| Số lượng: | |
|---|---|
Kiểm soát tĩnh điện và cung cấp không khí sạch được tích hợp ở phía thiết bị
Quạt EC, bộ lọc hiệu suất cao H14 và mô-đun điều khiển tĩnh điện được tích hợp vào EFU nhỏ gọn để cung cấp giải pháp cung cấp không khí sạch cho thiết bị bán dẫn, sản xuất điện tử và môi trường sản xuất chính xác.
Động cơ EC · Bộ lọc H14 · Điều khiển tĩnh · Điều chỉnh tốc độ vô cấp · Điều khiển một máy/nhóm
EFU|FFU chống tĩnh điện là bộ lọc quạt dùng để cung cấp không khí sạch ở đầu thiết bị và kết hợp với chức năng điều khiển tĩnh.
EFU thường được lắp đặt ở vị trí cần không khí sạch và không gian thiết bị. Quạt đẩy không khí qua bộ lọc hiệu suất cao và sau đó đưa không khí đến khu vực mục tiêu.
Trên cơ sở đó, EFU chống tĩnh điện bổ sung thêm mô-đun điều khiển tĩnh điện để kiểm soát tĩnh điện cho các môi trường ứng dụng cụ thể.
Đối với thiết bị bán dẫn, môi trường sản xuất điện tử và sản xuất chính xác, độ sạch của không khí và môi trường tĩnh điện có thể ảnh hưởng đến quá trình. Do đó, bộ lọc, quạt, mô-đun tĩnh điện và hệ thống điều khiển cần được cấu hình toàn diện theo yêu cầu thiết bị thực tế.
EFU chống tĩnh điện công nghiệp Aili sử dụng giải pháp quạt EC và có thể được cấu hình với bộ lọc hiệu suất cao H14 và mô-đun tĩnh điện, phù hợp cho các ứng dụng phía thiết bị yêu cầu kiểm soát không khí sạch và tĩnh điện.
Cấu hình động cơ rôto bên trong EC tùy chọn có sẵn để cung cấp năng lượng khí động học cho EFU và hỗ trợ điều chỉnh tốc độ vô cấp.
Thông số kỹ thuật và cấu hình hiện tại sử dụng bộ lọc hiệu suất cao H14 (tùy chọn bộ lọc ULPA).
Được trang bị một mô-đun tĩnh điện, nó có thể được sử dụng để điều khiển tĩnh điện trong các môi trường ứng dụng cụ thể.
Nó hỗ trợ điều chỉnh tốc độ vô cấp và có thể thực hiện điều khiển cục bộ, điều khiển máy đơn và điều khiển nhóm truyền thông theo cấu hình.
01không khí đi vào Không khí xung quanh đi vào EFU |
→ |
02Ổ đĩa quạt EC Quạt EC tạo ra luồng không khí |
→ |
03Lọc hiệu quả cao Không khí đi qua bộ lọc hiệu suất cao H14 |
→ |
04Kiểm soát tĩnh Kiểm soát tĩnh các khu vực ứng dụng thông qua các mô-đun tĩnh |
→ |
05Cung cấp không khí sạch Không khí đã qua xử lý đi vào thiết bị hoặc khu vực sạch sẽ |
Cấu hình EFU cho môi trường nhạy cảm tĩnh
Trên cơ sở lọc không khí sạch, EFU chống tĩnh điện có thể được kết hợp với mô-đun tĩnh điện để kiểm soát môi trường tĩnh điện trong khu vực ứng dụng.
Mô-đun tĩnh điện: được cấu hình với mô-đun tĩnh điện V.
Thời gian tiêu tán: Thời gian tiêu tán tĩnh điện được ghi trong thông số kỹ thuật hiện có là: <10S. Các điều kiện thử nghiệm là ±1000V đến ±100V, tốc độ gió mặt 0,45 m/s ±20% và khoảng cách 30 cm tính từ bề mặt thoát khí.
