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ISO洁净度等级与十级、百级、千级、万级对照表

ISO Class 1-9洁净度等级、粒子浓度及传统洁净室等级对应关系

了解ISO 14644-1洁净度等级标准,快速查询十级、百级、千级、万级、十万级与ISO Class之间的常用对应关系,为洁净室设计、FFU、EFU、HEPA、ULPA等洁净空气设备选型提供参考。

PTFE-HEPA-ULPAgaoxiaoguolvqi-ailigongye

洁净度等级是什么意思?


洁净度等级用于描述洁净室或洁净区域空气中悬浮粒子的浓度水平。

目前洁净室工程中常见两套表达方式:

ISO Class等级
按照ISO 14644-1等标准体系,以规定粒径范围内的空气悬浮粒子浓度作为洁净度分类依据。

传统“十级、百级、千级、万级、十万级”叫法
过去工程和行业交流中经常使用的洁净室等级表达方式。

两套叫法在工程实践中经常被放在一起进行对照,但需要注意:

传统“十级、百级、千级、万级”等叫法与ISO Class并不是两套完全相同的标准术语。实际项目应以适用标准和检测结果确定洁净度等级。

ISO 14644-1:2015规定了按照空气中悬浮粒子浓度进行洁净度分类的方法,并对不同粒径的粒子浓度设置相应限值。

洁净度等级快速查询

十级、百级、千级、万级、十万级对应ISO几级?


传统洁净度叫法常用ISO对应等级≥0.5 μm粒子浓度限值快速理解
十级ISO Class 4352个/m³较高洁净度要求
百级ISO Class 53,520个/m³高洁净度环境
千级ISO Class 635,200个/m³洁净生产环境
万级ISO Class 7352,000个/m³常见工业洁净环境
十万级ISO Class 83,520,000个/m³一般洁净生产环境
快速记忆

十级 → ISO Class 4——百级 → ISO Class 5——千级 → ISO Class 6——万级 → ISO Class 7——十万级 → ISO Class 8

需要特别注意:
三十万级不能简单对应某一个ISO Class。
ISO 14644-1采用ISO Class 1至ISO Class 9进行分类,并不是按照传统“十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级”的方式设置。

ISO Class 1-9完整洁净度等级表

ISO 14644-1洁净度等级粒子浓度对照表


ISO 14644-1:2015按照空气中大于或等于指定粒径的悬浮粒子浓度进行分类。单位:particles/m³,即每立方米空气中的粒子数量。

ISO等级传统常用叫法≥0.1 μm≥0.2 μm≥0.3 μm≥0.5 μm≥1.0 μm≥5.0 μm
ISO Class 1102
ISO Class 210024104
ISO Class 31,000237102358
ISO Class 4十级10,0002,3701,02035283
ISO Class 5百级100,00023,70010,2003,52083229
ISO Class 6千级1,000,000237,000102,00035,2008,320293
ISO Class 7万级352,00083,2002,930
ISO Class 8十万级3,520,000832,00029,300
ISO Class 935,200,0008,320,000293,000
particles/m³,即每立方米空气中的粒子数量。
以上粒子浓度数据对应ISO 14644-1:2015的洁净度分类表。ISO官方说明,该标准采用空气悬浮粒子浓度进行分类,并考虑0.1 μm至5 μm范围内的规定粒径。
表格说明:
“—”表示该粒径在对应ISO等级下没有适用于该分类的浓度限值,并不代表空气中不存在这种粒子。
ISO标准中的浓度为累计浓度,例如ISO Class 5在0.3 μm处的10,200个/m³,是指大于或等于0.3 μm的粒子数量。

ISO Class 1-9怎么理解?

