¿Qué requisitos de espacio y limpieza se deben considerar al utilizar FFU en equipos EFEM?
EFEM tiene requisitos diferentes para FFU que las salas limpias ordinarias
EFEM es el módulo frontal del equipo que se utiliza para manejar obleas entre el FOUP y el equipo de proceso. El interior de EFEM es un microambiente con espacio compacto y altas exigencias de limpieza. La limpieza interna de algunos EFEM puede alcanzar el nivel ISO Clase 1-4-10。
Cuando se utiliza FFU en EFEM, no se puede manejar de la misma manera que las FFU de techo ordinarias para salas blancas. El espacio interno de EFEM es limitado y FFU necesita cooperar con el rango de acción del mecanismo de manipulación de obleas, la ruta de circulación de aire interna y el control de presión. El tamaño, el método de instalación y la dirección del suministro de aire de la FFU deben coincidir con la estructura de EFEM.
Por lo tanto, cuando se utiliza FFU en EFEM, se deben considerar tanto los requisitos de espacio como los de limpieza. Aili Industrial tiene capacidades de producción completas en máquinas completas FFU y soporte del lado del equipo, y puede proporcionar soluciones de suministro de aire ultrafinas o personalizadas basadas en la estructura interna de EFEM. Para conocer la estructura básica de la máquina FFU, puede consultarUnidad de filtrado de ventilador Aili Industrial FFU。
Cómo comprobar el juego interno
El espacio dentro del EFEM suele estar ocupado por robots de manipulación de obleas, carriles guía, puertos de carga y sensores. Cuando se instala FFU en la parte superior o lateral del EFEM, se deben confirmar las siguientes condiciones de espacio libre: si la altura de la máquina FFU coincide con el espacio superior del EFEM; la distancia entre la entrada de aire de la FFU y la estructura superior del EFEM; la distancia entre la superficie de salida de aire de la FFU y el punto más alto del mecanismo de manipulación de oblea; si la FFU afecta la trayectoria de movimiento del robot; y el espacio operativo requerido para el mantenimiento de la FFU y el reemplazo del filtro.
El espacio interno de EFEM es compacto y no se pueden instalar FFU convencionales. Una FFU ultrafina o una unidad de suministro de aire dedicada EFEM personalizada pueden ser más adecuadas. Para aplicaciones con espacio extremadamente limitado, puede consultarEFU ultrafino de 70 mm yPersonalice la unidad de filtrado del ventilador del lado del equipo EFU para comprender la solución compacta.
¿Cómo se organiza la ruta de circulación del aire?
La organización del flujo de aire dentro de EFEM suele adoptar el método de circulación. La FFU suministra aire hacia abajo desde la parte superior del EFEM. Después de que el flujo de aire pasa a través del área de manipulación de obleas, regresa desde la ruta de aire de retorno inferior o lateral y luego circula a través de la FFU. Este método de circulación puede reducir la entrada de gas externo y mantener la limpieza del microambiente interno.-9。
El diseño de la ruta del flujo de aire debe considerar: si la dirección del suministro de aire de la FFU coincide con el área de manipulación de las obleas; si el camino del aire de retorno está bloqueado por mecanismos o cables; si el flujo de aire puede cubrir áreas clave sin generar turbulencias; si se requiere filtración local o filtración química.
Si EFEM utiliza un entorno de gas inerte, el sistema de circulación de aire debe estar completamente cerrado y la FFU y la ruta de aire de retorno forman un circuito cerrado.-11。
Cómo corresponder a los niveles de limpieza.
Los requisitos de nivel de limpieza interna de EFEM suelen ser mayores. La limpieza interna de algunos EFEM puede alcanzar los niveles ISO Clase 1 o Clase 2 -4-18. Esto significa que los filtros que coinciden con FFU deben cumplir con los requisitos de eficiencia correspondientes, y el sellado y la instalación también deben cumplir estándares más altos.
El nivel de eficiencia, el método de sellado y la calidad de instalación del filtro FFU afectan directamente la limpieza interna del EFEM. La prueba de fugas del filtro en fábrica es solo la base y también es necesario confirmar la integridad del sellado después de la instalación. Para más detalles, consulteSi el elemento filtrante FFU pasa la prueba de fugas, ¿por qué se debe verificar el sello de instalación? (Nota: este enlace es un ejemplo de la página del producto del filtro; consulte la página correspondiente en el sitio para obtener contenido específico).