Theo yêu cầu của dự án, tùy chọn:
Máy dò hạt trực tuyến → Máy dò tĩnh điện trực tuyến。
Lưu ý kỹ thuật: Các thông số tĩnh điện trên tương ứng với thông số kỹ thuật và điều kiện thử nghiệm cụ thể của sản phẩm. Hiệu suất thực tế sẽ bị ảnh hưởng bởi khoảng cách lắp đặt, tốc độ gió, điều kiện môi trường và cấu hình sản phẩm. Việc lựa chọn dự án phải dựa trên các tài liệu kỹ thuật của sản phẩm cuối cùng và các điều kiện thử nghiệm thực tế.
Lọc hiệu suất cao H14 (bộ lọc có mức độ lọc cao hơn có thể tùy chỉnh) để cung cấp không khí sạch cho thiết bị
EFU chống tĩnh điện không chỉ cần xem xét việc kiểm soát tĩnh điện mà còn cần đáp ứng các yêu cầu về độ sạch không khí ở phía thiết bị.
Các thông số kỹ thuật của sản phẩm hiện có được trang bị bộ lọc hiệu suất cao H14. Vật liệu lọc được làm bằng sợi thủy tinh siêu mịn và khung bên ngoài được làm bằng nhôm anodized.
Hiệu suất lọc hiệu quả cao: 99,99% @ 0,3 μm
Cấu trúc bộ lọc:
Vật liệu lọc sợi thủy tinh siêu mịn → khung nhôm anodized → lưới thép phun nhựa bảo vệ → dải niêm phong màu trắng nhạt
Tốc độ gió tham chiếu: 0,45 m/s ±20%
Thể tích và tốc độ không khí cụ thể cần được xác nhận dựa trên điện trở của bộ lọc, hiệu suất của quạt và điều kiện làm việc của thiết bị.
EFU chống tĩnh điện sử dụng cấu hình quạt EC và trạng thái hoạt động của quạt được điều chỉnh thông qua bộ điều khiển.
Các thông số kỹ thuật của sản phẩm hiện có sử dụng động cơ cánh quạt bên trong EC, được trang bị nguồn điện 220V/50Hz, công suất định mức 150W và cánh quạt sử dụng cánh quạt kim loại.
Điều chỉnh tốc độ vô cấp: Hệ thống điều khiển hỗ trợ điều chỉnh tốc độ vô cấp và có thể điều chỉnh trạng thái hoạt động của quạt theo yêu cầu cấp khí thực tế của thiết bị.
Điều khiển độc lập: Mỗi EFU có thể được điều khiển độc lập.
Kiểm soát nhóm: Theo cấu hình hệ thống, nhiều EFU có thể được quản lý theo nhóm.
Điều khiển truyền thông: Hệ thống điều khiển hỗ trợ giao tiếp 485 và giao thức chuẩn Modbus-RTU và có thể được tích hợp theo hệ thống điều khiển dự án.
Từ điều khiển máy đơn đến quản lý nhóm
Điều khiển cục bộ → Điều chỉnh tốc độ máy đơn → Điều khiển nhiều nhóm đơn vị → Giao tiếp RS485 → Modbus-RTU
Hệ thống điều khiển hỗ trợ điều khiển đơn hoặc điều khiển nhóm và hỗ trợ điều khiển phân vùng và liên lạc 485. Giao tiếp Modbus-RTU bao gồm các mục dữ liệu như khởi động và dừng FFU, cài đặt tốc độ, dòng điện thời gian thực và tốc độ thời gian thực.
