Quelles exigences d’espace et de propreté doivent être prises en compte lors de l’utilisation de FFU dans des équipements EFEM ?

L'EFEM a des exigences différentes en matière de FFU par rapport aux salles blanches ordinaires

EFEM est le module frontal de l'équipement utilisé pour gérer les tranches entre le FOUP et l'équipement de traitement. L’intérieur de l’EFEM est un micro-environnement avec un espace compact et des exigences élevées en matière de propreté. La propreté interne de certains EFEM peut atteindre le niveau ISO Classe 1-4-10。

Lors de l’utilisation du FFU dans l’EFEM, il ne peut pas être manipulé de la même manière que le FFU ordinaire pour plafond de salle blanche. L'espace interne de l'EFEM est limité et le FFU doit coopérer avec la plage d'action du mécanisme de manipulation des plaquettes, le chemin de circulation d'air interne et le contrôle de la pression. La taille, la méthode d'installation et la direction de l'alimentation en air du FFU doivent correspondre à la structure de l'EFEM.

Par conséquent, lors de l’utilisation de FFU dans EFEM, les exigences d’espace et de propreté doivent être prises en compte. Aili Industrial dispose de capacités de production complètes de machines complètes FFU et de support côté équipement, et peut fournir des solutions d'alimentation en air ultra-minces ou personnalisées basées sur la structure interne d'EFEM. Pour la structure de base de la machine FFU, veuillez vous référer àUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU。

Comment vérifier le jeu interne

L'espace à l'intérieur de l'EFEM est généralement occupé par des robots de manipulation de plaquettes, des rails de guidage, des ports de chargement et des capteurs. Lorsque FFU est installé sur le dessus ou sur le côté de l'EFEM, les conditions de dégagement suivantes doivent être confirmées : si la hauteur de la machine FFU correspond à l'espace supérieur de l'EFEM ; la distance entre l'entrée d'air du FFU et la structure supérieure de l'EFEM ; la distance entre la surface de sortie d'air FFU et le point le plus élevé du mécanisme de manipulation des tranches ; si le FFU affecte la trajectoire de mouvement du robot ; et l'espace opérationnel requis pour la maintenance du FFU et le remplacement du filtre.

L'espace interne de l'EFEM est compact et les FFU conventionnels ne peuvent pas être installés. Une unité d'alimentation en air dédiée ultra-mince FFU ou EFEM personnalisée peut être plus adaptée. Pour les applications avec un espace extrêmement limité, vous pouvez vous référer àEFU ultra-mince de 70 mm etPersonnalisez l'unité de filtre de ventilateur côté équipement EFU pour comprendre la solution compacte.

Comment s’organise le parcours de circulation de l’air ?

L'organisation du flux d'air à l'intérieur de l'EFEM adopte généralement la méthode de circulation. Le FFU fournit de l'air vers le bas depuis le haut de l'EFEM. Une fois que le flux d'air a traversé la zone de manipulation des tranches, il revient par le chemin de retour d'air inférieur ou latéral, puis circule à travers le FFU. Cette méthode de circulation peut réduire l'entrée de gaz externe et maintenir la propreté du microenvironnement interne-9。

La conception du trajet du flux d'air doit prendre en compte : si la direction de l'alimentation en air du FFU correspond à la zone de manipulation des plaquettes ; si le chemin de retour d'air est bloqué par des mécanismes ou des câbles ; si le flux d'air peut couvrir des zones clés sans générer de turbulences ; si une filtration locale ou une filtration chimique est requise.

Si EFEM utilise un environnement de gaz inerte, le système de circulation d'air doit être complètement fermé et le FFU et le chemin d'air de retour forment une boucle fermée.-11。

Comment correspondre aux niveaux de propreté

Les exigences de l’EFEM en matière de propreté interne sont généralement plus élevées. La propreté interne de certains EFEM peut atteindre les niveaux ISO Classe 1 ou Classe 2 -4-18. Cela signifie que les filtres correspondant au FFU doivent répondre aux exigences d'efficacité correspondantes, et que l'étanchéité et l'installation doivent également répondre à des normes plus élevées.

Le niveau d'efficacité, la méthode d'étanchéité et la qualité d'installation du filtre FFU affectent directement la propreté interne de l'EFEM. Le test d'étanchéité du filtre en usine n'est que la base, et l'intégrité de l'étanchéité après l'installation doit également être confirmée. Pour plus de détails, veuillez vous référer àSi l'élément filtrant FFU réussit le test de fuite, pourquoi le joint d'installation doit-il être vérifié (Remarque : ce lien est un exemple de la page produit du filtre, veuillez vous référer à la page correspondante sur le site pour un contenu spécifique).

