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Le contrôle de l’électricité statique et l’alimentation en air pur sont intégrés côté équipement
Le ventilateur EC, le filtre haute efficacité H14 et le module de commande électrostatique sont intégrés dans un EFU compact pour fournir des solutions d'alimentation en air propre pour les équipements semi-conducteurs, la fabrication électronique et les environnements de production de précision.
Moteur EC·Filtre H14·Contrôle statique·Régulation de vitesse en continu·Contrôle d'une seule machine/groupe
L'EFU|FFU antistatique est une unité de filtre à ventilateur utilisée pour l'alimentation en air propre du côté de l'équipement et combinée à une fonction de contrôle statique.
L'EFU est généralement installé dans des endroits qui nécessitent de l'air pur et de l'espace pour les équipements. Le ventilateur fait passer l'air à travers un filtre à haute efficacité et l'envoie ensuite vers la zone cible.
Sur cette base, l'EFU antistatique ajoute un module de contrôle électrostatique pour contrôler l'électricité statique pour des environnements d'application spécifiques.
Pour les équipements semi-conducteurs, les environnements de fabrication électronique et de production de précision, la propreté de l’air et l’environnement électrostatique peuvent affecter le processus. Par conséquent, les filtres, les ventilateurs, les modules électrostatiques et les systèmes de contrôle doivent être entièrement configurés en fonction des exigences réelles de l'équipement.
Aili Industrial Anti-static EFU adopte une solution de ventilateur EC et peut être configuré avec un filtre à haute efficacité H14 et un module électrostatique, qui convient aux applications côté équipement qui nécessitent un contrôle de l'air pur et de l'électricité statique.
Une configuration de moteur à rotor interne EC en option est disponible pour fournir une puissance aérodynamique à l'EFU et prendre en charge une régulation de vitesse en continu.
Les spécifications et configurations existantes utilisent un filtre haute efficacité H14 (filtre ULPA en option).
Equipé d'un module électrostatique, il peut être utilisé pour le contrôle électrostatique dans des environnements d'application spécifiques.
Il prend en charge le réglage continu de la vitesse et peut réaliser un contrôle local, un contrôle de machine unique et un contrôle de groupe de communication selon la configuration.
01air entrant L'air ambiant entre dans l'EFU |
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02Entraînement de ventilateur EC Le ventilateur EC génère un flux d'air |
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03Filtration haute efficacité L'air passe à travers le filtre haute efficacité H14 |
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04Contrôle statique Contrôle statique des domaines d'application avec des modules statiques |
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05Alimentation en air propre L'air traité pénètre dans les équipements ou les zones propres |
Configuration EFU pour les environnements sensibles à l'électricité statique
Sur la base d'une filtration de l'air propre, l'EFU antistatique peut être combiné avec le module électrostatique pour contrôler l'environnement électrostatique dans la zone d'application.
Module électrostatique : configuré avec le module électrostatique V.
Temps de dissipation : Le temps de dissipation de l'électricité statique enregistré dans les spécifications existantes est : <10S. Les conditions de test sont de ±1 000 V à ±100 V, une vitesse du vent face à 0,45 m/s ±20 % et une distance de 30 cm de la surface de sortie d'air.
Selon les exigences du projet, facultatif :
Détecteur de particules en ligne → Détecteur électrostatique en ligne。
Note technique : Les paramètres électrostatiques ci-dessus correspondent aux spécifications spécifiques du produit et aux conditions de test. Les performances réelles seront affectées par la distance d'installation, la vitesse du vent, les conditions environnementales et la configuration du produit. La sélection du projet doit être basée sur les documents techniques du produit final et les conditions de test réelles.
Filtration H14 à haute efficacité (les filtres avec des niveaux de purification plus élevés peuvent être personnalisés) pour fournir de l'air propre à l'équipement
L'EFU antistatique doit non seulement prendre en compte le contrôle de l'électricité statique, mais doit également répondre aux exigences de propreté de l'air du côté des équipements.
