在部分洁净室项目中,吊顶空间受到建筑层高、机电系统及设备布局限制,传统FFU的安装空间可能受到影响。
艾立工业超薄FFU采用超薄风机结构设计,可以用于对安装空间有要求的洁净室及局部洁净环境。
产品可根据洁净室吊顶模块、风量、风速、过滤器及控制系统要求进行配置。
参数 | 范围/选项 |
|---|---|
适用洁净度等级 | ISO 5级(百级)至ISO 8级 |
出风风速 | 0.3~0.9 m/s(连续可调) |
过滤器等级 | H13/H14(HEPA);U15/U16/U17(ULPA) |
对0.3μm颗粒过滤效率 | ≥99.995%(H14级)(可选配更高等级的过滤器) |
运行噪音 | ≤48-59dB(视型号) |
箱体材质 | 304不锈钢、316不锈钢、覆铝锌板、冷轧钢板烤漆 |
电机类型 | AC交流或EC直流无刷 |
通信接口 | RS485,Modbus协议 |
安装方式 | 吊顶龙骨嵌入式,室内更换式等 |
电源 | 220V AC / 50Hz(可定制110V等) |
注:尺寸、风量、过滤器等级等均可根据项目需求定制。
采用独特内部导流与出风设计,确保出风面风速均匀性,风速稳定。
有效消除涡流与死角,为工艺区域提供稳定、均衡的垂直单向气流。
支持单机本地控制、触摸屏群控、计算机集中控制等多种模式。
液晶屏可群控300台FFU,电脑群控可控制几万台,可选配实时查看风速、压差等运行参数,具备故障报警与风压监测功能。
支持RS485/Modbus等主流协议,可无缝集成至厂务管理系统。
提供多种结构选项:
下更换式(地面换滤网,无需攀爬)、上更换式(顶部维护)
超薄款(箱体厚度低至70mm,适配半导体夹层)
不锈钢款(耐腐蚀易清洁)、防爆款(防爆电机与电路)等,适配不同空间与工况。
箱体材质支持SUS304、SUS316L不锈钢、镀铝锌板、铝板、钢板烤漆等多种选项。
不锈钢款适用于医药、食品等对卫生要求较高的场景;
镀铝锌板款经济实用,适用于通用工业场合。
提供2'×2'、2'×4'、4'×4'、等多种标准尺寸,箱体厚度70-350mm灵活配置。
风速、尺寸、过滤等级、箱体材质、控制方式等均可按需定制。
箱体结构精巧坚固,便于安装。
行业常态:多数FFU厂家外购部件组装,缺乏自主验证能力,产品性能靠供应商数据。
艾立工业的不同:拥有先进的研发实验室,配备风机测试系统、风机动平衡测试系统、电机测试系统、过滤器检漏平台、TSI风量罩、粉尘粒子检测器、振动测试仪、风洞等全套测试设备。所有产品在批量生产前,均经过长期、多次、严格的测试验证方可量产。
对客户的实际意义:
每一台FFU出厂前都经过实测验证,不是“设计值”,是“实测值”
风机每台经过三次性能测试才允许上线组装
过滤器逐台检漏,不是“抽检合格”,是“逐台合格”
特殊需求(如低振动、高风速)有设备可验证
行业常态:多数FFU厂家外购风机、外购控制器、外购过滤器,做的是“拼装”,品质依赖供应商。
艾立工业的不同:实现了风机、控制系统、过滤器三大核心部件全链路自研自产。厂房面积近3万平方米,从电机绕线、滤料复合、控制系统软硬件设计、整机总装,均在自有体系内完成。
对客户的实际意义:
品质可追溯,不是“出了问题找供应商”,是“全程自己掌控”
定价透明,不是“多层加价”,是“源头价格”
交期可控,不是“等供应商排期”,是“自主协调各环节”
行业常态:绝大多数FFU厂家不具备自产电机能力,依赖外购品牌,风速只能选现成档位。
艾立工业的不同:拥有资深的电机工程师团队,从电磁设计、叶轮动力学到控制系统全链路自研。自研扁平式无刷电机厚度仅28mm。每台风机经过三次性能测试才允许上线。
对客户的实际意义:
风速任意定制,不是“只能选现有档位”,是“要什么风速调什么风速”(可精准实现1.0m/s、1.5m/s、1.8m/s甚至2.5/s等非标风速)
超薄EFU装得进半导体夹层,不是“200-300mm装不下”,是“100mm装得进100-150mm空间”
电机寿命更长,不是“用一下就坏”
行业常态:多数FFU的控制系统外购标准方案,客户想改个逻辑得等供应商排期。
艾立的不同:控制系统软硬件全部自行设计制造,资深软硬件工程师可为客户定制。液晶屏款可控300台FFU,电脑款可控几万台FFU,支持运行状态实时监测、报警功能和风压监测功能。
对客户的实际意义:
控制逻辑按需定制,不是“供应商给什么用什么”,是“你要怎么控就怎么编”
系统无缝集成,不是“还得另配对接方案”,是“主流协议全支持”
管理一套搞定,不是“一台一台操作”,是“几万台全管完”
行业常态:多数FFU厂家只提供标准品,空间不够让客户改厂房、粉尘大让客户加防护、有振动让客户自己隔振。
艾立工业的不同:基于自研电机、自研控制系统、全产业链制造三大底层能力,可针对不同工况深度适配。仅举部分定制方向:
空间定制:70mm超薄EFU,直接装入半导体设备100-120mm夹层,无需设计
恶劣环境定制:防护款FFU,密封结构杜绝锂电导电粉尘侵入
此外,风速、尺寸、过滤等级、箱体材质、控制方式等均可按需配置。
对客户的实际意义:
不用为设备改厂房,不是“装不下凑合用”,是“按你的空间设计”
不用为环境换设备,不是“坏了再买一台”,是“按工况定制,按场景验证”
非标不加价,不是“定制就翻倍”,是“自研自产,成本可控”
行业常态:洁净室建设面临供应商分散——FFU找一家、过滤器找一家、风淋室再找一家,规格不统一、交期不同步、售后无统筹。
艾立工业的不同:产品线覆盖初、中、高效/超高效空气过滤器,FFU、EFU、BFU、高效送风口、风淋室、传递窗、洁净工作台、称量室、采样车、洁净屏、净化板、不锈钢制品等全系列。
对客户的实际意义:
一次对接,不是“面对七八个供应商”,是“一个窗口全解决”
统一标准,不是“各家电控各不同”,是“全线规格一致”
同步交付,不是“等了这个等那个”,是“一起到位、统筹售后”
艾立工业提供多种类型FFU,可按维护方式、功能特性、应用场景及尺寸规格进行分类选型,同时支持非标定制。
维护人员无需攀爬,在地面即可完成滤网更换,有效降低登高作业风险。
采用底部更换滤网设计,单台滤网更换耗时较短,适用于层高不低于2.4m的洁净室。风量范围900-1500m³/h,运行噪音≤58dB,箱体材质可选304不锈钢、镀铝锌板、铝板、烤漆钢板等不同的材质。
维护人员从吊顶上方技术夹层进行操作,不占用洁净室内部作业空间。
采用顶部更换滤网方式,这是传统FFU的标准维护方式,适用于吊顶上方有足够维护空间的洁净室,适合常规洁净室吊顶安装场景。
适配EFEM、Load Port等半导体微环境,满足层高受限空间的洁净需求。
专为半导体制造设备及紧凑型空间研发,风机主体厚度压缩至70mm。采用自研直流电机与高精度动平衡铝合金风轮。可选配PTFE无硼超细滤网。控制接口支持RS485/Modbus协议,箱体材质可选轻量化铝合金或不锈钢。
搭载直流无刷电机,可比交流FFU节能30%-50%,支持无级调速与智能群控。
采用直流无刷电机驱动,电能转化效率更高,平均功率约60W-180W。支持0-100%无级调速。运行噪音约52-58分贝,比交流FFU低5-7分贝。支持RS485/Modbus协议接入中央监控系统。
电机与电气系统满足防爆规范要求,专为锂电新能源等易燃易爆环境设计。
针对锂电池产线的实际工艺段和防爆分区,进行设备材质、电机选型与电气设计的针对性优化。采用防爆电机与防静电箱体材质,满足相关防爆规范要求。曾为锂电池新建产线加急定制,5天内完成生产、配送与现场调试。
防静电FFU集成静电消除装置实时中和气流电荷,避免静电放电对精密电子产品的损害。
针对半导体与电子制造特性,箱体材质及滤网均可提供防静电处理选项。通过集成静电消除装置,电离空气产生正负离子,有效中和气流中的静电荷。可选防静电复合涂层,表面电阻稳定,粉尘吸附量可有效降低。
艾立工业不锈钢FFU全不锈钢箱体耐腐蚀且不易滋生微生物,适用于医药、食品等卫生要求较高的场景。
箱体采用SUS304或SUS316L不锈钢制造,具有较强的耐腐蚀和抗氧化能力。适用于食品工业、生物医药、腐蚀性气体环境等对卫生要求较高的场景。表面经精细化抛光处理,便于清洁和消毒,结构设计减少缝隙与死角。
艾立工业大风量FFU风速可定制至2m/s以上,满足精密涂布、干燥固化等对大风量送风的工艺要求。
适用于对送风量有较高要求的工艺场景,如精密涂布、干燥固化等需要较强气流携带热量的工序。电机功率和风机选型按高风量需求重新匹配,确保大风量下仍保持较低噪音和稳定运行。
专为松下、ASM、富士等主流贴片机定制,机身高度可定制。
可直接无缝嵌装在贴片机顶部安全罩上,无需对进行改造。可选除静电款,带屏幕款等。除松下外,也可适配ASM、富士、雅马哈等品牌机型。
