| Số lượng: | |
|---|---|
Thiết bị bán dẫn, thiết bị điện tử chính xác và các thiết bị sản xuất cao cấp khác yêu cầu tích hợp hệ thống cơ, điện, xử lý và không khí sạch trong một không gian kết cấu hạn chế.
Kích thước và cấu trúc lắp đặt của thiết bị lọc không khí truyền thống có thể bị giới hạn bởi không gian bên trong của thiết bị.
EFU siêu mỏng 70mm của Aili Industrial được thiết kế siêu mỏng cho tình huống ứng dụng này. Cấu trúc quạt siêu mỏng giúp giảm không gian chiếm dụng của mô-đun lọc không khí ở phía thiết bị và kích thước sản phẩm, thể tích không khí, bộ lọc và phương pháp điều khiển phù hợp theo điều kiện lắp đặt thiết bị.
Thích hợp cho thiết bị bán dẫn, EFEM, thiết bị điện tử chính xác, thiết bị quang điện tử và các ứng dụng khác yêu cầu không khí sạch ở đầu thiết bị.
EFU, bộ lọc quạt cuối thiết bị , là thiết bị lọc không khí cho môi trường sạch cục bộ bên trong thiết bị sản xuất hoặc ở đầu thiết bị.
Không giống như FFU chủ yếu được lắp đặt trên trần phòng sạch, EFU chú ý hơn đến:
Không gian lắp đặt thiết bị bên trong
khu vực sạch sẽ tại địa phương
Tích hợp cấu trúc thiết bị
Cung cấp không khí phía thiết bị
Phù hợp với lượng không khí và tốc độ gió
kháng lọc
giao diện hệ thống điều khiển
Hợp tác với cấu trúc tổng thể của thiết bị
Do đó, EFU không chỉ đơn giản là giảm FFU thông thường mà cần được kết cấu thiết bị, không gian lắp đặt và yêu cầu xử lý không khí .thiết kế dựa trên
EFU siêu mỏng 70mm của Aili Industrial sử dụng cấu trúc hộp siêu mỏng 70mm。
Cấu trúc quạt 70mm kết hợp với mô-đun bộ lọc HEPA/ULPA có thể tạo thành độ dày làm việc tổng thể điển hình khoảng 100mm.
Cấu trúc này đặc biệt phù hợp với: không gian nhỏ bên trong thiết bị → mặt trên của thiết bị → vách bên của thiết bị → khu vực sạch cục bộ
Áp dụng giải pháp quạt phù hợp với cấu trúc siêu mỏng.
Hỗ trợ: Quạt AC/quạt EC
Đối với các dự án yêu cầu điều khiển tốc độ thay đổi, điều khiển truyền thông hoặc tích hợp hệ thống thiết bị, giải pháp quạt EC có thể được cấu hình theo yêu cầu.
Theo yêu cầu về độ sạch của dự án, nó có thể được cấu hình:
HEPA/ULPA
Mức độ lọc có thể được lựa chọn theo kế hoạch sản phẩm cụ thể.
Hộp không chỉ có nhiệm vụ lắp đặt quạt, bộ lọc mà còn cần phải phù hợp với kết cấu thiết bị.
Có thể thiết kế theo yêu cầu của dự án:
Kích thước tổng thể | Vị trí lỗ lắp đặt | Phương pháp nạp khí
Phương pháp thoát khí | Cấu trúc cố định | Phương pháp nối dây
giao diện đặc biệt
ủng hộ:
Điều chỉnh độc lập → RS485 → Modbus và các giải pháp điều khiển dựa trên dự án khác
Cấu trúc quạt có thể thấp tới 70mm
Được thiết kế cho các ứng dụng có không gian hạn chế bên trong thiết bị.
Thay vì chỉ thu nhỏ FFU bình thường, nó xoay quanh:
Không gian thiết bị → Quạt → Bộ lọc → Luồng khí → Điều khiển → Lắp đặt để phù hợp tổng thể.
Chọn quạt AC hoặc EC tùy theo yêu cầu khác nhau của dự án.
Đối với thiết bị yêu cầu điều khiển tốc độ thay đổi, điều khiển truyền thông và tích hợp hệ thống, các giải pháp điều khiển EC có thể được cấu hình thêm.