ISO Class数字越小,洁净度要求越高


ISO洁净度等级从Class 1到Class 9。

一般来说:

ISO Class 1 → ISO Class 2 → ISO Class 3代表越来越严格的空气洁净度要求。


而:

ISO Class 7 → ISO Class 8 → ISO Class 9则对应相对宽松的洁净度分类。


可以简单理解为:

ISO Class数字越小,允许的空气悬浮粒子浓度越低,洁净度要求越高。


例如:

ISO Class 5在≥0.5 μm粒径下的最大允许浓度为3,520个/m³,而ISO Class 7对应值为352,000个/m³。


因此,ISO Class 5的洁净度要求高于ISO Class 7

十级洁净室|ISO Class 4

十级洁净室对应ISO Class 4


传统行业中的“十级洁净室”通常与ISO Class 4进行对应。ISO Class 4主要控制空气中的细小悬浮粒子浓度,其中:


≥0.1 μm:10,000个/m³

≥0.2 μm:2,370个/m³

≥0.3 μm:1,020个/m³

≥0.5 μm:352个/m³

≥1.0 μm:83个/m³


常见应用


十级洁净环境可用于对空气颗粒物控制要求较高的生产和局部洁净区域,例如:


半导体制造

精密电子

光学制造

精密仪器

高洁净度设备内部

局部关键工艺区域


十级洁净室需要什么净化设备?


这类洁净环境通常需要综合考虑:


FFU数量

HEPA或ULPA过滤器

送风量

气流组织

回风系统

房间密封

人员活动

设备产尘


对于局部设备洁净区域,还可能使用EFU等设备级空气净化单元。

百级洁净室|ISO Class 5

百级洁净室对应ISO Class 5


传统行业中常说的“百级洁净室”,通常与ISO Class 5进行对应。


ISO Class 5主要粒子浓度限值包括:


≥0.1 μm:100,000个/m³

≥0.2 μm:23,700个/m³

≥0.3 μm:10,200个/m³

≥0.5 μm:3,520个/m³

≥1.0 μm:832个/m³

≥5.0 μm:29个/m³


常见应用

半导体生产、电子制造

精密装配、医药生产

实验室、光学制造

精密设备、洁净操作区域

百级洁净室常用设备


根据具体系统设计,可以采用:

FFU

HEPA过滤器

ULPA过滤器

EFU

洁净工作台

洁净棚

洁净空调系统


需要强调:

百级洁净室对应ISO Class 5,并不意味着只要安装H14过滤器就一定可以达到ISO Class 5。


最终洁净度还与送风量、换气次数、气流组织、房间密封、设备产尘和人员活动等因素有关。

千级洁净室|ISO Class 6

千级洁净室对应ISO Class 6


传统“千级洁净室”通常与ISO Class 6对应。


ISO Class 6的主要粒子浓度限值包括:


≥0.1 μm:1,000,000个/m³

≥0.2 μm:237,000个/m³

≥0.3 μm:102,000个/m³

≥0.5 μm:35,200个/m³

≥1.0 μm:8,320个/m³

≥5.0 μm:293个/m³


常见应用

电子制造、精密制造、实验室、光学制造

精密装配、部分医药生产区域

工业洁净生产、千级洁净环境设备


常见设备包括:


FFU + HEPA过滤器


也可以根据空间和设备要求配置:


EFU + HEPA/ULPA


实际配置需要根据房间面积、目标风量、设备布局及气流组织进行设计。

万级洁净室|ISO Class 7

万级洁净室对应ISO Class 7


传统“万级洁净室”通常与ISO Class 7对应。


ISO Class 7主要控制:


≥0.5 μm:352,000个/m³

≥1.0 μm:83,200个/m³

≥5.0 μm:2,930个/m³


常见应用

医药生产、电子制造、食品生产、化妆品

精密制造、实验室、工业洁净生产


万级洁净室常见配置

根据项目设计,可以采用:

FFU

HEPA过滤器

洁净空调系统

新风系统

回风系统

洁净棚

局部净化设备

十万级洁净室|ISO Class 8

十万级洁净室对应ISO Class 8


传统“十万级洁净室”通常与ISO Class 8对应。


ISO Class 8主要粒子浓度限值包括:


≥0.5 μm:3,520,000个/m³

≥1.0 μm:832,000个/m³

≥5.0 μm:29,300个/m³


常见应用

一般洁净生产

电子制造

食品加工

化妆品

包装

医药相关生产区域

工业洁净环境


具体应用等级仍需要依据产品工艺、污染控制要求及适用标准确定。

三十万级对应ISO几级?

