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Aili Industrial Ultra-thin EFU es una unidad de filtrado de ventilador del lado del equipo para el interior de equipos de producción y áreas limpias locales. Este producto adopta una estructura compacta con una altura de gabinete de 70 mm. Puede combinarse con ventiladores, filtros HEPA o ULPA y sistemas de control según las condiciones de instalación de equipos semiconductores, EFEM, paneles de visualización y equipos electrónicos de precisión.
La estructura ultradelgada facilita la colocación de módulos de suministro de aire limpio encima de los equipos, en entrepisos y otras ubicaciones de altura restringida. La apariencia de la máquina completa, incluido el filtro y el espacio de instalación real, deben confirmarse según la configuración seleccionada, las condiciones de entrada de aire y los requisitos de mantenimiento.
Gabinete | Configuración del filtro HEPA/ULPA | Solución de ventilador AC/EC | Atraque de control de equipos
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La selección de EFU ultradelgada comienza con el espacio disponible para el dispositivo. La altura de la caja de 70 mm es el parámetro estructural de este producto; La evaluación de la instalación también debe tener en cuenta el filtro, la estructura de conexión, el espacio de entrada de aire y la posición del cableado para que la apariencia general de la máquina se adapte a las condiciones reales del equipo.
Confirmar artículos |
Qué se debe comprobar en el lado del dispositivo |
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apariencia general |
Verifique la caja, el filtro y la interfaz de ensamblaje en el mismo tamaño de ensamblaje final y confirme el largo, el ancho, la altura total y las partes sobresalientes. |
Espacio de entrada y suministro de aire. |
Confirme las condiciones de bloqueo cerca de la superficie de entrada de aire, las condiciones de entrada del flujo de aire y las áreas limpias locales que deben cubrirse. |
Métodos de apertura y fijación. |
Verifique las aberturas reservadas, la ubicación de los orificios de instalación, las condiciones de carga, las superficies de sellado y las estructuras fijas del equipo. |
Espacio de cableado y mantenimiento. |
Confirme la ubicación de los conectores de alimentación y comunicación, la dirección de los cables y la dirección de reemplazo del filtro y mantenimiento eléctrico. |
Cuando los planos del equipo están disponibles, se pueden marcar la ubicación de instalación de la EFU, los mecanismos de movimiento circundantes y el espacio disponible para facilitar la evaluación conjunta de la estructura y el plan de suministro de aire.
Los siguientes son los parámetros estructurales y las configuraciones comunicables de esta unidad de filtro de ventilador ultradelgada para el extremo del equipo. Se deben confirmar diferentes configuraciones de ventilador, filtro e interfaz según los planos y condiciones de funcionamiento correspondientes.
Elementos de parámetros |
Métodos de configuración y confirmación del producto. |
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tipo de producto |
Unidad de filtro de ventilador del lado del equipo EFU ultradelgada |
Altura del gabinete |
70mm |
Altura total de la máquina. |
Confirmar combinado con filtro y configuración de montaje específica. |
largo y ancho |
La confirmación basada en modelos estándar o dibujos de equipos respalda la evaluación de estructuras no estándar. |
Solución de ventilador |
Ventilador AC o EC, seleccionado según las condiciones del suministro de aire y los requisitos de control. |
Configuración de filtro |
El filtro HEPA o ULPA, el grado, el material del filtro, el tamaño y el método de sellado se confirman de acuerdo con el plan. |
Opciones de medios filtrantes |
Fibra de vidrio, PTFE, etc., combinados con los requisitos del proceso y la evaluación de la configuración del filtro. |
Volumen de aire, velocidad del viento, presión estática. |
Determinado en función del área efectiva de suministro de aire, la resistencia del filtro, la ruta de aire del equipo y el estado de trabajo. |
método de control |
Ajuste de unidad única, control de grupo o vinculación de dispositivos, configurado según proyecto |
Interfaz y comunicación |
RS485, Modbus u otras interfaces acordadas; PWM y otros parámetros de señal se confirman según el plan de control. |
Caja y estructura de instalación. |
Se pueden comunicar materiales como acero inoxidable, aleación de aluminio o placas de acero recubiertas con aerosol, posiciones de los orificios de instalación, marcos y métodos de mantenimiento. |
Suministro de energía e inspección. |
Los elementos de voltaje, frecuencia, cableado e inspección se confirman de acuerdo con los requisitos específicos del modelo y del proyecto. |
Desempeño como volumen de aire, velocidad del viento, ruido y uniformidad deben corresponder a configuraciones específicas del producto, estado de instalación y condiciones de prueba; el grado del filtro debe verificarse con los requisitos de limpieza del proceso, el sellado y las condiciones reales de operación.