Chọn giải pháp lọc thích hợp dựa trên mức độ sạch và yêu cầu quy trình.
Có sẵn theo thiết bị của khách hàng:
Bản vẽ → Không gian lắp đặt → Yêu cầu về giao diện → Yêu cầu điều khiển
Thực hiện tùy biến sản phẩm.
Aili Industrial có:
Quạt → Động cơ → Hệ thống điều khiển → Bộ lọc → Tấm kim loại → Máy hoàn chỉnh EFU
năng lực sản xuất và R&D. Các thành phần cốt lõi và máy hoàn chỉnh có thể được kết hợp thống nhất.
Không gian bên trong thiết bị ngày càng bị hạn chế
Thiết bị sản xuất chất bán dẫn và chính xác thường yêu cầu tích hợp một số lượng lớn các mô-đun chức năng.
Ví dụ: cơ cấu chuyển động cơ học, mô-đun xử lý, linh kiện điện, cảm biến, hệ thống đường ống, hệ thống chân không, hệ thống điều khiển, hệ thống không khí sạch, v.v. Các hệ thống này cùng chiếm không gian bên trong của thiết bị.
Do đó, ngoài việc đáp ứng yêu cầu lọc không khí và cung cấp không khí, mô-đun lọc không khí phía thiết bị còn cần quan tâm đến:
Có không gian hạn chế có sẵn bên trong thiết bị.
EFU cần phải phù hợp với cấu trúc tổng thể của thiết bị.
Nó cần được xác định theo khu vực sạch sẽ bên trong thiết bị.
Cần phải xem xét sức cản của luồng không khí bên trong bộ lọc và thiết bị.
Yêu cầu liên lạc hoặc liên kết với hệ thống điều khiển thiết bị.
Đây cũng là điểm mà logic ứng dụng của EFU siêu mỏng khác với logic ứng dụng của FFU thông thường.
Mục tham số |
Thông số kỹ thuật |
|---|---|
Tên sản phẩm |
EFU siêu mỏng |
loại sản phẩm |
Bộ lọc quạt thiết bị |
Cấu trúc quạt |
Cấu trúc quạt siêu mỏng |
Kích thước sản phẩm |
Có thể được tùy chỉnh theo dự án |
Kích thước sản phẩm tham khảo |
500×400×70mm |
cái quạt |
AC/EC |
Phương pháp điều khiển |
Điều chỉnh độc lập/điều khiển nhóm |
lọc |
HEPA/ULPA |
cấp độ lọc |
H13 / H14 / U15/U16/U17, v.v., được xác định theo cấu hình |
Phương tiện lọc |
Sợi thủy tinh, PTFE, v.v., được xác định theo cấu hình |
Chất liệu tủ |
SUS304 / SUS316 / hợp kim nhôm / thép tấm phun, v.v. |
Phương pháp cài đặt |
Cài đặt ngang/dọc/đặc biệt |
Cấu trúc lắp đặt |
Hỗ trợ tùy chỉnh |
kích cỡ |
Hỗ trợ tùy chỉnh |
Khối lượng không khí |
Hỗ trợ tùy chỉnh |
tốc độ gió |
Hỗ trợ tùy chỉnh |
cái quạt |
Hỗ trợ tùy chỉnh |
lọc |
Hỗ trợ tùy chỉnh |
hệ thống điều khiển |
Hỗ trợ tùy chỉnh |
OEM/ODM |
ủng hộ |
Các nhà sản xuất thiết bị bán dẫn thường xác định vị trí lắp đặt EFU dựa trên cấu trúc bên trong của thiết bị.
Các dự án khác nhau có thể có: kích thước khác nhau, hướng khí vào khác nhau, hướng thoát khí khác nhau, vị trí lỗ lắp đặt khác nhau, yêu cầu về thể tích không khí khác nhau, yêu cầu áp suất tĩnh khác nhau và giao diện điều khiển khác nhau.
Vì vậy, Aili Industry không chỉ cung cấp các sản phẩm tiêu chuẩn hóa mà còn hỗ trợ tùy chỉnh theo điều kiện thiết bị của khách hàng.
Là nhà sản xuất EFU trong toàn bộ chuỗi ngành, Aili Industry cung cấp đầy đủ các dịch vụ tùy chỉnh
Theo không gian bên trong của thiết bị: chiều dài → chiều rộng → vị trí lỗ lắp đặt → tùy chỉnh cấu trúc bề ngoài.