Les spécifications de produits existantes sont équipées d'un filtre haute efficacité H14. Le matériau filtrant est en fibre de verre ultra fine et le cadre extérieur est en profilés d'aluminium anodisé.
Efficacité du filtre haute efficacité : 99,99 % à 0,3 μm
Structure du filtre :
Matériau filtrant en fibre de verre ultra fine → cadre profilé en aluminium anodisé → protection en maille d'acier pulvérisée en plastique → bande d'étanchéité blanc cassé
Vitesse du vent de référence : 0,45 m/s ±20 %
Le volume et la vitesse d'air spécifiques doivent être confirmés en fonction de la résistance du filtre, des performances du ventilateur et des conditions de fonctionnement de l'équipement.
L'EFU antistatique adopte la configuration du ventilateur EC et l'état de fonctionnement du ventilateur est ajusté via le contrôleur.
Les spécifications du produit existantes adoptent un moteur à rotor interne EC, équipé d'une alimentation 220 V/50 Hz, d'une puissance nominale de 150 W, et la roue adopte une roue en métal.
Régulation de vitesse en continu : le système de contrôle prend en charge la régulation de vitesse en continu et peut ajuster l'état de fonctionnement du ventilateur en fonction des besoins réels d'alimentation en air de l'équipement.
Contrôle autonome : Chaque EFU peut être contrôlé indépendamment.
Contrôle de groupe : selon la configuration du système, plusieurs EFU peuvent être gérées en groupe.
Contrôle de la communication : le système de contrôle prend en charge la communication 485 et prend en charge le protocole standard Modbus-RTU, qui peut être intégré en fonction du système de contrôle du projet.
Du contrôle d'une seule machine à la gestion de groupe
Contrôle local → Régulation de vitesse d'une seule machine → Contrôle de groupes d'unités multiples → Communication RS485 → Modbus-RTU
Le système de contrôle prend en charge le contrôle unique ou le contrôle de groupe, ainsi que le contrôle de partition et la communication 485. La communication Modbus-RTU comprend des éléments de données tels que le démarrage et l'arrêt du FFU, le réglage de la vitesse, le courant en temps réel et la vitesse en temps réel.
Éléments de paramètres |
Caractéristiques |
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Modèle de produit |
F-DE315-450×450×160-F70H14 |
Taille de la boîte EFU |
450×450×160 millimètres |
taille du filtre |
450×450×70+10 mm |
Niveau de filtre |
H14 |
Efficacité de la filtration |
99,99 % à 0,3 μm |
Média filtrant |
fibre de verre ultrafine |
cadre de filtre |
Profilés en aluminium anodisé |
filet de protection |
Treillis en acier projeté |
Vitesse du vent de référence |
0,45 m/s ±20 % |
Type de ventilateur |
Ventilateur CE |
Type de moteur |
Moteur EC à rotor intérieur |
alimentation |
220 V/50 Hz |
Puissance nominale |
150W |
turbine |
roue en métal |
Module électrostatique |
Configuration |
Tension du module électrostatique |
4,6 kV |
Temps de dissipation de l'électricité statique |
<10S |
Méthode de régulation de vitesse |
Régulation de vitesse en continu |
Méthode de contrôle |
Contrôle local/contrôle de communication |
Méthode de communication |
RS485/Modbus-RTU |
Détection de particules en ligne |
Facultatif |
Détection d'électricité statique en ligne |
Facultatif |
Matériau du meuble |
Plaque d'acier peinte/plaque galvanisée/acier inoxydable |
Certains paramètres électrostatiques correspondent à des conditions de test spécifiques. La taille réelle du produit, le filtre, le ventilateur, le moteur, le volume d'air, la vitesse du vent, les performances électrostatiques, la méthode de contrôle et les fonctions optionnelles peuvent être ajustés en fonction des modèles spécifiques et des exigences du projet. Les données de performances telles que le temps de dissipation de l'électricité statique, la tension d'équilibre, etc. doivent être comprises en conjonction avec les conditions de test spécifiées. Les paramètres finaux du produit et les conditions applicables sont soumis aux documents techniques du produit confirmés par Aili Industrial et aux résultats réels des tests du produit.