Las siguientes aplicaciones tienen requisitos comunes de aire limpio local en el extremo del equipo y espacio de instalación limitado. Al seleccionar, se deben considerar el área de instalación específica, las condiciones del aire del proceso y las interfaces del equipo antes de determinar la estructura y configuración de la EFU ultradelgada.
Equipo semiconductor EFU ultrafino.Junto con las áreas limpias locales, como la carga y transmisión de obleas, verifique el espacio de instalación, la configuración del filtrado y la uniformidad de la velocidad del viento. |
EFEM EFU ultrafinoSuministre aire alrededor de EFEM y el puerto de carga, y confirme el espacio superior, el área efectiva de suministro de aire y la interfaz del equipo. |
Equipo de panel LCD/OLED EFUCoopere con los equipos de manipulación, laminación y prueba de paneles para verificar el espacio de la campana, la cobertura del flujo de aire y los requisitos de control estático. |
Equipo SMT EFU ultrafinoPara evaluar el suministro de aire limpio de la campana superior de la máquina colocadora se debe proporcionar el modelo de la marca del equipo, el lugar de instalación y el espacio disponible. |
Equipos fotovoltaicos EFUCoopere con el equipo de prueba y transferencia de celdas y haga coincidir la apertura de instalación, el volumen de aire objetivo, la filtración y la dirección de mantenimiento. |
Equipos electrónicos de precisión EFUPara componentes electrónicos, procesamiento de micronano y equipos de ensamblaje de precisión, verifique el control de partículas local y las condiciones estructurales. |
Equipo óptico EFUCoopere con módulos de lentes, ensamblaje de componentes ópticos y equipos de prueba, y preste atención al flujo de aire, la vibración y la altura de instalación. |
EFU ultradelgada para equipos de automatización.Combinado con el rango de movimiento de los equipos de montaje y carga y descarga, comprueba las aberturas compactas, las interfaces de control y la lógica de funcionamiento. |
Para proyectos de equipos semiconductores como fotolitografía, grabado, limpieza y deposición de películas delgadas, los requisitos de EFU deben implementarse en el área de aire limpio local designada y el plan debe confirmarse en función del medio, la presión y las condiciones del sistema de aire del equipo.
Ver soluciones de aire limpio para equipos semiconductores→ Ver FFU y EFU dedicados de SMT →
Proporcionar aire limpio al lado del equipo para equipos semiconductores.
La carga de obleas, el transporte y otras áreas locales designadas de equipos semiconductores tienen diferentes requisitos en cuanto a limpieza del aire, organización del flujo de aire y espacio de instalación. La EFU ultrafina de 70 mm de Aili Industrial se puede configurar según las condiciones de instalación del equipo, el volumen de aire objetivo, la velocidad del viento, el nivel de filtración y el método de control para proporcionar aire limpio filtrado HEPA o ULPA al área correspondiente.
La altura del gabinete de este producto es de 70 mm. La altura total de la máquina completa, incluido el filtro, y la forma de instalación se determinan según la configuración específica. Las siguientes aplicaciones deben seleccionarse según la ubicación de uso, las condiciones del aire y los requisitos de verificación confirmados por el fabricante del equipo.