Xác định thể tích không khí dựa trên sự lưu thông không khí bên trong của thiết bị và yêu cầu của khu vực sạch mục tiêu.
Phù hợp với tốc độ gió theo yêu cầu về độ sạch bên trong của thiết bị và điều kiện quy trình.
Theo: điện trở của bộ lọc → điện trở của ống dẫn khí → điện trở trong của thiết bị
Xác định sơ đồ áp suất tĩnh của quạt.
Hỗ trợ: AC → EC các giải pháp quạt khác nhau.
Hỗ trợ: Tùy chỉnh HEPA → ULPA cho các cấp độ thanh lọc khác nhau
Chọn mô-đun bộ lọc tương ứng theo mức lọc, thể tích không khí, sức cản và không gian.
Hỗ trợ: điều chỉnh độc lập → RS485 → Modbus và các giải pháp điều khiển dự án khác
Nó có thể được thiết kế theo cấu trúc thiết bị:
Lắp đặt ngang → Lắp đặt dọc → Lắp đặt đặc biệt
EFU được lắp đặt theo không gian bên trong và tổ chức luồng không khí của thiết bị để cung cấp không khí đã được lọc đến khu vực được chỉ định.
Aili Industrial có khả năng R&D và sản xuất các bộ phận cốt lõi như động cơ, quạt, bộ lọc và hệ thống điều khiển.
Thiết kế cấu trúc EFU theo chiều cao, chiều rộng bên trong, vị trí lắp đặt và điều kiện giao diện của thiết bị.
Xem xét toàn diện về thể tích không khí, áp suất tĩnh, tốc độ gió, lực cản của bộ lọc và phân bổ luồng không khí.
Điều chỉnh tốc độ, liên kết PLC, RS485, Modbus và các giải pháp khác có thể được cấu hình theo hệ thống điều khiển thiết bị.
Tiến hành kiểm tra hiệu năng tương ứng trên quạt, bộ lọc, hệ thống điều khiển và trạng thái hoạt động của toàn bộ máy.
Aili Industry từ lâu đã tham gia vào hoạt động R&D và sản xuất thiết bị sạch cũng như các bộ phận cốt lõi. Trong các sản phẩm EFU, khả năng sản xuất cốt lõi có thể bao gồm:
Độc lập phát triển và sản xuất các sản phẩm liên quan đến quạt.
Kết hợp động cơ theo yêu cầu xử lý quạt và không khí.
Phát triển độc lập các hệ thống kiểm soát để hỗ trợ các yêu cầu kiểm soát theo dự án.
Sản xuất độc lập HEPA, ULPA và các sản phẩm lọc không khí khác.
Độc lập hoàn thành việc thiết kế và sản xuất hộp sản phẩm và các bộ phận kết cấu.
Hoàn thiện: thiết kế → sản xuất linh kiện → lắp ráp → thử nghiệm → giao hàng , hình thành chuỗi sản xuất từ các bộ phận cốt lõi đến máy hoàn chỉnh.
Các sản phẩm thông thường có thể được kết hợp theo kích thước tiêu chuẩn trưởng thành. Nhưng EFU siêu mỏng cần được hoàn thiện đồng thời trong một không gian hạn chế:
Quạt→Động cơ→Ống dẫn khí→Bộ lọc→Hộp→Điều khiển
Không gian và hiệu suất phù hợp giữa các thành phần riêng lẻ. Aili Industrial có khả năng sản xuất quạt, động cơ, hệ thống điều khiển, bộ lọc, tấm kim loại và máy móc hoàn chỉnh nên có thể kết hợp toàn bộ sản phẩm thay vì chỉ gia công một hộp duy nhất.
Thiết bị sản xuất chất bán dẫn thường chứa nhiều mô-đun quy trình và khu vực chức năng, có các yêu cầu tương ứng về độ sạch không khí cục bộ, tổ chức luồng không khí và không gian bên trong của thiết bị. EFU siêu mỏng 70mm của Aili Industrial có thể được cấu hình theo không gian lắp đặt thiết bị, thể tích không khí, tốc độ gió, mức lọc và phương pháp kiểm soát để cung cấp không khí sạch được lọc HEPA/ULPA bên trong thiết bị hoặc các khu vực cục bộ được chỉ định.
