Welche Platz- und Sauberkeitsanforderungen müssen beim Einsatz von FFU in EFEM-Geräten berücksichtigt werden?
EFEM hat andere Anforderungen an FFU als gewöhnliche Reinräume
EFEM ist das Geräte-Frontend-Modul zur Handhabung von Wafern zwischen dem FOUP und der Prozessausrüstung. Der Innenraum von EFEM ist eine Mikroumgebung mit kompaktem Raum und hohen Anforderungen an Sauberkeit. Die interne Sauberkeit einiger EFEMs kann die ISO-Klasse 1 erreichen-4-10。
Bei der Verwendung von FFU in EFEM kann es nicht auf die gleiche Weise gehandhabt werden wie gewöhnliche Reinraumdecken-FFU. Der Innenraum von EFEM ist begrenzt und FFU muss mit dem Aktionsbereich des Wafer-Handhabungsmechanismus, dem internen Luftzirkulationspfad und der Drucksteuerung zusammenarbeiten. Größe, Installationsmethode und Luftzufuhrrichtung der FFU müssen zur EFEM-Struktur passen.
Daher müssen beim Einsatz von FFU in EFEM sowohl der Platzbedarf als auch die Sauberkeitsanforderungen berücksichtigt werden. Aili Industrial verfügt über umfassende Produktionskapazitäten für komplette FFU-Maschinen und geräteseitige Unterstützung und kann auf der Grundlage der internen Struktur von EFEM ultradünne oder kundenspezifische Luftversorgungslösungen anbieten. Den Grundaufbau der FFU-Maschine finden Sie unterAili Industrial FFU-Lüfterfiltereinheit。
So überprüfen Sie das Innenspiel
Der Raum innerhalb des EFEM wird normalerweise von Wafer-Handhabungsrobotern, Führungsschienen, Ladeöffnungen und Sensoren eingenommen. Wenn FFU oben oder seitlich am EFEM installiert wird, müssen die folgenden Freiraumbedingungen bestätigt werden: ob die Höhe der FFU-Maschine mit dem oberen Raum des EFEM übereinstimmt; der Abstand zwischen dem FFU-Lufteinlass und der oberen Struktur des EFEM; der Abstand zwischen der FFU-Luftauslassoberfläche und dem höchsten Punkt des Wafer-Handhabungsmechanismus; ob die FFU die Bewegungsbahn des Roboters beeinflusst; und der Betriebsraum, der für die FFU-Wartung und den Filterwechsel erforderlich ist.
Der Innenraum von EFEM ist kompakt und herkömmliche FFUs können möglicherweise nicht installiert werden. Eine ultradünne FFU oder eine kundenspezifische EFEM-Luftversorgungseinheit sind möglicherweise besser geeignet. Für Anwendungen mit extrem begrenztem Platzangebot können Sie sich an uns wenden70 mm ultradünnes EFU undPassen Sie die geräteseitige Lüfterfiltereinheit EFU individuell an , um die kompakte Lösung zu verstehen.
Wie ist der Luftzirkulationsweg organisiert?
Die Luftstromorganisation innerhalb von EFEM verwendet normalerweise die Zirkulationsmethode. Die FFU führt Luft von der Oberseite des EFEM nach unten zu. Nachdem der Luftstrom den Wafer-Handhabungsbereich passiert hat, kehrt er vom unteren oder seitlichen Rückluftweg zurück und zirkuliert dann durch die FFU. Diese Zirkulationsmethode kann den Eintritt von externem Gas reduzieren und die Sauberkeit der internen Mikroumgebung aufrechterhalten-9。
Bei der Gestaltung des Luftstrompfads muss Folgendes berücksichtigt werden: ob die FFU-Luftzufuhrrichtung mit dem Wafer-Handhabungsbereich übereinstimmt; ob der Rückluftweg durch Mechanismen oder Kabel blockiert ist; ob der Luftstrom wichtige Bereiche abdecken kann, ohne Turbulenzen zu erzeugen; ob eine lokale Filterung oder eine chemische Filterung erforderlich ist.
Wenn EFEM eine Inertgasumgebung verwendet, muss das Luftzirkulationssystem vollständig geschlossen sein und die FFU und der Rückluftweg einen geschlossenen Kreislauf bilden.-11。
So entsprechen Sie den Sauberkeitsstufen
Die Anforderungen an die interne Sauberkeit von EFEM sind in der Regel höher. Die interne Sauberkeit einiger EFEMs kann die Stufen ISO-Klasse 1 oder 2 erreichen -4-18. Das bedeutet, dass die zu FFU passenden Filter entsprechende Effizienzanforderungen erfüllen müssen und auch die Abdichtung und der Einbau höheren Ansprüchen genügen müssen.
Der Wirkungsgrad, die Dichtungsmethode und die Installationsqualität des FFU-Filters wirken sich direkt auf die interne Sauberkeit des EFEM aus. Der werkseitige Dichtheitstest des Filters ist nur die Grundlage, auch die Dichtigkeit nach dem Einbau muss bestätigt werden. Einzelheiten finden Sie unterWenn das FFU-Filterelement den Dichtheitstest besteht, warum sollte dann die Installationsdichtung überprüft werden (Hinweis: Dieser Link ist ein Beispiel für die Filterproduktseite, spezifische Inhalte finden Sie auf der entsprechenden Seite der Website).