Mục tham số |
Thông số kỹ thuật |
|---|---|
Mẫu sản phẩm |
F-DE315-450×450×160-F70H14 |
Kích thước hộp EFU |
450×450×160 mm |
kích thước bộ lọc |
450×450×70+10mm |
Cấp độ lọc |
H14 |
Hiệu quả lọc |
99,99% @ 0,3 mm |
Phương tiện lọc |
sợi thủy tinh siêu mịn |
khung lọc |
Hồ sơ nhôm anodized |
lưới bảo vệ |
Lưới thép phun |
Tốc độ gió tham khảo |
0,45 m/s ±20% |
Loại quạt |
quạt EC |
Loại động cơ |
Động cơ EC rôto bên trong |
cung cấp điện |
220V/50Hz |
Công suất định mức |
150W |
cánh quạt |
cánh quạt kim loại |
Mô-đun tĩnh điện |
Cấu hình |
Điện áp mô-đun tĩnh điện |
4,6 kV |
Thời gian tiêu tán tĩnh điện |
<10S |
Phương pháp điều chỉnh tốc độ |
Điều chỉnh tốc độ vô cấp |
Phương pháp điều khiển |
Điều khiển cục bộ/điều khiển truyền thông |
Phương thức liên lạc |
RS485/Modbus-RTU |
Phát hiện hạt trực tuyến |
Không bắt buộc |
Phát hiện tĩnh điện trực tuyến |
Không bắt buộc |
Chất liệu tủ |
Tấm thép sơn/tấm mạ kẽm/thép không gỉ |
Một số thông số tĩnh điện tương ứng với các điều kiện thử nghiệm cụ thể. Kích thước thực tế của sản phẩm, bộ lọc, quạt, động cơ, thể tích không khí, tốc độ gió, hiệu suất tĩnh điện, phương pháp điều khiển và các chức năng tùy chọn có thể được điều chỉnh theo các mô hình cụ thể và yêu cầu của dự án. Dữ liệu hiệu suất như thời gian tiêu tán tĩnh điện, điện áp cân bằng, v.v. phải được hiểu cùng với các điều kiện thử nghiệm được chỉ định. Các thông số sản phẩm cuối cùng và điều kiện áp dụng phải tuân theo các tài liệu kỹ thuật sản phẩm được Aili Industrial xác nhận và kết quả kiểm tra sản phẩm thực tế.
Cấu trúc nhỏ gọn, thích ứng với không gian lắp đặt thiết bị
Đối với các không gian thiết bị và điều kiện lắp đặt khác nhau, bạn có thể xác nhận theo yêu cầu của dự án: kích thước tổng thể EFU → kích thước bộ lọc → cấu hình quạt → mô-đun tĩnh điện → phương pháp lắp đặt và cố định → phương pháp điều khiển
Aili Industrial có thể kết hợp cấu trúc sản phẩm theo không gian bên thiết bị và yêu cầu kỹ thuật.
Các ngành áp dụng
Được sử dụng trong các ứng dụng yêu cầu cung cấp không khí sạch và kiểm soát tĩnh điện bên trong hoặc trên mặt thiết bị của thiết bị bán dẫn.
Nó phù hợp với các khu vực có yêu cầu về độ sạch không khí và môi trường tĩnh điện trong linh kiện điện tử và môi trường sản xuất liên quan.
Được sử dụng trong các thiết bị sản xuất chính xác có yêu cầu cụ thể về kiểm soát hạt và môi trường tĩnh điện.
Thích hợp để xử lý không khí sạch của một số thiết bị quang điện tử, màn hình hiển thị và độ chính xác.
Nó có thể được sử dụng như một bộ cấp khí phía thiết bị trong thiết bị sạch và có thể được cấu hình với các chức năng lọc và điều khiển tĩnh điện theo yêu cầu của dự án.
Nó phù hợp để hỗ trợ và sửa đổi các máy định vị của Panasonic và các nhãn hiệu khác.
Đối với các ứng dụng liên quan đến cả môi trường kiểm soát hạt và tĩnh điện, việc lựa chọn có thể dựa trên các điều kiện quy trình cụ thể.