Comment coopérer avec le contrôle de la pression

Une pression positive est généralement maintenue à l'intérieur de l'EFEM pour empêcher l'air non filtré d'entrer -16. L’équilibre entre le volume d’air soufflé et le volume d’air repris FFU détermine la pression interne. Si le volume d’air soufflé FFU est supérieur au volume d’air repris, une pression positive se formera à l’intérieur. Si l'air de retour n'est pas régulier, la pression peut augmenter.

La relation de pression entre l'EFEM et le FOUP doit également être confirmée. Lorsque le FOUP est allumé, la pression interne de l'EFEM doit être légèrement supérieure à la pression interne du FOUP ou maintenir une relation appropriée pour empêcher les particules de pénétrer dans l'EFEM à partir du FOUP, ou de l'EFEM entrant dans le FOUP.-3。

Comment prendre en compte les vibrations et le bruit

EFEM contient des robots de manipulation de plaquettes de précision. Les vibrations pendant le fonctionnement du FFU peuvent affecter la précision du positionnement du robot ou la stabilité de la manipulation des plaquettes. Si le FFU est monté directement sur la structure EFEM, des vibrations peuvent être transmises au robot.

Les mesures de réduction des vibrations peuvent envisager des coussinets absorbant les vibrations, une installation flexible ou le choix de ventilateurs à faibles vibrations. Si EFEM a des exigences de vibration plus élevées, les données de vibration FFU et la méthode d'installation peuvent être confirmées lors de la phase de sélection.

Comment réserver un espace de maintenance

Le FFU à l'intérieur de l'EFEM nécessite un entretien régulier, y compris le remplacement du filtre et l'inspection des ventilateurs. L'espace de maintenance doit être réservé pendant la phase de conception. Si le FFU est installé au-dessus de l'EFEM, le remplacement du filtre nécessite un accès par le haut. Si l’espace est insuffisant, il peut être nécessaire de concevoir une structure amovible ou un mode de maintien latéral.

Le FFU déroulant permet le remplacement du filtre d'un côté de l'unité, réduisant ainsi le besoin d'un accès par le haut. Les structures associées peuvent être référencéesFFU détachable sait l'entretenir.

Problèmes qui doivent être confirmés à l'avance lors de la communication du projet

Lors de la phase de conception de la solution FFU de l'équipement EFEM, il est recommandé de confirmer les éléments suivants auprès du fabricant de la FFU et de l'équipement : taille du jeu interne de l'EFEM ; plage de mouvement du mécanisme de manipulation des plaquettes ; Emplacement et méthode d'installation du FFU ; chemin de circulation du flux d'air ; niveau de propreté cible ; exigences en matière de contrôle de la pression ; exigences en matière de vibrations et de bruit ; espace et méthode de maintenance ; si un environnement de gaz inerte est requis ; si une filtration chimique est nécessaire.

Si vous sélectionnez FFU ou EFU pour votre appareil EFEM, vous pouvez visiterUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU pour en savoir plus sur la configuration complète de la machine, vous pouvez également vous référer àEFU ultra-mince de 70 mm etPersonnalisez l'unité de filtre de ventilateur côté équipement EFU pour en savoir plus sur la solution compacte côté équipement, ou contactez Aili Industrial pour obtenir l'assistance EFEM.

en conclusion

Lors de l'utilisation de FFU dans des équipements EFEM, les exigences d'espace et de propreté doivent être prises en compte. Le jeu interne, les voies de circulation de l’air, les niveaux de propreté, le contrôle de la pression, les espaces de vibration et de maintenance sont autant de conditions à vérifier. L'espace interne de l'EFEM est compact, ce qui peut nécessiter des solutions FFU ultra fines ou personnalisées. Les exigences en matière de niveaux de propreté sont relativement élevées et les filtres et les joints d'installation doivent répondre aux normes correspondantes.

Aili Industrial dispose de capacités de production complètes de machines complètes FFU et de support côté équipement, et peut fournir des solutions d'alimentation en air ultra-minces ou personnalisées basées sur la structure interne d'EFEM. Si vous avez besoin d'en savoir plus sur l'application FFU des équipements EFEM, vous pouvez visiterUnité de filtre de ventilateur Aili Industrial FFU , vous êtes également invités à contacter Aili Industrial pour une assistance au projet.