、扩散制绒、PECVD镀膜、丝网印刷等工序,需严格控制微尘与气态分子污染物,保障电池片转换效率。

生物医药:GMP无菌车间、疫苗灌装线、冻干制剂生产、无菌制剂灌装。需持续稳定的高洁净度环境,保障药品安全。

医疗设施:百级洁净手术室、干细胞实验室、ICU病房。需低噪音、低振动运行,保障患者安全与医护人员操作舒适度。

锂电新能源:极片涂布、电芯卷绕、电解液注液区。可选防护款FFU(防导电粉尘侵入)、防爆FFU(杜绝静电火花风险),保障电池性能与生产安全。

精密制造:航天部件装配、OLED面板检测、SMT贴片线、精密模具加工。需微振动控制与稳定洁净环境,保障产品精度。

精密光学镀膜:光学镜片、滤光片等镀膜工艺,0.3微米微粒即可导致膜层缺陷,需超净环境保障镀膜质量。

医疗器械制造:无菌医疗器械生产、植入物加工、检测包装等环节,需持续稳定的高洁净度环境,保障产品安全。

体外诊断试剂生产:诊断试剂灌装线对微生物控制要求极为严格,关乎医疗安全与检测准确性。

数据中心:服务器机房、存储设备对粉尘敏感,细微颗粒物易附着硬件表面影响散热与运行稳定性,需低噪音、低振动FFU保障设备长期可靠运行。

食品工业:高洁净度包装车间、乳制品/饮料灌装线、发酵环境微生物控制,需耐腐蚀易清洁的不锈钢FFU保障食品安全。

精细化工:高纯度化学品生产、精密配料、产品包装等环节,需控制颗粒物与化学气态污染物,保障产品纯度与一致性。

高校与科研实验室:微生物检测、精密仪器操作、样品前处理等实验环境,需局部高洁净度保障实验数据准确性与可重复性。

常见问题

Q:艾立FFU支持哪些过滤器等级?
A:可选用HEPA H13/H14,或ULPA U15~U17。材质有玻璃纤维和PTFE可选。

Q:能否定制非标尺寸或特殊功能?
A:可以。接受高度、长度、宽度非标定制,也可提供防爆、防静电、超薄、不锈钢等特殊型号。

Q:过滤器更换方式有哪些?
A:支持顶部更换、底部更换(下更换式)、侧面更换等多种方式,客户可根据现场安装条件选择。

Q:相比传统AC风机,EC方案的节能效果如何?
A:在实际项目对比中,EC电机配合智能调速可降低约35%~40%的能耗。长期运行下电费节省较明显。

Q:噪音指标是多少?
A:多数型号在57dB以内,静音款在48dB(测点位于过滤器下方1.2米处)。

Q:交货周期大概多长?
A:由于核心部件自主生产,常规型号交期较短,具体可咨询销售确认。

公司能力

艾立工业每年可供应约50万台FFU,已服务全球超过2000家客户。产品在批量生产前需通过研发实验室的多项测试,每台成品经过多次性能检测后方可出厂。

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