EFU/FFU, chú ý đến cả độ sạch và môi trường tĩnh. Đối với thiết bị bán dẫn, điện tử và sản xuất chính xác, chỉ lọc không khí có thể không nhất thiết phải đáp ứng tất cả các yêu cầu về môi trường của thiết bị.
EFU chống tĩnh điện tích hợp: Quạt EC → Lọc hiệu suất cao H14 → điều khiển tĩnh → điều chỉnh tốc độ vô cấp → điều khiển giao tiếp thành một bộ thiết bị, có thể được kết hợp và cấu hình theo yêu cầu của dự án.
Cấu hình mô-đun tĩnh điện để kiểm soát tĩnh điện theo yêu cầu ứng dụng.
Không khí được lọc qua bộ lọc hiệu suất cao H14.
Điều chỉnh tốc độ vô cấp thông qua quạt EC và hệ thống điều khiển.
Hỗ trợ điều khiển máy đơn, điều khiển nhóm và điều khiển truyền thông.
Aili Industrial đã thiết lập hệ thống sản xuất và R&D sản phẩm xoay quanh FFU, EFU và các thiết bị sạch liên quan.
Cấu hình quạt và động cơ dựa trên kích thước EFU, thể tích không khí, áp suất tĩnh và các yêu cầu điều khiển.
Cung cấp các giải pháp lọc hiệu quả cao như HEPA phù hợp với cấu trúc EFU.
Cấu hình mô-đun điều khiển tĩnh điện và các chức năng phát hiện liên quan theo yêu cầu của dự án.
Hỗ trợ điều chỉnh tốc độ vô cấp, điều khiển máy đơn, điều khiển nhóm và điều khiển truyền thông.
Sản xuất các loại hộp, kết cấu cố định theo kết cấu sản phẩm và yêu cầu lắp đặt.
Hoàn thành lắp ráp sản phẩm, kiểm tra và xác nhận thông số kỹ thuật.
Làm thế nào để chọn EFU chống tĩnh điện?
01 Sử dụng thiết bị |
→ |
02 cấp độ sạch |
→ |
03 Tốc độ gió mục tiêu |
→ |
04 cấp độ lọc |
05 Yêu cầu kiểm soát tĩnh điện |
→ |
06 Kích thước lắp đặt |
→ |
07 Phương pháp điều khiển |
→ |
08 Chức năng phát hiện |
Tên thiết bị · Vị trí lắp đặt · Mức độ sạch · Kích thước EFU · Tốc độ gió mục tiêu · Cấp độ lọc · Yêu cầu kiểm soát tĩnh điện · Nguồn điện · Phương pháp điều khiển · Yêu cầu liên lạc · Có cần phát hiện trực tuyến hay không
Dựa trên thông tin này, cấu hình EFU chống tĩnh điện có thể được khớp chính xác hơn.
EFU chống tĩnh điện là bộ cấp khí sạch phía thiết bị có bổ sung chức năng điều khiển tĩnh điện cho bộ lọc quạt. Nó tích hợp quạt EC, bộ lọc hiệu suất cao và mô-đun tĩnh điện vào một thiết bị để đáp ứng cả nhu cầu cung cấp không khí sạch và kiểm soát tĩnh điện cụ thể.
Nó chủ yếu được sử dụng trong các thiết bị và môi trường sản xuất đòi hỏi cả độ sạch không khí và môi trường tĩnh điện, chẳng hạn như thiết bị bán dẫn, máy định vị, sản xuất điện tử, thiết bị quang điện tử và sản xuất chính xác.
Thông số kỹ thuật của sản phẩm hiện có được trang bị bộ lọc hiệu suất cao H14, kích thước bộ lọc là 450×450×70+10 mm, vật liệu lọc là sợi thủy tinh siêu mịn và hiệu suất lọc được ghi nhận là 99,99%@0,3 μm. Là nhà sản xuất EFU của chuỗi ngành đầy đủ, Aili Industry hoàn toàn có thể tùy chỉnh theo yêu cầu của bạn.
