EFEM 装置で FFU を使用する場合、どのようなスペースと清浄度の要件を考慮する必要がありますか?

EFEM では、FFU に対する通常のクリーン ルームとは異なる要件があります。

EFEM は、FOUP とプロセス装置の間でウェーハを処理するために使用される装置のフロントエンド モジュールです。 EFEM の内部は、コンパクトなスペースと高い清浄度要件を備えた微環境です。一部の EFEM の内部清浄度は ISO クラス 1 レベルに達する可能性があります-4-10。

EFEMでFFUを使用する場合、通常のクリーンルーム天井用FFUと同じように扱うことはできません。 EFEM の内部空間は限られており、FFU はウェーハハンドリング機構の動作範囲、内部の空気循環経路、圧力制御などと連携する必要があります。 FFUのサイズ、設置方法、給気方向はEFEMの構造に合わせる必要があります。

したがって、EFEM で FFU を使用する場合は、スペース要件と清浄度要件の両方を考慮する必要があります。 Aili Industrial は、FFU 完成機および装置側のサポートにおける完全な生産能力を備えており、EFEM の内部構造に基づいて超薄型またはカスタマイズされた空気供給ソリューションを提供できます。 FFUマシンの基本構造については、こちらをご覧ください。Aili Industrial FFUファンフィルターユニット。

内部すきまの確認方法

EFEM 内のスペースは通常、ウェーハハンドリングロボット、ガイドレール、ローディングポート、センサーによって占められています。 FFU を EFEM の上部または側面に取り付ける場合は、次のクリアランス条件を確認する必要があります。FFU マシンの高さが EFEM の上部スペースと一致しているかどうか。 FFU 空気入口と EFEM の上部構造の間の距離。 FFU 空気出口表面とウェーハハンドリング機構の最高点の間の距離。 FFU がロボットの動作軌道に影響を与えるかどうか。 FFUのメンテナンスやフィルター交換に必要な作業スペースも確保できます。

EFEMの内部空間はコンパクトであり、従来のFFUを搭載することができません。超薄型 FFU またはカスタマイズされた EFEM 専用空気供給ユニットの方が適している場合があります。スペースが非常に限られているアプリケーションの場合は、以下を参照してください。70mm超薄型EFUとEFU 機器側のファン フィルター ユニットをカスタマイズします。コンパクトなソリューションを理解するために、

空気の循環経路はどのように構成されているのでしょうか？

EFEM内部の気流機構は通常循環方式を採用しています。 FFU は EFEM の上部から下向きに空気を供給します。空気流はウェーハハンドリングエリアを通過した後、底部または側面の戻り空気路から戻り、FFU を循環します。この循環方式により外部からのガスの侵入を軽減し、内部の微環境を清浄に保つことができます。-9。

エアフロー パスの設計では、FFU のエア供給方向がウェーハ ハンドリング エリアと一致するかどうかを考慮する必要があります。空気の戻り経路が機構やケーブルによってブロックされているかどうか。気流が乱気流を発生させることなく重要なエリアをカバーできるかどうか。局所濾過が必要か化学濾過が必要か。

EFEM が不活性ガス環境を使用する場合、空気循環システムを完全に閉じる必要があり、FFU と戻り空気経路が閉ループを形成します。-11。

清浄度レベルへの対応方法

EFEM の内部清浄度レベルの要件は通常より高くなります。一部の EFEM の内部清浄度は ISO クラス 1 またはクラス 2 レベルに達することがあります-4-18。これは、FFU に適合するフィルターが対応する効率要件を満たす必要があり、シーリングと取り付けもより高い基準を満たす必要があることを意味します。

FFU フィルターの効率レベル、シール方法、取り付け品質は、EFEM の内部清浄度に直接影響します。工場でのフィルタのリークテストはあくまでも基礎であり、取り付け後のシールの完全性も確認する必要があります。詳細については、を参照してください。FFU フィルタ エレメントがリーク テストに合格した場合、なぜ取り付けシールをチェックする必要があるのですか(注: このリンクはフィルタ製品ページの例です。具体的な内容については、サイト上の対応するページを参照してください)。