Structure compacte, adaptable à l'espace d'installation des équipements
Pour différents espaces d'équipement et conditions d'installation, vous pouvez confirmer en fonction des exigences du projet : taille globale de l'EFU → taille du filtre → configuration du ventilateur → module électrostatique → méthode d'installation et de fixation → méthode de contrôle
Aili Industrial peut adapter la structure du produit en fonction de l'espace côté équipement et des exigences techniques.
Secteurs concernés
Utilisé dans les applications nécessitant une alimentation en air propre et un contrôle de l'électricité statique à l'intérieur ou du côté de l'équipement semi-conducteur.
Il convient aux zones ayant des exigences en matière de pureté de l'air et d'environnement électrostatique dans les composants électroniques et les environnements de production associés.
Utilisé dans les équipements de production de précision avec des exigences spécifiques en matière de contrôle des particules et d'environnements électrostatiques.
Convient au traitement de l'air propre de certains équipements optoélectroniques, d'affichage et de précision.
Il peut être utilisé comme unité d'alimentation en air côté équipement dans un équipement propre et peut être configuré avec des fonctions de filtration et de contrôle électrostatique selon les exigences du projet.
Il convient pour prendre en charge et modifier les machines de placement de Panasonic et d'autres marques.
Pour les applications impliquant à la fois le contrôle des particules et les environnements électrostatiques, la sélection peut être basée sur des conditions de processus spécifiques.
Une EFU/FFU, soucieuse à la fois de la propreté et de l’environnement statique. Pour les équipements de fabrication de semi-conducteurs, d’électronique et de précision, la filtration de l’air à elle seule ne couvre pas nécessairement toutes les exigences environnementales liées aux équipements.
L'EFU antistatique intègre : ventilateur EC → filtration haute efficacité H14 → contrôle statique → régulation de vitesse en continu → contrôle de communication dans une seule unité d'équipement, qui peut être combinée et configurée selon les exigences du projet.
Configurez le module d'électricité statique pour contrôler l'électricité statique en fonction des exigences de l'application.
L'air est filtré à travers un filtre haute efficacité H14.
Régulation de vitesse en continu grâce au ventilateur EC et au système de contrôle.
Prend en charge le contrôle de machine unique, le contrôle de groupe et le contrôle de communication.
Aili Industrial a mis en place un système de R&D et de fabrication de produits autour des FFU, EFU et des équipements propres associés.
Configurez les ventilateurs et les moteurs en fonction de la taille de l'EFU, du volume d'air, de la pression statique et des exigences de contrôle.
Fournissez des solutions de filtration à haute efficacité telles que HEPA qui correspondent à la structure EFU.
Configurez le module de contrôle électrostatique et les fonctions de détection associées en fonction des exigences du projet.
Prend en charge le réglage continu de la vitesse, le contrôle d'une seule machine, le contrôle de groupe et le contrôle de la communication.
Fabriquer des boîtes et des structures fixes selon la structure du produit et les exigences d'installation.
Assemblage complet du produit, inspection et confirmation des paramètres techniques.
Comment choisir un EFU antistatique ?
01 Utilisation du matériel |
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02 niveau de propreté |
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03 Vitesse du vent cible |
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04 niveau de filtre |
05 Exigences en matière de contrôle de l'électricité statique |
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06 Dimensions d'installation |
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07 Méthode de contrôle |
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08 Fonction de détection |
Nom de l'équipement · Emplacement d'installation · Niveau de propreté · Taille de l'EFU · Vitesse du vent cible · Niveau de filtre · Exigences de contrôle de l'électricité statique · Alimentation électrique · Méthode de contrôle · Exigences de communication · Si une détection en ligne est requise
Sur la base de ces informations, la configuration EFU antistatique peut être adaptée avec plus de précision.