Equipos frontales de semiconductoresLa EFU ultradelgada de los equipos frontales de semiconductores puede rodear áreas limpias locales, como la carga y transmisión de obleas, coincidiendo con el espacio superior del equipo, la cobertura del suministro de aire, la configuración de filtración y los requisitos de control. Para equipos con altura de instalación limitada, la caja ultradelgada se puede evaluar junto con el ventilador, el filtro y la estructura de instalación. |
Módulo frontal del dispositivo EFEMPara el área de carga y transferencia de obleas dentro de EFEM, se puede configurar EFU ultradelgada de acuerdo con el espacio de instalación superior, el área efectiva de suministro de aire, la uniformidad de la velocidad del aire y los requisitos de conexión del equipo. Los ventiladores, los filtros HEPA o ULPA y las interfaces de control están confirmados con la estructura general y el sistema de aire de EFEM. |
Máquina de limpieza de semiconductoresLa máquina de limpieza de semiconductores EFU se puede configurar de acuerdo con el espacio de instalación, el volumen de aire y los requisitos de filtración de carga, descarga y otras áreas limpias locales designadas. Para equipos que involucran procesos húmedos, la estructura del producto y la ubicación de uso deben confirmarse según las condiciones del aire, la compatibilidad de los materiales y las disposiciones de escape del área de instalación. |
Equipo de litografíaPara la carga de obleas, el transporte u otras áreas limpias locales designadas de equipos relacionados con la litografía, la solución EFU ultradelgada se puede evaluar en función de la altura disponible, el volumen de aire objetivo, el nivel de filtración y los requisitos de vibración del equipo para conectar el módulo de suministro de aire limpio con la estructura de instalación del equipo. |
Equipo de grabadoLas EFU de equipos de grabado se pueden configurar según las necesidades de aire limpio en la parte frontal del equipo u otras áreas designadas. De acuerdo con el volumen de aire objetivo, la resistencia del filtro, la ruta de aire del equipo y el método de control, haga coincidir el ventilador, el filtro y la estructura de la caja, y confirme con el sistema de aire original del equipo. |
Equipos de deposición de película delgada.Para áreas limpias locales, como carga frontal y transferencia de obleas de equipos de deposición de película delgada como PVD, CVD y ALD, la solución de soporte de EFU se puede evaluar en función del espacio del equipo, el rango de suministro de aire y los requisitos de filtración, y la configuración del ventilador, la interfaz de instalación y la dirección de mantenimiento se pueden confirmar conjuntamente. |
Equipo de implantación de iones.Cuando el equipo de implantación de iones tiene requisitos locales de aire limpio, como carga y transmisión frontales, la configuración de EFU ultradelgada se puede evaluar en función del espacio de instalación, el volumen de aire objetivo y la interfaz del equipo. El tamaño del producto, el filtro y el método de control se combinan según las condiciones específicas del equipo. |
equipos cmpPara la carga y descarga de obleas de equipos de pulido mecánico químico CMP y otras áreas limpias locales designadas, se puede diseñar una solución EFU ultradelgada en función de la altura de la instalación, la cobertura del suministro de aire y los requisitos de filtración, y el diseño del módulo se puede confirmar en función de la humedad, los medios y las condiciones de escape del entorno. |
Equipo de procesamiento de obleasEl equipo de procesamiento de obleas EFU puede satisfacer las necesidades locales de aire limpio de transferencia, clasificación y equipos relacionados de obleas. Haga coincidir la configuración del gabinete ultradelgado, el ventilador y el filtro de acuerdo con la apertura de instalación, la velocidad del viento objetivo, la uniformidad y los requisitos de control. |
Equipos de inspección y medición.Para la inspección de semiconductores, medición y equipos de precisión relacionados, se pueden configurar EFU ultradelgadas alrededor de la carga de muestras, el transporte u otras áreas designadas. Al seleccionar, verifique conjuntamente los requisitos de limpieza del aire, el rango de suministro de aire y las condiciones de interfaz de control, vibración y ruido propuestas por el equipo. |
Equipos de embalaje avanzadosLa EFU ultrafina de los equipos de embalaje avanzados se puede orientar a áreas limpias locales, como carga, transporte y montaje de precisión de equipos relacionados. La estructura y la configuración coinciden según la altura de instalación, el nivel de filtración, el volumen de aire objetivo y la dirección de mantenimiento. |
Consulta de selección de EFU de equipos semiconductores.Envíe planos de instalación y requisitos de suministro de aire limpio→ |
Cobertura de aplicaciones de equipos semiconductores
Equipos frontales de semiconductores · EFEM · Máquina de limpieza de semiconductores · Equipos de fotolitografía · Equipos de grabado · Equipos de deposición de película delgada · Equipos de implantación de iones · Equipos CMP · Equipos de procesamiento de obleas · Equipos de inspección y medición · Equipos de embalaje avanzados
Los productos ultrafinos requieren reequipamiento de componentes
La EFU ultradelgada debe tener en cuenta el rendimiento del suministro de aire, la configuración de filtración, la estructura de instalación y el control del equipo en un espacio limitado. Para este producto con una altura de gabinete de 70 mm, la disposición del ventilador y el motor, el conducto de aire del gabinete, la resistencia del filtro, la posición del cableado y la dirección de mantenimiento deben confirmarse según las condiciones del equipo.