三十万级洁净室没有直接的ISO Class对应等级


这是用户经常搜索的一个问题。


传统洁净室工程中存在“十万级、三十万级”等叫法,但ISO 14644-1采用ISO Class 1至ISO Class 9的分类体系。


因此:


三十万级不能简单等同于某一个ISO Class。


在实际项目中,如果需要按照ISO 14644-1进行洁净度分类,应根据规定粒径的实际粒子浓度进行检测和判定,而不是通过“十万级/三十万级”名称直接换算。

传统洁净度等级对照表

十级、百级、千级、万级、十万级怎么换算?

传统洁净度叫法常用ISO对应等级≥0.5 μm最大允许浓度
十级ISO Class 4352个/m³
百级ISO Class 53,520个/m³
千级ISO Class 635,200个/m³
万级ISO Class 7352,000个/m³
十万级ISO Class 83,520,000个/m³
三十万级无直接ISO对应

ISO洁净度等级的典型应用

ISO Class 1-9常见应用场景

ISO等级常用传统叫法典型应用方向
ISO Class 1-3无常用传统对应高洁净度精密制造、关键工艺、局部洁净区域
ISO Class 4十级半导体、精密电子、光学、关键工艺
ISO Class 5百级半导体、电子、医药、实验室、精密装配
ISO Class 6千级精密制造、电子、实验室、光学
ISO Class 7万级医药、电子、食品、化妆品、工业洁净生产
ISO Class 8十万级一般洁净生产、电子、食品、包装
ISO Class 9一般受控环境及洁净度要求相对较低的区域
注意:
洁净度等级与具体行业并不是一一对应的关系。
同一个行业可能存在不同ISO等级的生产区域;同一个ISO等级也可能应用于不同产业。
最终等级需要结合:
产品工艺 + 污染控制要求 + 人员数量 + 设备产尘 + 空间布局 + 气流组织 + 适用标准
综合确定。

达到ISO洁净度等级需要考虑什么?

洁净室不是只看过滤器

这是洁净室设计中非常重要的一点。

影响最终洁净度的主要因素

因素对洁净度的影响
HEPA / ULPA过滤器控制送入洁净区域的颗粒物
FFU风量影响洁净区域空气循环和稀释能力
换气次数影响污染物排出和空气更新
气流组织影响颗粒物扩散和排除
房间密封减少外部污染空气进入
人员活动人员是洁净室重要颗粒污染来源
设备产尘工艺设备可能产生颗粒污染
回风系统影响空气循环和污染物排出
压差控制控制不同区域之间的空气流向
运行管理影响长期洁净度稳定性
重点理解

过滤器效率 ≠ 洁净室最终ISO等级。
H13、H14、U15、U16、U17属于过滤器效率等级概念。
ISO Class 1-9属于洁净室或洁净区域空气洁净度分类概念。
两者相关,但不能直接画等号。

ISO洁净度等级与HEPA / ULPA的关系

不同洁净度要求如何选择过滤器?

HEPAULPA是洁净空气系统的重要组成部分,但过滤器等级需要根据具体系统进行选择

目标环境常见过滤器方向常见洁净设备
ISO Class 1-3ULPA等高效过滤方案ULPA FFU、EFU、局部净化设备
ISO Class 4-5HEPA / ULPAFFU、EFU、洁净设备
ISO Class 6HEPAFFU、洁净空调、EFU
ISO Class 7HEPAFFU、洁净空调
ISO Class 8HEPAFFU、洁净空调
ISO Class 9根据实际需求配置空气过滤及HVAC系统
设备产尘工艺设备可能产生颗粒污染
回风系统影响空气循环和污染物排出
压差控制控制不同区域之间的空气流向
运行管理影响长期洁净度稳定性
为什么不能直接按照ISO等级选择过滤器?
因为最终洁净度受到整个空气系统影响。
例如一个ISO Class 5项目,除了过滤器之外,还需要考虑:
FFU数量、风量、风速、换气次数、气流组织
房间高度、回风方式、设备布局、人员数量、工艺产尘

因此,正确的方式是:
先确定目标洁净度 → 再确定空气处理方式 → 再进行过滤器和FFU/EFU选型。

FFU、EFU与洁净度等级

洁净室和设备内部的净化方式有什么区别?