L'EFU antistatique est une unité d'alimentation en air pur côté équipement qui ajoute une fonction de contrôle électrostatique à l'unité de filtre du ventilateur. Il intègre un ventilateur EC, un filtre haute efficacité et un module électrostatique dans un seul appareil pour répondre à la fois aux besoins spécifiques d'alimentation en air propre et de contrôle électrostatique.
Il est principalement utilisé dans les équipements et les environnements de production qui nécessitent à la fois un air propre et un environnement électrostatique, tels que les équipements semi-conducteurs, les machines de placement, la fabrication électronique, les équipements optoélectroniques et la fabrication de précision.
Les spécifications du produit existantes sont équipées d'un filtre à haute efficacité H14, la taille du filtre est de 450 × 450 × 70 + 10 mm, le matériau filtrant est en fibre de verre ultra-fine et l'efficacité de filtration est enregistrée à 99,99 % à 0,3 μm. En tant que fabricant d'EFU à chaîne industrielle complète, Aili Industry peut entièrement personnaliser en fonction de vos besoins.
Le temps de dissipation de l'électricité statique enregistré dans les spécifications du produit existantes est <10S et les conditions de test sont de ±1000V à ±100V, la vitesse du vent face à 0,45 m/s ±20% et une distance de 30 cm de la surface de sortie d'air. Les performances spécifiques du produit doivent être soumises aux conditions réelles de test du produit et aux documents techniques.
Les spécifications existantes enregistrent une tension d'équilibre de ≤|±100V|, correspondant à des conditions de test spécifiques. Les paramètres électrostatiques en utilisation réelle seront affectés par la distance d'installation, la vitesse du vent, les conditions environnementales et la configuration du produit.
Peut. Le système de contrôle existant prend en charge la régulation continue de la vitesse et peut ajuster l'état de fonctionnement du ventilateur EC en fonction des exigences d'alimentation en air du côté de l'équipement.
Peut. Le système de contrôle du produit prend en charge le contrôle unique et le contrôle de groupe, ainsi que le contrôle de partition et la communication 485, et peut être configuré en fonction des exigences du système du projet.
Le système de contrôle existant prend en charge le protocole standard Modbus-RTU, qui peut réaliser la communication du démarrage/arrêt FFU, du réglage de la vitesse, du courant en temps réel, de la vitesse en temps réel et d'autres données.
Un détecteur électrostatique en ligne peut être sélectionné en fonction des exigences du projet. Les spécifications du produit répertorient également le détecteur de particules en ligne comme élément facultatif.
La conception structurelle peut être réalisée en fonction de l'espace d'installation de l'équipement, de la taille du filtre, de la configuration du ventilateur et des exigences du projet. Les spécifications des produits existants incluent une configuration EFU de 450 × 450 × 160 mm. La taille spécifique peut être confirmée en fonction du projet réel.
La configuration des spécifications existantes utilise un moteur à rotor interne EC, l'alimentation électrique est de 220 V/50 Hz, la puissance nominale est de 150 W et la roue est une roue métallique. Les configurations peuvent varier selon le modèle et le projet.
Lors de la sélection, il est recommandé de fournir des informations telles que l'espace d'installation de l'équipement, le niveau de propreté, la vitesse du vent cible, le niveau de filtre, les exigences de contrôle électrostatique, l'alimentation électrique, la méthode de contrôle et si des tests en ligne sont requis, et le personnel d'ingénierie le configurera en fonction de conditions de travail spécifiques.
Le prix du produit est lié à des facteurs tels que la taille, le filtre, le ventilateur, le moteur, le module électrostatique, la méthode de contrôle et les fonctions de détection optionnelles. Il est recommandé de fournir les paramètres spécifiques du projet avant la configuration et le devis.
Si votre équipement se concentre également sur l'air pur, le contrôle de l'électricité statique, le réglage du volume d'air et l'espace de l'équipement , vous pouvez envoyer les paramètres du projet à Aili Industrial.
Nous pouvons vous aider à confirmer en fonction des conditions de votre équipement :
Taille EFU · Filtre H14 · Ventilateur EC · Module électrostatique · Vitesse du vent · Méthode de contrôle · Fonction de communication · Détection en ligne