专为EFEM、Load Port、Sorter、Stocker、OHT及半导体清洗设备配套,支持与设备PLC联动控制。
对气流均匀性、无振动及长期连续运行有较高要求,适配各类半导体设备通讯协议。典型应用场景包括EFEM设备前端模块、晶圆传送盒接口、晶圆分选机、晶圆仓储系统、OHT天车内部微环境及半导体清洗设备等。
适用于TFT-LCD、AMOLED等面板产线,满足Array、Cell、Module工序对洁净度的差异化需求。
面板制造中,微小灰尘或纤维均可导致亮点、暗点、坏点等缺陷。艾立工业FFU可形成稳定的垂直层流送风,风速稳定在0.45m/s,确保粒子沉降效率较优。针对AMC气态分子污染物,可搭配化学过滤器去除酸碱及有机物。洁净度可满足LCD生产ISO 4-5级、OLED生产ISO 3-4级的要求。
艾立工业锂电行业专用FFU适用于极片涂布、电芯卷绕、电解液注液等工艺环节,从容应对高粉尘环境。
锂电池生产中,金属碎屑及导电性粉尘直接影响电池性能与安全性。艾立工业防护款FFU单元配HEPA或ULPA过滤器,高效拦截粉尘及纤维污染物。注液区可选用防爆FFU,杜绝静电火花风险,确保生产安全。
艾立工业FFU广泛应用于对空气洁净度有严格要求的各大前沿领域:
半导体制造:晶圆光刻、刻蚀、薄膜沉积、封装测试、第三代清洗机、EFEM设备前端模块、Load Port晶圆传送盒接口。需超低振动、超低释气ULPA滤材,保障纳米级制程精度。
面板显示制造:TFT-LCD阵列基板制程(薄膜沉积、光刻、刻蚀)、彩膜制备、成盒工序(取向层涂覆、摩擦定向、液晶注入)、OLED蒸镀、模组组装。艾立工业针对OLED、LCD贴合、检测等工位优化出风气流形态,减少面板生产瑕疵。
光伏制造:硅片清洗、扩散制绒、PECVD镀膜、丝网印刷等工序,需严格控制微尘与气态分子污染物,保障电池片转换效率。
生物医药:GMP无菌车间、疫苗灌装线、冻干制剂生产、无菌制剂灌装。需持续稳定的高洁净度环境,保障药品安全。
医疗设施:百级洁净手术室、干细胞实验室、ICU病房。需低噪音、低振动运行,保障患者安全与医护人员操作舒适度。
锂电新能源:极片涂布、电芯卷绕、电解液注液区。可选防护款FFU(防导电粉尘侵入)、防爆FFU(杜绝静电火花风险),保障电池性能与生产安全。
精密制造:航天部件装配、OLED面板检测、SMT贴片线、精密模具加工。需微振动控制与稳定洁净环境,保障产品精度。
精密光学镀膜:光学镜片、滤光片等镀膜工艺,0.3微米微粒即可导致膜层缺陷,需超净环境保障镀膜质量。
医疗器械制造:无菌医疗器械生产、植入物加工、检测包装等环节,需持续稳定的高洁净度环境,保障产品安全。
体外诊断试剂生产:诊断试剂灌装线对微生物控制要求极为严格,关乎医疗安全与检测准确性。
数据中心:服务器机房、存储设备对粉尘敏感,细微颗粒物易附着硬件表面影响散热与运行稳定性,需低噪音、低振动FFU保障设备长期可靠运行。
食品工业:高洁净度包装车间、乳制品/饮料灌装线、发酵环境微生物控制,需耐腐蚀易清洁的不锈钢FFU保障食品安全。
精细化工:高纯度化学品生产、精密配料、产品包装等环节,需控制颗粒物与化学气态污染物,保障产品纯度与一致性。
高校与科研实验室:微生物检测、精密仪器操作、样品前处理等实验环境,需局部高洁净度保障实验数据准确性与可重复性。
Q:艾立FFU支持哪些过滤器等级?
A:可选用HEPA H13/H14,或ULPA U15~U17。材质有玻璃纤维和PTFE可选。
Q:能否定制非标尺寸或特殊功能?
A:可以。接受高度、长度、宽度非标定制,也可提供防爆、防静电、超薄、不锈钢等特殊型号。
Q:过滤器更换方式有哪些?
A:支持顶部更换、底部更换(下更换式)、侧面更换等多种方式,客户可根据现场安装条件选择。
Q:相比传统AC风机,EC方案的节能效果如何?
A:在实际项目对比中,EC电机配合智能调速可降低约35%~40%的能耗。长期运行下电费节省较明显。
Q:噪音指标是多少?
A:多数型号在57dB以内,静音款在48dB(测点位于过滤器下方1.2米处)。
Q:交货周期大概多长?
A:由于核心部件自主生产,常规型号交期较短,具体可咨询销售确认。
艾立工业每年可供应约50万台FFU,已服务全球超过2000家客户。产品在批量生产前需通过研发实验室的多项测试,每台成品经过多次性能检测后方可出厂。