FFU:面向洁净室空间


FFU,即Fan Filter Unit,通常将风机与HEPA/ULPA过滤器集成在一起,通过顶部送风等方式为洁净室提供过滤后的空气。


适用于:


半导体洁净室

电子制造

医药

实验室

精密制造

光学

锂电池洁净生产


EFU:面向设备内部或局部区域


EFU,即Equipment Fan Filter Unit,主要用于设备内部或局部洁净区域。


与普通洁净室相比,EFU往往更加关注:


安装高度

设备内部空间

风量

风速

过滤器尺寸

风机结构

控制方式

设备接口


因此,半导体设备等空间受限的应用中,EFU往往需要进行针对性设计。

艾立工业与洁净度等级相关的产品

根据不同洁净度要求配置洁净空气设备

艾立工业围绕洁净空气处理提供多种产品,包括:

产品主要作用
FFU为洁净室提供过滤后的循环送风
EFU为设备内部及局部洁净区域提供过滤空气
BFU用于洁净空气送风及局部净化
HEPA过滤器高效过滤空气中的细小颗粒物
ULPA过滤器用于更高过滤效率要求的空气过滤
AC / EC / DC风机为洁净空气设备提供空气动力
FFU群控系统对FFU运行状态及风量进行集中控制
洁净工作台为局部操作区域提供洁净空气
洁净棚构建局部洁净空间
风淋室人员或物料进入洁净区域前的辅助净化设备

艾立工业洁净空气设备解决方案

从风机、电机到过滤器和控制系统的配套能力

洁净度等级确定以后,真正的工程实施还需要进一步解决:

空气从哪里来?

经过什么过滤?

以多大风量送入?

如何形成稳定气流?

如何进行运行控制?

这也是洁净空气设备选型需要综合考虑的部分。

艾立工业长期从事净化设备及洁净空气产品研发与制造,具备约30,000㎡生产基地,并围绕风机、电机、控制系统、钣金结构、过滤器及整机设备形成多环节配套生产能力。


艾立工业产品链


AC / EC / DC风机 → 控制系统 → 钣金结构 → HEPA / ULPA过滤器 → FFU / EFU / BFU → 洁净空气解决方案

其中,风机、电机和控制系统可根据FFU、EFU等设备的实际运行需求进行匹配。

对于不同洁净等级和应用场景,艾立工业可以根据:

ISO目标洁净度

房间面积

层高

目标风量

过滤器等级

过滤器尺寸

FFU数量

EFU安装空间

控制方式

行业工艺要求

进行洁净空气设备的配置和选型建议。

不同应用行业的洁净空气设备

服务多种洁净生产与空气处理应用

艾立工业围绕洁净空气处理提供多种产品,包括:

半导体电子制造锂电池光伏
晶圆制造电子装配电芯生产光伏组件
半导体设备SMT电池设备精密制造
医药生物医药实验室光学
医药生产生物制药相关环境洁净实验室光学元件
洁净生产实验及研发检测区域精密装配
显示面板精密制造化妆品食品
面板制造精密零部件洁净生产食品洁净生产
显示设备精密装配包装及灌装包装及加工

洁净度等级选择思路

如何确定自己的洁净室需要达到什么等级?

不要简单按照“同行业一般使用什么等级”进行选择。

建议按照以下顺序确定:

第一步:明确产品工艺

判断生产过程中是否容易受到颗粒污染影响。

第二步:明确污染控制要求

确定产品允许的颗粒污染水平以及关键控制粒径。

第三步:确定洁净区域

不是所有区域都必须采用相同洁净度。

可以根据生产流程划分:

一般区域 → 洁净区域 → 高洁净区域 → 局部关键工艺区域

第四步:确定ISO洁净度等级

根据实际检测要求和适用标准确定目标ISO Class。

第五步:确定空气净化设备

根据空间和洁净度要求选择:

FFU / EFU / BFU / HEPA / ULPA / 洁净空调 / 新风系统等。

第六步:进行系统匹配

最后综合:

风量 + 风压 + 过滤器阻力 + 气流组织 + 回风方式 + 控制系统

确定最终方案。

相关产品推荐

根据洁净度等级选择合适的洁净空气设备

FFU空气净化单元

适用于洁净室循环送风,可配置HEPA或ULPA过滤器,并根据项目风量和控制要求进行选型。

了解FFU →

EFU设备风机过滤单元

适用于半导体设备、电子设备及其他需要局部洁净空气的设备内部空间。

了解EFU →

HEPA高效过滤器

用于洁净空气系统中的高效颗粒物过滤,可根据H13、H14及结构形式进行选择。

了解HEPA过滤器 →

ULPA超高效过滤器

适用于对空气颗粒物控制要求较高的洁净空气环境,可根据U15、U16、U17等等级及实际系统要求进行选择。

了解ULPA过滤器 →

FFU群控系统

用于多台FFU或EFU的集中控制,可根据项目规模和控制要求配置相应方案。

了解FFU群控系统 →

艾立工业洁净空气解决方案

正在规划洁净室或净化设备?

洁净度等级只是洁净室设计的起点。

ISO Class目标确定,到HEPA / ULPA过滤器选择,再到FFU、EFU、风机、控制系统和气流组织,都需要进行系统匹配。

艾立工业可围绕洁净室、设备内部洁净区域及局部净化需求,提供:

FFU + EFU + BFU + HEPA + ULPA + 风机 + 电机 + 控制系统 + 相关净化设备的产品配套与选型支持。

依托风机、电机、控制系统、钣金结构、过滤器及净化设备等多环节生产能力,艾立工业可以根据不同项目的洁净度目标、空间条件和设备要求进行产品配置。

获取洁净设备选型建议 →

了解FFU / EFU方案 →

咨询HEPA / ULPA过滤器 →

关于ISO洁净度等级,您可能还想了解

ISO洁净度等级常见问题

01. 百级洁净室对应ISO几级?

传统行业中的百级洁净室通常对应ISO Class 5。

02. 十级洁净室对应ISO几级?

传统行业中的十级洁净室通常对应ISO Class 4。

03. 千级洁净室对应ISO几级?

传统行业中的千级洁净室通常对应ISO Class 6。

04. 万级洁净室对应ISO几级?

传统行业中的万级洁净室通常对应ISO Class 7。

05. 十万级洁净室对应ISO几级?

传统行业中的十万级洁净室通常对应ISO Class 8。

06.三十万级洁净室对应ISO几级?

三十万级没有一个可以直接等同的ISO Class等级。实际项目应按照适用标准和检测结果确定。

07. ISO Class 5是什么洁净度?

ISO Class 5是较高洁净度等级,传统工程中通常与百级洁净室进行对应。

08. ISO Class 7对应多少级?

ISO Class 7通常与传统万级洁净室进行对应。

09. ISO Class 8对应多少级?

ISO Class 8通常与传统十万级洁净室进行对应

10. ISO Class数字越小越干净吗?

是。ISO Class数字越小,允许的空气悬浮粒子浓度越低,洁净度要求越高。

11.百级和ISO Class 5一样吗?

在常见工程对应关系中,百级通常对应ISO Class 5。但两者来自不同的洁净度表达体系,实际项目应根据适用标准进行确认。

12. 万级和ISO Class 7一样吗?

在常见工程对应关系中,万级通常对应ISO Class 7。ISO Class 7按照空气悬浮粒子浓度进行分类。

13.ISO Class 5需要什么过滤器?

可以根据系统设计选择HEPA或ULPA过滤方案,同时匹配FFU、EFU或其他空气处理设备,并综合考虑风量、阻力和气流组织。

14. H13过滤器对应ISO Class几级?

不能直接对应。H13是过滤器效率等级,ISO Class是洁净室空气洁净度等级,两者不是同一个分类体系。

15. H14过滤器是不是ISO Class 5?

不是。H14是HEPA过滤器效率等级,不能直接等同于ISO Class 5。

16. ULPA过滤器是不是一定用于ISO Class 1?

不是。ULPA可以用于对颗粒控制要求较高的环境,但是否需要ULPA以及最终洁净度等级,需要根据项目进行设计。

17. ISO Class 5洁净室需要HEPA还是ULPA?

需要根据项目目标、风量、过滤效率、气流组织和工艺要求综合判断,不能仅根据ISO等级直接确定。

18. FFU可以用于ISO Class 5洁净室吗?

可以。FFU是洁净室常用的空气净化设备之一,但FFU数量、风量、过滤器等级和布局需要根据项目设计确定。

19. EFU和FFU有什么区别?

FFU主要服务洁净室空间,EFU主要用于设备内部或局部洁净区域。EFU通常对安装尺寸、厚度、风量和设备接口有更具体的要求。

20. 洁净室达到ISO Class 5只需要安装HEPA过滤器吗?