Rango de coincidencia de unión de piezas
Ventilador → Motor → Conducto de aire → Filtro → Caja → Control
Cuando cambia la configuración del ventilador, es necesario verificar simultáneamente el funcionamiento del motor, la resistencia del filtro y la ruta del aire de la caja; Cuando se ajusta el tamaño o el nivel del filtro, también es necesario volver a confirmar el espacio general de la máquina y el rendimiento del suministro de aire. La interfaz de control y la ubicación del cableado deben coordinarse con el esquema eléctrico del equipo y considerarse en conjunto durante la etapa de diseño estructural.
Aili Industrial tiene capacidades de fabricación de motores, investigación y desarrollo independientes y producción de ventiladores, desarrollo de software y hardware de sistemas de control, fabricación de filtros, procesamiento de chapa y ensamblaje completo de máquinas. Puede participar en el diseño de EFU ultradelgadas desde la etapa de configuración de los componentes principales y combinar el espacio del equipo, el objetivo de suministro de aire, los requisitos de filtración y las interfaces de control en la misma solución.
Cuando cambian las dimensiones de la instalación o los requisitos de rendimiento, el personal de I+D pertinente puede comprobar conjuntamente el impacto de las modificaciones internamente, reduciendo las traducciones de múltiples requisitos, las confirmaciones separadas y el retrabajo de la interfaz, y brindando soporte para el ajuste del prototipo, la evaluación de costos del proyecto y la posterior coincidencia de lotes.
Es necesario considerar el volumen y la velocidad del aire objetivo junto con el área efectiva de suministro de aire, la resistencia del filtro y la ruta de aire interna del equipo. Aili Industrial puede verificar el punto de trabajo del ventilador, la ruta de aire de la caja y el plan de ajuste de velocidad en función de estas condiciones, y verificar el rendimiento del suministro de aire de acuerdo con las condiciones de trabajo acordadas.
El grado, el espesor, el área, la resistencia y la forma de sellado del filtro HEPA de alta eficiencia o del filtro ULPA de ultra alta eficiencia afectarán la configuración general de la máquina. Al reemplazar el grado de filtración o el material del filtro, es necesario volver a verificar la potencia, la apariencia y el espacio de mantenimiento.
Comunique arranque-parada, ajuste de velocidad, retroalimentación de estado y vinculación de equipos de acuerdo con los requisitos del cliente. Cuando se trata de comunicación RS485, protocolo Modbus o regulación de velocidad PWM, confirmen conjuntamente la definición del cableado, los parámetros de la señal, el protocolo y la lógica operativa, y consideren juntos el diseño de la interfaz y el espacio de instalación limitado.
Entrada de aire → accionamiento del ventilador → filtración HEPA o ULPA → suministro de aire limpio en áreas designadas
Conozca el alcance de desarrollo no estándar de EFU más completo →
Aili Industrial tiene una base de fabricación de 30.000 metros cuadrados, y su sistema de fabricación e I+D cubre motores, ventiladores, software y hardware de sistemas de control, filtros de aire, procesamiento de chapa y ensamblaje completo de máquinas. Los componentes principales se desarrollan y producen internamente, lo que permite a los ingenieros pertinentes ajustarse conjuntamente a los requisitos de espacio, suministro de aire y interfaz de la estructura ultradelgada.
Estructura compacta y componentes centrales codiseñadosVerifique el diseño del motor y el ventilador, la configuración del filtro, el conducto de aire de la caja y la interfaz de instalación en el mismo plano para conectar la selección de componentes con la estructura general de la máquina. |
El software y el hardware de control trabajan juntos internamenteEl personal de control y de investigación y desarrollo de equipos confirma conjuntamente señales, comunicaciones, regulación de velocidad y retroalimentación de estado para satisfacer el esquema eléctrico y las necesidades de depuración de los equipos del cliente. |
La colaboración interna respalda las respuestas de desarrolloSe pueden conectar directamente dibujos, configuraciones de componentes y cambios de prototipos. Cuando los requisitos de espacio o rendimiento cambian, el personal relevante verifica conjuntamente el impacto, lo que reduce la necesidad de traducir los requisitos y confirmarlos por separado. |
Configuración del rendimiento y planificación de costes del proyecto.Organice configuraciones basadas en el rendimiento objetivo, la tecnología de chapa metálica, el ensamblaje del procesamiento y las condiciones de mantenimiento para reducir las opciones innecesarias, el retrabajo de la interfaz y las modificaciones repetidas, y respalde la evaluación de costos para prototipos y kits por lotes. |
Los dibujos, la lista de piezas, las interfaces y los requisitos de inspección confirmados en la etapa de prototipo se pueden conectar a la producción posterior. Los elementos de verificación como el tamaño, el volumen y la velocidad del aire, el ruido de funcionamiento y las funciones de control se determinan conjuntamente en función de la configuración específica y las condiciones de trabajo acordadas.