Thời gian tiêu tán tĩnh điện được ghi trong thông số kỹ thuật của sản phẩm hiện có là <10S và điều kiện thử nghiệm là ±1000V đến ±100V, tốc độ gió mặt 0,45 m/s ±20% và khoảng cách 30 cm tính từ bề mặt cửa thoát khí. Hiệu suất cụ thể của sản phẩm cần phải tuân theo các điều kiện thử nghiệm sản phẩm thực tế và các tài liệu kỹ thuật.
Điện áp cân bằng ghi trong thông số kỹ thuật hiện có là ≤|±100V|, tương ứng với các điều kiện thử nghiệm cụ thể. Các thông số tĩnh điện trong sử dụng thực tế sẽ bị ảnh hưởng bởi khoảng cách lắp đặt, tốc độ gió, điều kiện môi trường và cấu hình sản phẩm.
Có thể. Hệ thống điều khiển hiện có hỗ trợ điều chỉnh tốc độ vô cấp và có thể điều chỉnh trạng thái hoạt động của quạt EC theo yêu cầu cung cấp không khí ở đầu thiết bị.
Có thể. Hệ thống điều khiển sản phẩm hỗ trợ điều khiển đơn và điều khiển nhóm, đồng thời hỗ trợ điều khiển phân vùng và giao tiếp 485, đồng thời có thể được cấu hình theo yêu cầu hệ thống của dự án.
Hệ thống điều khiển hiện có hỗ trợ giao thức chuẩn Modbus-RTU, có thể thực hiện giao tiếp khởi động/dừng FFU, cài đặt tốc độ, dòng điện thời gian thực, tốc độ thời gian thực và các dữ liệu khác.
Máy dò tĩnh điện trực tuyến có thể được lựa chọn theo yêu cầu của dự án. Thông số kỹ thuật của sản phẩm cũng liệt kê máy dò hạt trực tuyến là một mục tùy chọn.
Thiết kế kết cấu có thể được thực hiện dựa trên không gian lắp đặt thiết bị, kích thước bộ lọc, cấu hình quạt và yêu cầu của dự án. Thông số kỹ thuật sản phẩm hiện tại bao gồm cấu hình EFU 450×450×160 mm. Kích thước cụ thể có thể được xác nhận dựa trên dự án thực tế.
Cấu hình thông số kỹ thuật hiện tại sử dụng động cơ rôto bên trong EC, nguồn điện là 220V/50Hz, công suất định mức là 150W và cánh quạt là cánh quạt kim loại. Cấu hình có thể khác nhau tùy theo mô hình và dự án.
Khi lựa chọn, nên cung cấp các thông tin như không gian lắp đặt thiết bị, mức độ sạch sẽ, tốc độ gió mục tiêu, mức độ lọc, yêu cầu kiểm soát tĩnh điện, nguồn điện, phương pháp điều khiển và liệu có cần thử nghiệm trực tuyến hay không và nhân viên kỹ thuật sẽ cấu hình nó theo điều kiện làm việc cụ thể.
Giá sản phẩm liên quan đến các yếu tố như kích thước, bộ lọc, quạt, động cơ, mô-đun tĩnh điện, phương pháp điều khiển và các chức năng phát hiện tùy chọn. Nên cung cấp các thông số dự án cụ thể trước khi cấu hình và báo giá.
Nếu thiết bị của bạn cũng tập trung vào không khí sạch, kiểm soát tĩnh điện, điều chỉnh lượng không khí và không gian thiết bị , bạn có thể gửi các thông số dự án đến Aili Industrial.
Chúng tôi có thể giúp xác nhận dựa trên điều kiện thiết bị của bạn:
Kích thước EFU · Bộ lọc H14 · Quạt EC · Mô-đun tĩnh điện · Tốc độ gió · Phương pháp điều khiển · Chức năng giao tiếp · Phát hiện trực tuyến