不是。过滤器只是洁净空气系统的一部分,还需要考虑风量、换气次数、气流组织、房间密封、设备产尘、人员活动和运行管理等因素。

21. ISO洁净度等级和HEPA有什么关系?

ISO洁净度等级描述洁净区域空气洁净程度,HEPA描述过滤器的过滤效率等级。HEPA可以作为达到一定洁净度要求的空气系统组成部分,但不能直接与某个ISO Class画等号。

22. 洁净度等级越高,过滤器等级就一定越高吗?

不一定。过滤器等级需要与整个空气系统匹配。过滤效率、风量、阻力、设备能力和实际工艺要求都需要综合考虑。

23. 艾立工业可以根据ISO等级提供FFU和过滤器吗?

可以。艾立工业可根据目标洁净度、空间尺寸、风量、过滤器等级及安装要求,为FFU、EFU、BFU、HEPA、ULPA等产品提供选型及配套建议。

24.十万级和ISO Class 8一样吗?

在常见工程对应关系中,十万级通常对应ISO Class 8。

25.ISO Class 5适合什么行业?

ISO Class 5可用于半导体、电子制造、医药、实验室、光学及精密制造等对空气洁净度有较高要求的环境,具体等级需要根据工艺要求确定。

26.ISO Class 7适合什么行业?

ISO Class 7可应用于医药、电子、食品、化妆品、实验室和工业洁净生产等多种环境,实际应用应根据具体工艺和污染控制要求确定。

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初始阻力是全新V型高效过滤器在额定风量下的压差值,单位为Pa,是选型和运行维护的基础参数。V型过滤器H13等级初阻力通常≤200Pa,H14等级初阻力通常≤250Pa,同等条件下H14阻力略高于H13。初阻力在选型中用于风机压头核算和能耗评估,在运行中作为更换判断的基准——终阻力通常设定为初阻力的2倍。实测初阻力偏高时需核对实际风量是否与额定风量匹配,并检查安装是否规范。初阻力是影响运行成本的重要参数。艾立工业V型高效过滤器低阻力设计,H13初阻力≤200Pa,H14初阻力≤250Pa,每台均经阻力检测并出具检测报告。

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高效过滤器初始阻力是空气通过过滤器时产生的压力损失,通常以Pa表示。**其具体数值与过滤效率、滤料、过滤面积、过滤器结构、尺寸和测试风量等因素有关,因此不能仅根据H13或H14等级判断阻力大小。洁净室、HVAC、FFU、EFU及大风量空气处理项目在选择高效过滤器时,应同时考虑过滤效率、额定风量、初始阻力、安装尺寸和风机条件。艾立工业可根据项目参数,在有隔板HEPA、无隔板HEPA、V型高效过滤器及ULPA超高效过滤器等产品中进行选型配置。

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ISO洁净度等级与洁净空气设备

ISO洁净度等级用于描述洁净室及洁净区域空气中悬浮粒子的浓度水平。传统行业中的十级、百级、千级、万级和十万级洁净室,在工程实践中通常分别与ISO Class 4、ISO Class 5、ISO Class 6、ISO Class 7和ISO Class 8进行对应。

实际洁净室设计不能只依据一个等级名称选择设备,而应根据产品工艺、污染控制要求、房间面积、换气次数、气流组织、人员活动和设备产尘等因素确定。

艾立工业提供FFU、EFU、BFU、HEPA、ULPA、AC/EC/DC风机、控制系统及相关净化设备,可根据不同洁净度等级和应用场景提供相应的产品选型与配套方案。

从洁净度等级确定,到过滤器、FFU、EFU和控制系统配置,艾立工业为洁净空气应用提供多环节产品支持。


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