Thích hợp cho nhiều loại thiết bị bán dẫn và sản xuất chính xác.
Đối với thiết bị xử lý đầu cuối sản xuất wafer, cấu trúc và thông số EFU được khớp theo yêu cầu về không gian bên trong và không khí sạch của thiết bị.
EFEM là một mô-đun ngoại vi quan trọng dành cho thiết bị bán dẫn. EFU có thể được tùy chỉnh theo không gian bên trong, vị trí lắp đặt và yêu cầu xử lý không khí của EFEM để cung cấp không khí sạch đã được lọc cho các khu vực liên quan bên trong thiết bị.
Thiết bị làm sạch chất bán dẫn có yêu cầu tương ứng về môi trường không khí sạch bên trong thiết bị.
EFU siêu mỏng 70mm có thể được thiết kế cấu trúc và thông số phù hợp theo không gian lắp đặt bên trong, khu vực sạch sẽ, thể tích không khí và yêu cầu lọc của máy làm sạch và có thể được sử dụng để xử lý không khí sạch cục bộ bên trong thiết bị.
Thích hợp cho các loại thiết bị làm sạch wafer khác nhau và các thiết bị xử lý ướt liên quan.
Đối với các yêu cầu về không khí sạch bên trong thiết bị liên quan đến in thạch bản, giải pháp EFU có thể được thiết kế dựa trên không gian thiết bị, cấu trúc lắp đặt, thể tích không khí và mức độ lọc.
Đối với các ứng dụng mà không gian bên trong của thiết bị bị hạn chế, cấu trúc siêu mỏng tạo điều kiện phù hợp về mặt không gian của mô-đun lọc không khí phía thiết bị.
Được sử dụng để lọc không khí sạch bên trong thiết bị khắc hoặc khu vực được chỉ định.
Cấu hình sản phẩm có thể được thực hiện dựa trên cấu trúc thiết bị, thể tích không khí mục tiêu, áp suất tĩnh, bộ lọc và phương pháp điều khiển.
Thích hợp cho các ứng dụng không khí sạch phía thiết bị trong PVD, CVD, ALD và các thiết bị xử lý màng mỏng liên quan khác.
Điều chỉnh quạt, bộ lọc, thể tích không khí và cấu trúc lắp đặt của EFU phù hợp với yêu cầu về không gian bên trong và môi trường xử lý của thiết bị.
Các sản phẩm EFU được cấu hình theo yêu cầu về không khí sạch và không gian lắp đặt bên trong thiết bị. Kích thước, bộ lọc và phương pháp điều khiển có thể được tùy chỉnh theo cấu trúc thiết bị.
Do nhu cầu không khí sạch tại địa phương của các thiết bị liên quan đến đánh bóng cơ học hóa học, sơ đồ EFU được thiết kế dựa trên không gian bên trong và các yêu cầu xử lý không khí của thiết bị.
Nó phù hợp cho các ứng dụng không khí sạch ở khâu chuyển tấm bán dẫn, xử lý và các thiết bị liên quan khác, đồng thời có thể được cấu hình theo yêu cầu xử lý không khí của các khu vực khác nhau bên trong thiết bị.
Đối với các thiết bị phát hiện, đo lường và độ chính xác có yêu cầu về môi trường không khí bên trong của thiết bị, EFU siêu mỏng có thể được cấu hình theo yêu cầu về không gian lắp đặt và không khí sạch.
Thích hợp để xử lý không khí sạch cục bộ của các thiết bị liên quan đến bao bì tiên tiến, được tùy chỉnh theo cấu trúc thiết bị, không gian lắp đặt, mức lọc và yêu cầu về thể tích không khí.
Thiết bị đầu cuối chất bán dẫn → EFEM → Máy làm sạch chất bán dẫn → Thiết bị quang khắc → Thiết bị khắc → Thiết bị lắng đọng màng mỏng → Thiết bị cấy ion → Thiết bị CMP → Thiết bị xử lý wafer → Thiết bị kiểm tra và đo lường → Thiết bị đóng gói tiên tiến
Thiết bị sản xuất wafer, thiết bị đầu cuối bán dẫn, EFEM, v.v.