So kooperieren Sie mit der Druckregelung
Normalerweise wird im EFEM ein Überdruck aufrechterhalten, um das Eindringen ungefilterter Luft zu verhindern -16. Das Gleichgewicht zwischen FFU-Zuluftvolumen und Rückluftvolumen bestimmt den Innendruck. Ist die FFU-Zuluftmenge größer als die Rückluftmenge, entsteht im Inneren ein Überdruck. Wenn die Rückluft nicht gleichmäßig ist, kann der Druck ansteigen.
Das Druckverhältnis zwischen EFEM und FOUP muss ebenfalls bestätigt werden. Wenn das FOUP eingeschaltet ist, sollte der Innendruck des EFEM etwas höher sein als der Innendruck des FOUP oder ein angemessenes Verhältnis aufrechterhalten, um zu verhindern, dass Partikel vom FOUP in das EFEM gelangen oder dass das EFEM in das FOUP gelangt.-3。
Wie sind Vibrationen und Lärm zu berücksichtigen?
EFEM enthält Präzisionsroboter für die Handhabung von Wafern. Vibrationen während des FFU-Betriebs können die Positionierungsgenauigkeit des Roboters oder die Stabilität der Waferhandhabung beeinträchtigen. Wenn die FFU direkt auf der EFEM-Struktur montiert ist, können Vibrationen auf den Roboter übertragen werden.
Maßnahmen zur Vibrationsreduzierung können vibrationsabsorbierende Unterlagen, eine flexible Installation oder die Wahl vibrationsarmer Ventilatoren sein. Wenn bei EFEM höhere Vibrationsanforderungen gelten, können die FFU-Vibrationsdaten und die Installationsmethode während der Auswahlphase bestätigt werden.
So reservieren Sie Wartungsplatz
Die FFU im EFEM erfordert regelmäßige Wartung, einschließlich Filterwechsel und Lüfterinspektion. Während der Entwurfsphase muss Wartungsraum reserviert werden. Wenn die FFU oben auf dem EFEM installiert ist, muss der Filterwechsel von oben erfolgen. Wenn nicht genügend Platz vorhanden ist, kann es erforderlich sein, eine abnehmbare Struktur oder eine seitliche Wartungsmethode zu entwerfen.
Die herunterklappbare FFU ermöglicht den Filterwechsel von einer Seite des Geräts aus, sodass kein Zugang von oben erforderlich ist. Auf verwandte Strukturen kann verwiesen werdenDie abnehmbare FFU weiß, wie man sie pflegt.
Probleme, die im Rahmen der Projektkommunikation vorab bestätigt werden sollten
In der Entwurfsphase der EFEM-Geräte-FFU-Lösung wird empfohlen, Folgendes mit dem FFU-Hersteller und der Geräteseite zu bestätigen: EFEM-Innenspielgröße; Bewegungsbereich des Wafer-Handhabungsmechanismus; FFU-Installationsort und -methode; Luftzirkulationspfad; angestrebter Sauberkeitsgrad; Druckkontrollanforderungen; Vibrations- und Geräuschanforderungen; Wartungsraum und -methode; ob eine Inertgasumgebung erforderlich ist; ob eine chemische Filterung erforderlich ist.
Wenn Sie FFU oder EFU für Ihr EFEM-Gerät auswählen, können Sie besuchenAili Industrial FFU-Lüfterfiltereinheit beziehenUm mehr über die komplette Maschinenkonfiguration zu erfahren, können Sie sich auch auf die 70 mm ultradünnes EFU undPassen Sie die geräteseitige Lüfterfiltereinheit von EFU individuell an, um mehr über die geräteseitige Kompaktlösung zu erfahren, oder wenden Sie sich an Aili Industrial, um unterstützende Unterstützung von EFEM zu erhalten.
abschließend
Bei der Verwendung von FFU in EFEM-Geräten müssen sowohl Platz- als auch Sauberkeitsanforderungen berücksichtigt werden. Innenspiel, Luftzirkulationswege, Reinheitsgrad, Druckkontrolle, Vibration und Wartungsräume sind alles Bedingungen, die überprüft werden müssen. Der Innenraum von EFEM ist kompakt, was möglicherweise ultradünne oder maßgeschneiderte FFU-Lösungen erfordert. Die Anforderungen an die Sauberkeit sind höher und der Filter und die Installationsdichtung müssen entsprechende Standards erfüllen.
Aili Industrial verfügt über umfassende Produktionskapazitäten für komplette FFU-Maschinen und geräteseitige Unterstützung und kann auf der Grundlage der internen Struktur von EFEM ultradünne oder maßgeschneiderte Luftversorgungslösungen anbieten. Wenn Sie mehr über die FFU-Anwendung von EFEM-Geräten erfahren möchten, besuchen SieAili Industrial FFU-Lüfterfiltereinheit , Sie können sich auch gerne an Aili Industrial wenden, um Projektunterstützung zu erhalten.
