L'espace interne des équipements EFEM est compact et FFU doit répondre aux exigences de dégagement interne, de circulation d'air et de niveau de propreté. Le microenvironnement EFEM nécessite généralement une grande propreté et la disposition des FFU doit être coordonnée avec le mécanisme de manipulation des plaquettes, le chemin d'air de retour et le contrôle de la pression. Cet article explique la vérification de l'espace, l'organisation du flux d'air et les niveaux de propreté, et organise les données de vérification du projet et les points de jugement sur site. Aili Industrial dispose de capacités de production complètes de machines complètes FFU et de support côté équipement, et peut fournir des solutions d'alimentation en air ultra-minces ou personnalisées basées sur la structure interne d'EFEM. Bienvenue à contacter Aili Industrial pour le support du projet.
La comparaison entre les châssis de ventilateurs CC et CA doit être effectuée sous les mêmes volume d'air, pression statique et durée de fonctionnement, en se concentrant sur la vérification de la puissance globale de la machine, de la méthode de réglage de la vitesse, de l'interface de contrôle et des conditions de maintenance. Si l'ancien équipement sur site repose pendant une longue période sur l'étranglement des vannes, mesurez d'abord le volume et la pression d'air réels du terminal avant de discuter de la modification. La différence apparaît généralement dans la stratégie de contrôle et le mode de fonctionnement. La conversion de fréquence CA peut également ajuster la vitesse, et la solution CC n'économise pas naturellement de l'énergie. La conclusion du marché doit énumérer l'alimentation électrique, le protocole de contrôle, le point de fonctionnement, le bruit, l'interface du boîtier et l'investissement total dans le même tableau comparatif, et indiquer les conditions de test. Aili Industrial a la capacité de prendre en charge de manière indépendante les ventilateurs, les moteurs, les commandes et la tôle. Il peut calibrer les roues, les moteurs, les entraînements et les armoires au même point de fonctionnement et fournir des données complètes de test de la machine en fonction des conditions du projet, permettant ainsi aux comparaisons entre le courant continu et le courant alternatif d'être basées sur des données machine complètes et vérifiables.
Cet article se concentre sur la méthode de sélection des EFU de petite taille et propose que les quatre points clés que sont l'ouverture de l'équipement, le volume d'air cible, la zone de filtration et l'interface de contrôle soient confirmés de manière inverse au lieu de sélectionner d'abord les produits standard. L'article explique que l'ouverture de l'équipement détermine la limite extérieure de la boîte. Le volume d'air doit être confirmé en fonction de la zone cible et de la résistance du système. La zone de filtration affecte directement la vitesse de l'air en surface, la résistance et la durée de vie du filtre. L'interface de contrôle détermine si elle peut être liée au système d'équipement. Il répertorie également les malentendus courants en matière de sélection et les configurations de différents scénarios d'équipement. direction, et recommande également des pages de produits connexes telles que l'EFU de petite taille Aili Industrial, l'EFU ultra-mince, l'EFU DC, l'EFU encliquetable, l'EFU de machine de placement SMT, l'EFU antistatique, le contrôleur de type 86 et l'EFU personnalisé pour faciliter aux utilisateurs une sélection plus approfondie en fonction des scénarios d'application.
L'objectif de la configuration de l'EFU pour les équipements de lithographie n'est pas simplement d'augmenter le volume d'air, mais d'établir un flux d'air propre local stable, bien dirigé et vérifiable autour des zones sensibles telles que le transport, le positionnement et la détection des plaquettes. L'article présente la méthode de conception sous les aspects de chemin de pollution, de limite d'alimentation en air, d'uniformité de la vitesse du vent, d'interface spatiale, de configuration de filtration et de liaison des équipements.
HEPA et ULPA sont les deux filtres à air terminaux les plus essentiels dans les salles blanches. La principale différence entre les deux réside dans la précision de la filtration et les scénarios applicables. HEPA (filtre à haute efficacité) a une efficacité de filtration de particules de 0,3 μm ≥99,97 %, correspondant aux niveaux H13/H14, et convient aux environnements propres ISO 5-9. Les applications typiques incluent les ateliers pharmaceutiques, les salles d’opération des hôpitaux et la transformation des aliments. ULPA (filtre à ultra-haute efficacité) a une efficacité de filtration de particules de 0,12 μm ≥99,9995 %, correspondant aux niveaux U15/U16, et convient aux environnements ultra-propres ISO 1-4. Les applications typiques incluent la lithographie des semi-conducteurs et les laboratoires de biosécurité. Le coût d'achat de l'ULPA est environ 2,5 à 3,5 fois supérieur à celui du HEPA et la résistance initiale est environ 30 % plus élevée. La sélection doit être basée sur un jugement global basé sur les exigences réelles en matière de niveau de propreté, la sensibilité du processus et la compatibilité du système. Tous les scénarios n'exigent pas que le niveau HEPA ULPA - H14 pour les salles blanches ISO niveau 5 (niveau 100) réponde pleinement aux normes.
La principale différence entre les filtres à haute efficacité avec cloisons et les filtres à haute efficacité sans cloisons réside dans la structure de séparation des matériaux filtrants. Les filtres avec cloisons utilisent des cloisons ondulées pour soutenir le matériau filtrant, tandis que les filtres sans cloisons utilisent des lignes de colle ou d'autres séparateurs pour former des canaux filtrants. Les deux peuvent être utilisés dans différents systèmes de filtration d’air propre en fonction des configurations spécifiques du produit. La sélection réelle ne doit pas seulement porter sur la structure, mais doit également prendre en compte de manière globale l'efficacité de la filtration, le volume d'air du système, la résistance initiale, la taille du filtre, l'espace d'installation et l'environnement d'utilisation. Pour différentes applications telles que les salles blanches, les équipements CVC, FFU, EFU et semi-conducteurs, la structure de filtre appropriée doit être sélectionnée en fonction des paramètres du projet. Aili Industry peut combiner des filtres à haute efficacité, ULPA, FFU et EFU et d'autres produits pour fournir aux clients une configuration de produits de filtration d'air correspondante et une assistance à la sélection.