FPD, OLED và các thiết bị liên quan
Thiết bị đóng gói tiên tiến và khu vực sạch sẽ tại địa phương.
Linh kiện điện tử và thiết bị sản xuất chính xác.
Quang học chính xác và các thiết bị liên quan.
Thiết bị xử lý micro-nano yêu cầu không khí sạch ở đầu thiết bị.
Trao đổi yêu cầu → Xác nhận bản vẽ/không gian → Xác nhận thể tích không khí và thông số lọc → Kết hợp quạt và bộ lọc → Thiết kế cấu trúc EFU → Xác nhận mẫu → Thử nghiệm sản phẩm → Sản xuất hàng loạt → Giao hàng
EFU là tên viết tắt của Equipment Fan Filter Unit, là bộ lọc quạt thiết bị. Nó chủ yếu được sử dụng để lọc không khí và cung cấp không khí trong môi trường sạch cục bộ bên trong thiết bị hoặc ở đầu thiết bị.
70mm chủ yếu đề cập đến chiều cao của cấu trúc quạt siêu mỏng. Kích thước lắp đặt tổng thể của EFU kết hợp với bộ lọc cần được xác định dựa trên bộ lọc, hộp và cấu hình sản phẩm cụ thể. Giải pháp điển hình được đưa ra trong thông tin sản phẩm hiện tại của bạn là cấu trúc quạt 70mm và độ dày làm việc tổng thể là khoảng 100mm khi kết hợp với mô-đun bộ lọc.
Chủ yếu dành cho thiết bị bán dẫn, EFEM, thiết bị đóng gói tiên tiến, thiết bị FPD/OLED, thiết bị điện tử chính xác và các thiết bị khác yêu cầu không khí sạch cục bộ ở đầu thiết bị.
Có thể. Thông tin về sản phẩm EFU siêu mỏng hiện có của bạn bao gồm các giải pháp động cơ không chổi than EC và hỗ trợ RS485 cũng như các phương pháp điều khiển khác.
Có thể. Tùy thuộc vào yêu cầu cụ thể của dự án, có thể lựa chọn phương án lọc HEPA hoặc ULPA.
Có thể. Aili Industrial hỗ trợ OEM/ODM và có thể tùy chỉnh kích thước sản phẩm, hình dạng cửa thoát khí, giao diện nối dây đặc biệt, v.v. theo bản vẽ CAD của khách hàng.
Có thể. EFU phía thiết bị thường cần được khớp theo không gian của thiết bị, do đó, nó hỗ trợ tùy chỉnh kích thước sản phẩm và cấu trúc cài đặt.
FFU chủ yếu được sử dụng để lọc không khí và cung cấp không khí trong phòng sạch. Vị trí lắp đặt phổ biến là trần phòng sạch; EFU chủ yếu phục vụ môi trường sạch sẽ cục bộ ở đầu thiết bị, chú trọng hơn đến sự phù hợp của không gian bên trong, cấu trúc lắp đặt và giao diện điều khiển của thiết bị.
Có thể. Aili Industrial có khả năng sản xuất quạt, động cơ, hệ thống điều khiển, bộ lọc, tấm kim loại và thiết bị sạch, đồng thời có thể cung cấp các giải pháp tùy chỉnh từ khớp thành phần cốt lõi cho đến các máy hoàn chỉnh EFU theo yêu cầu của dự án.
Nếu thiết bị của bạn có mặt:
Không gian lắp đặt hạn chế → Yêu cầu về độ sạch bên trong thiết bị → Yêu cầu lọc HEPA/ULPA → Yêu cầu về thể tích không khí/tốc độ gió đặc biệt → Tích hợp hệ thống điều khiển thiết bị → Kích thước đặc biệt hoặc cấu trúc lắp đặt
Aili Industrial có thể kết hợp giải pháp EFU dựa trên điều kiện thực tế của thiết bị.
Bản vẽ thiết bị → Không gian lắp đặt → Thể tích không khí mục tiêu → Tốc độ gió → Mức lọc → Phương pháp điều khiển
Nhóm kỹ thuật của chúng tôi có thể xác nhận thêm các giải pháp sản phẩm dựa trên điều này.
Doanh nghiệp R&D và sản xuất thiết bị phòng sạch và các bộ phận cốt lõi
Điện thoại: 136 4625 8112