圧力制御との連携方法

通常、ろ過されていない空気の侵入を防ぐために、EFEM 内は正圧に維持されます-16。 FFUの供給空気量と戻り空気量のバランスにより内圧が決まります。 FFUの供給空気量が戻り空気量より大きい場合、内部に正圧が形成されます。戻り空気がスムーズでないと圧力が上昇する可能性があります。

EFEMとFOUPの間の圧力関係も確認する必要があります。 FOUP の電源が入っているとき、EFEM の内圧は FOUP の内圧よりわずかに高くするか、粒子が FOUP から EFEM に侵入したり、EFEM から FOUP に侵入したりするのを防ぐために適切な関係を維持する必要があります。-3。

振動と騒音をどう考えるか

EFEM には高精度のウェーハハンドリングロボットが含まれています。 FFU 動作中の振動は、ロボットの位置決め精度やウェーハハンドリングの安定性に影響を与える可能性があります。 FFU を EFEM 構造体に直接取り付けると、ロボットに振動が伝わる可能性があります。

振動低減対策としては、振動吸収パッド、柔軟な設置、低振動ファンの選択などが考えられます。 EFEM の振動要件が高い場合は、FFU の振動データと設置方法を選択段階で確認できます。

メンテナンススペースの予約方法

EFEM 内の FFU には、フィルタの交換やファンの検査などの定期的なメンテナンスが必要です。設計段階でメンテナンススペースを確保する必要があります。 FFU が EFEM の上部に取り付けられている場合、フィルターの交換には上部からアクセスする必要があります。スペースが不足する場合は、取り外し可能な構造や横方向のメンテナンス方法の設計が必要になる場合があります。

ドロップダウン FFU により、ユニットの片側からフィルターを交換できるため、上からアクセスする必要性が軽減されます。関連する構造を参照できます取り外し可能な FFUメンテナンス方法を学びます。

プロジェクトコミュニケーション時に事前に確認すべき事項

EFEM 機器の FFU ソリューションの設計段階では、FFU のメーカーおよび機器側に次の点を確認することをお勧めします。 EFEM の内部クリアランス サイズ。ウェーハハンドリング機構の移動範囲。 FFUの設置場所と設置方法。空気流循環経路。目標の清浄度レベル。圧力制御要件。振動と騒音の要件。メンテナンススペースと方法。不活性ガス環境が必要かどうか。化学濾過が必要かどうか。

EFEM デバイスに FFU または EFU を選択している場合は、次のサイトにアクセスしてください。Aili Industrial FFU ファン フィルター ユニットの完全なマシン構成については、こちらも参照してください。70mm超薄型EFUとEFU 機器側ファン フィルター ユニットをカスタマイズして機器側のコンパクト ソリューションについて学ぶか、Aili Industrial に問い合わせて EFEM サポート サポートを取得してください。

結論は

EFEM 装置で FFU を使用する場合は、スペースと清浄度の両方の要件を考慮する必要があります。内部クリアランス、空気循環経路、清浄度、圧力管理、振動、メンテナンススペースなどを確認する必要があります。 EFEM の内部スペースはコンパクトであるため、超薄型またはカスタマイズされた FFU ソリューションが必要になる場合があります。清浄度レベルの要件は比較的高く、フィルターと取り付けシールは対応する基準を満たす必要があります。

Aili Industrial は、FFU 完成機および装置側のサポートにおける完全な生産能力を備えており、EFEM の内部構造に基づいて超薄型またはカスタマイズされた空気供給ソリューションを提供できます。 EFEM 機器の FFU アプリケーションについて詳しく知りたい場合は、次のサイトを参照してください。Aili Industrial FFU ファン フィルター ユニット、プロジェクト サポートについては、Aili Industrial にお問い合わせいただくことも歓迎します。