ما هي متطلبات المساحة والنظافة التي يجب مراعاتها عند استخدام FFU في معدات EFEM؟

لدى EFEM متطلبات مختلفة لـ FFU عن الغرف النظيفة العادية

EFEM هي الوحدة الأمامية للمعدات المستخدمة للتعامل مع الرقائق بين FOUP ومعدات المعالجة. الجزء الداخلي من EFEM عبارة عن بيئة صغيرة ذات مساحة مدمجة ومتطلبات عالية للنظافة. يمكن أن تصل النظافة الداخلية لبعض EFEMs إلى مستوى ISO Class 1-4-10。

عند استخدام FFU في EFEM، لا يمكن التعامل معه بنفس طريقة التعامل مع FFU العادي لسقف الغرفة النظيفة. المساحة الداخلية لـ EFEM محدودة، ويحتاج FFU إلى التعاون مع نطاق عمل آلية معالجة الرقاقة ومسار دوران الهواء الداخلي والتحكم في الضغط. يجب أن يتطابق الحجم وطريقة التثبيت واتجاه إمداد الهواء لـ FFU مع هيكل EFEM.

لذلك، عند استخدام FFU في EFEM، يجب مراعاة متطلبات المساحة ومتطلبات النظافة. تتمتع Aili Industrial بقدرات إنتاجية كاملة في آلات FFU الكاملة والدعم من جانب المعدات، ويمكنها توفير حلول إمداد الهواء فائقة الدقة أو مخصصة بناءً على الهيكل الداخلي لـ EFEM. للتعرف على الهيكل الأساسي لجهاز FFU، يمكنك الرجوع إلىوحدة فلتر مروحة FFU الصناعية من Aili。

كيفية التحقق من التخليص الداخلي

عادةً ما يتم شغل المساحة داخل EFEM بواسطة روبوتات معالجة الرقاقات وقضبان التوجيه ومنافذ التحميل وأجهزة الاستشعار. عندما يتم تثبيت FFU على الجزء العلوي أو الجانبي من EFEM، يجب تأكيد شروط التخليص التالية: ما إذا كان ارتفاع آلة FFU يتطابق مع المساحة العلوية لـ EFEM؛ المسافة بين مدخل الهواء FFU والهيكل العلوي للEFEM؛ المسافة بين سطح مخرج الهواء FFU وأعلى نقطة في آلية معالجة الرقاقة؛ ما إذا كان FFU يؤثر على مسار حركة الروبوت؛ ومساحة التشغيل المطلوبة لصيانة FFU واستبدال الفلتر.

المساحة الداخلية لـ EFEM مضغوطة، وقد لا يتم تثبيت FFU التقليدي. قد تكون وحدة إمداد الهواء المخصصة FFU أو وحدة إمداد الهواء المخصصة EFEM أكثر ملاءمة. بالنسبة للتطبيقات ذات المساحة المحدودة للغاية، يمكنك الرجوع إلى70 ملم EFU وقم بتخصيص وحدة مرشح المروحة من جانب المعدات EFU لفهم الحل المدمج.

كيف يتم تنظيم مسار دوران الهواء؟

عادة ما يعتمد تنظيم تدفق الهواء داخل EFEM طريقة الدوران. يوفر FFU الهواء إلى الأسفل من أعلى EFEM. بعد أن يمر تدفق الهواء عبر منطقة معالجة الرقاقة، فإنه يعود من مسار الهواء العكسي السفلي أو الجانبي ثم يدور عبر FFU. يمكن لطريقة التدوير هذه أن تقلل من دخول الغاز الخارجي وتحافظ على نظافة البيئة الدقيقة الداخلية-9。

يجب أن يأخذ تصميم مسار تدفق الهواء في الاعتبار ما يلي: ما إذا كان اتجاه إمداد الهواء FFU يتطابق مع منطقة معالجة الرقاقة؛ ما إذا كان مسار الهواء العائد مسدودًا بواسطة الآليات أو الكابلات؛ وما إذا كان تدفق الهواء يمكنه تغطية المناطق الرئيسية دون توليد اضطرابات؛ سواء كان الترشيح المحلي أو الترشيح الكيميائي مطلوبًا.

إذا كان EFEM يستخدم بيئة غاز خامل، فيجب أن يكون نظام تدوير الهواء مغلقًا تمامًا، ويشكل FFU ومسار الهواء العائد حلقة مغلقة.-11。

كيفية التوافق مع مستويات النظافة

عادة ما تكون متطلبات مستوى النظافة الداخلية لـ EFEM أعلى. يمكن أن تصل النظافة الداخلية لبعض EFEMs إلى مستويات ISO Class 1 أو Class 2 -4-18. وهذا يعني أن المرشحات المطابقة لـ FFU تحتاج إلى تلبية متطلبات الكفاءة المقابلة، كما يحتاج الختم والتركيب أيضًا إلى تلبية معايير أعلى.

يؤثر مستوى الكفاءة وطريقة الختم وجودة التثبيت لمرشح FFU بشكل مباشر على النظافة الداخلية لـ EFEM. إن اختبار تسرب المصنع للمرشح هو الأساس فقط، ويجب أيضًا تأكيد سلامة الختم بعد التثبيت. لمزيد من التفاصيل، يرجى الرجوع إلىإذا اجتاز عنصر مرشح FFU اختبار التسرب، فلماذا يجب فحص ختم التثبيت (ملاحظة: هذا الرابط هو مثال لصفحة منتج الفلتر، يرجى الرجوع إلى الصفحة المقابلة على الموقع للحصول على محتوى محدد).