Conozca más sobre las capacidades de fabricación e I+D de Aili Industrial→
Los 70 mm de este producto en esta página se refieren a la altura del gabinete. La altura total y la forma de instalación de toda la máquina, incluido el filtro, deben confirmarse según el filtro, el método de conexión y la configuración de ensamblaje específica.
Primero es necesario comprobar el aspecto completo del conjunto. La instalación real también debe considerar filtros, espacios de entrada de aire, conectores eléctricos, estructuras fijas e instrucciones de mantenimiento. Proporcionar secciones transversales del equipo ayudará a determinar si es adecuado.
Las EFU ultradelgadas resuelven principalmente el problema de la altura limitada, mientras que las EFU de tamaño pequeño se centran principalmente en la longitud y el ancho de la abertura o el rango de suministro de aire local. Cuando el equipo tiene múltiples limitaciones de espacio al mismo tiempo, las configuraciones de caja, filtro y ventilador se pueden evaluar juntas.
Es necesario verificarlo según el área efectiva de suministro de aire, la resistencia del filtro y la ruta de aire interna del equipo. Una vez que los parámetros objetivo y las condiciones de prueba están claros, la potencia, la estructura y la configuración del filtro se evalúan y confirman conjuntamente mediante prototipos o pruebas correspondientes.
Las opciones HEPA o ULPA se pueden evaluar según las necesidades del proyecto. El nivel de filtración, el espesor, el área, el sellado y la resistencia operativa deben confirmarse juntos. Después de cambiar la configuración de filtración, también se deben verificar simultáneamente el tamaño general de la máquina y el rendimiento del suministro de aire.
Los ventiladores EC y las soluciones de control correspondientes se pueden seleccionar según el proyecto. Antes de conectarse al PLC, debe confirmar la fuente de alimentación, el arranque y la parada, la regulación de velocidad, la retroalimentación de estado y los requisitos de comunicación. Las funciones e interfaces específicas están sujetas al plan confirmado.
Primero se puede proporcionar la abertura de instalación original, la altura disponible, el método de fijación, la dirección del suministro de aire y la interfaz eléctrica. Aili Industrial evalúa el alcance de la adaptación y modificación en función de la estructura existente, conducto de aire y condiciones de mantenimiento.
Se recomienda proporcionar el uso del equipo, planos de instalación, espacio total disponible, volumen o velocidad de aire objetivo, requisitos de filtración, interfaz de control de suministro de energía y cantidad estimada de prototipo o lote. Si ya existen requisitos de uniformidad, ruido, vibración y aceptación, también se pueden presentar juntos.
Ver series EFU y puntos de selección →
Necesidades adicionales de equipamiento |
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La longitud y el ancho de la apertura son compactos o suministro de aire local a pequeña escala. |
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Comprender las configuraciones de control y alimentación de CC |
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Al mismo tiempo, implica el desarrollo de múltiples estructuras e interfaces no estándar. |
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Verifique el grado del filtro y la coincidencia de instalación |
Si está buscando fabricantes de EFU ultradelgados para semiconductores, EFEM, paneles, SMT u otros equipos de precisión, puede proporcionar planos de instalación y requisitos de suministro de aire limpio a Aili Industrial.
Dé prioridad a la apertura del equipo, la altura total disponible, las condiciones de entrada de aire, el volumen o velocidad del aire objetivo, los requisitos de filtración y la interfaz de control. Aili Industry puede organizar a ingenieros relevantes para verificar conjuntamente la caja ultradelgada, el filtro, las soluciones de energía y control, y comunicarse sobre la verificación de prototipos y los acuerdos de coincidencia de lotes.
Enviar dibujos → evaluación conjunta → confirmación del prototipo → coincidencia de lotes
Enviar plano de instalación→ Consultar volumen de aire y configuración de filtración → Comunicar prototipos y emparejar lotes →
Aili Industrial ofrece I+D, fabricación y soporte de proyectos de suministro de aire limpio para fabricantes de equipos, desde componentes centrales hasta máquinas completas EFU ultrafinas.