Cómo cooperar con el control de presión
Generalmente se mantiene una presión positiva dentro del EFEM para evitar que entre aire sin filtrar -16. El equilibrio entre el volumen de aire de suministro y el volumen de aire de retorno de la FFU determina la presión interna. Si el volumen de aire de suministro de la FFU es mayor que el volumen de aire de retorno, se formará una presión positiva en el interior. Si el aire de retorno no es suave, la presión puede aumentar.
También es necesario confirmar la relación de presión entre EFEM y FOUP. Cuando el FOUP está encendido, la presión interna del EFEM debe ser ligeramente mayor que la presión interna del FOUP o mantener una relación adecuada para evitar que entren partículas al EFEM desde el FOUP o que el EFEM ingrese al FOUP.-3。
Cómo considerar la vibración y el ruido
EFEM contiene robots de manipulación de obleas de precisión. La vibración durante el funcionamiento de la FFU puede afectar la precisión del posicionamiento del robot o la estabilidad del manejo de las obleas. Si la FFU se monta directamente sobre la estructura EFEM, se pueden transmitir vibraciones al robot.
Las medidas de reducción de vibraciones pueden considerar almohadillas absorbentes de vibraciones, instalación flexible o elegir ventiladores de baja vibración. Si EFEM tiene requisitos de vibración más altos, los datos de vibración de FFU y el método de instalación se pueden confirmar durante la etapa de selección.
Cómo reservar espacio de mantenimiento
La FFU dentro del EFEM requiere mantenimiento regular, incluido el reemplazo del filtro y la inspección del ventilador. Es necesario reservar espacio de mantenimiento durante la fase de diseño. Si la FFU está instalada encima del EFEM, el reemplazo del filtro requiere acceso desde la parte superior. Si no hay suficiente espacio, puede ser necesario diseñar una estructura desmontable o un método de mantenimiento lateral.
La FFU desplegable permite el reemplazo del filtro desde un lado de la unidad, lo que reduce la necesidad de acceso superior. Se puede hacer referencia a estructuras relacionadasLa FFU desmontable sabe cómo mantenerla.
Cuestiones que deben confirmarse con antelación durante la comunicación del proyecto
En la etapa de diseño de la solución FFU del equipo EFEM, se recomienda confirmar lo siguiente con el fabricante de la FFU y con el lado del equipo: tamaño del espacio libre interno de EFEM; rango de movimiento del mecanismo de manipulación de obleas; Ubicación y método de instalación de FFU; ruta de circulación del flujo de aire; nivel de limpieza objetivo; requisitos de control de presión; requisitos de vibración y ruido; espacio y método de mantenimiento; si se requiere un entorno de gas inerte; si se requiere filtración química.
Si selecciona FFU o EFU para su dispositivo EFEM, puede visitarUnidad de filtro de ventilador Aili Industrial FFU para conocer la configuración completa de la máquina, también puede consultarEFU ultrafino de 70 mm yPersonalice la unidad de filtro de ventilador del lado del equipo EFU para conocer la solución compacta del lado del equipo, o comuníquese con Aili Industrial para obtener soporte de soporte de EFEM.
en conclusión
Cuando se utiliza FFU en equipos EFEM, se deben considerar tanto los requisitos de espacio como de limpieza. El espacio libre interno, las rutas de circulación de aire, los niveles de limpieza, el control de presión, la vibración y los espacios de mantenimiento son condiciones que deben verificarse. El espacio interno de EFEM es compacto, lo que puede requerir soluciones FFU ultrafinas o personalizadas. Los requisitos de limpieza son relativamente altos y los filtros y las juntas de instalación deben cumplir las normas correspondientes.
Aili Industrial tiene capacidades de producción completas en máquinas completas FFU y soporte del lado del equipo, y puede proporcionar soluciones de suministro de aire ultrafinas o personalizadas basadas en la estructura interna de EFEM. Si necesita saber más sobre la aplicación FFU de equipos EFEM, puede visitarUnidad de filtro de ventilador FFU de Aili Industrial , también puede comunicarse con Aili Industrial para obtener soporte en el proyecto.