كيفية التعاون مع التحكم في الضغط

عادة ما يتم الحفاظ على الضغط الإيجابي داخل EFEM لمنع دخول الهواء غير المفلتر -16. يحدد توازن حجم هواء إمداد FFU وحجم الهواء العائد الضغط الداخلي. إذا كان حجم هواء إمداد FFU أكبر من حجم الهواء الراجع، فسيتم تشكيل ضغط إيجابي بالداخل. إذا لم يكن الهواء العائد سلسًا، فقد يرتفع الضغط.

يجب أيضًا تأكيد علاقة الضغط بين EFEM وFOUP. عند تشغيل FOUP، يجب أن يكون الضغط الداخلي لـ EFEM أعلى قليلاً من الضغط الداخلي لـ FOUP أو الحفاظ على علاقة مناسبة لمنع الجزيئات من دخول EFEM من FOUP، أو من EFEM إلى FOUP.-3。

كيفية النظر في الاهتزاز والضوضاء

يحتوي EFEM على روبوتات دقيقة للتعامل مع الرقاقات. قد يؤثر الاهتزاز أثناء تشغيل FFU على دقة تحديد موضع الروبوت أو استقرار معالجة الرقاقة. إذا تم تركيب FFU مباشرة على هيكل EFEM، فقد تنتقل الاهتزازات إلى الروبوت.

يمكن أن تأخذ تدابير تقليل الاهتزاز في الاعتبار منصات امتصاص الاهتزاز، أو التثبيت المرن، أو اختيار مراوح منخفضة الاهتزاز. إذا كان لدى EFEM متطلبات اهتزاز أعلى، فيمكن تأكيد بيانات اهتزاز FFU وطريقة التثبيت أثناء مرحلة الاختيار.

كيفية حجز مساحة الصيانة

يتطلب FFU الموجود داخل EFEM صيانة دورية، بما في ذلك استبدال الفلتر وفحص المروحة. يجب حجز مساحة الصيانة أثناء مرحلة التصميم. إذا تم تثبيت FFU أعلى EFEM، فإن استبدال الفلتر يتطلب الوصول من الأعلى. إذا لم تكن هناك مساحة كافية، فقد يكون من الضروري تصميم هيكل قابل للفصل أو طريقة صيانة جانبية.

تسمح وحدة FFU المنسدلة باستبدال الفلتر من جانب واحد للوحدة، مما يقلل الحاجة إلى الوصول من الأعلى. يمكن الإشارة إلى الهياكل ذات الصلةتعرف FFU القابلة للفصل كيفية الحفاظ عليها.

المشكلات التي يجب تأكيدها مسبقًا أثناء الاتصال بالمشروع

في مرحلة تصميم حل FFU لمعدات EFEM، يوصى بتأكيد ما يلي مع الشركة المصنعة لـ FFU وجانب المعدات: حجم التخليص الداخلي لـ EFEM؛ نطاق حركة آلية معالجة الرقاقة؛ موقع وطريقة تثبيت FFU؛ مسار دوران تدفق الهواء. مستوى النظافة المستهدف؛ متطلبات التحكم في الضغط؛ متطلبات الاهتزاز والضوضاء. مساحة وطريقة الصيانة؛ ما إذا كانت بيئة الغاز الخامل مطلوبة؛ ما إذا كان الترشيح الكيميائي مطلوبًا.

إذا كنت تقوم بتحديد FFU أو EFU لجهاز EFEM الخاص بك، فيمكنك زيارةوحدة مرشح مروحة Aili Industrial FFU للتعرف على التكوين الكامل للماكينة، يمكنك أيضًا الرجوع إلى70 ملم EFU وقم بتخصيص وحدة مرشح المروحة من جانب المعدات EFU للتعرف على الحل المدمج من جانب المعدات، أو اتصل بـ Aili Industrial للحصول على دعم دعم EFEM.

ختاماً

عند استخدام FFU في معدات EFEM، يجب مراعاة متطلبات المساحة والنظافة. الخلوص الداخلي، ومسارات دوران الهواء، ومستويات النظافة، والتحكم في الضغط، ومساحات الاهتزاز والصيانة، كلها شروط يجب التحقق منها. المساحة الداخلية لـ EFEM مضغوطة، مما قد يتطلب حلول FFU رفيعة جدًا أو مخصصة. متطلبات مستوى النظافة أعلى، ويجب أن يتوافق الفلتر وختم التثبيت مع المعايير المقابلة.

تتمتع Aili Industrial بقدرات إنتاجية كاملة في آلات FFU الكاملة والدعم من جانب المعدات، ويمكنها توفير حلول إمداد الهواء فائقة الدقة أو مخصصة بناءً على الهيكل الداخلي لـ EFEM. إذا كنت تريد معرفة المزيد عن تطبيق FFU لمعدات EFEM، فيمكنك زيارة الموقعوحدة مرشح المروحة Aili Industrial FFU ، نرحب أيضًا بالاتصال بـ Aili Industrial لدعم المشروع.