El espacio interno de los equipos EFEM es compacto y las FFU deben cumplir con los requisitos de espacio interno, ruta de circulación de aire y nivel de limpieza. El microambiente EFEM generalmente requiere una alta limpieza y el diseño de la FFU debe coordinarse con el mecanismo de manipulación de las obleas, la ruta del aire de retorno y el control de presión. Este artículo explica la verificación del espacio, la organización del flujo de aire y los niveles de limpieza, y organiza los datos de verificación del proyecto y los puntos de juicio en el sitio. Aili Industrial tiene capacidades de producción completas en máquinas completas FFU y soporte del lado del equipo, y puede proporcionar soluciones de suministro de aire ultrafinas o personalizadas basadas en la estructura interna de EFEM. Bienvenido a contactar a Aili Industrial para obtener soporte en el proyecto.
La comparación entre los chasis de ventiladores de CC y CA debe realizarse bajo el mismo volumen de aire, presión estática y tiempo de funcionamiento, centrándose en comprobar la potencia general de la máquina, el método de ajuste de velocidad, la interfaz de control y las condiciones de mantenimiento. Si el equipo antiguo en el sitio depende de la válvula de estrangulamiento durante mucho tiempo, primero mida el volumen y la presión de aire terminal reales antes de discutir la modificación. La diferencia suele aparecer en la estrategia de control y el modo de funcionamiento. La conversión de frecuencia de CA también puede ajustar la velocidad y la solución de CC no ahorra energía de forma natural. La conclusión de la adquisición debe enumerar la fuente de alimentación, el protocolo de control, el punto de operación, el ruido, la interfaz de la caja y la inversión total en la misma tabla comparativa e indicar las condiciones de prueba. Aili Industrial tiene la capacidad de soportar de forma independiente ventiladores, motores, controles y chapas. Puede calibrar impulsores, motores, variadores y gabinetes en el mismo punto de trabajo y proporcionar datos completos de prueba de la máquina según las condiciones del proyecto, lo que permite que las comparaciones entre CC y CA se basen en datos completos verificables de la máquina.
Este artículo se centra en el método de selección de EFU de tamaño pequeño y propone que los cuatro puntos clave de apertura del equipo, volumen de aire objetivo, área de filtración e interfaz de control se confirmen a la inversa en lugar de seleccionar productos estándar primero. El artículo explica que la apertura del equipo determina el límite exterior de la caja. El volumen de aire debe confirmarse según el área objetivo y la resistencia del sistema. El área de filtración afecta directamente la velocidad del aire superficial, la resistencia y la vida útil del filtro. La interfaz de control determina si se puede vincular con el sistema del equipo. También enumera malentendidos comunes sobre la selección y configuraciones de diferentes escenarios de equipos. dirección, y también recomienda páginas de productos relacionados, como EFU de tamaño pequeño de Aili Industrial, EFU ultradelgado, EFU de CC, EFU a presión, EFU de máquina de colocación SMT, EFU antiestático, controlador tipo 86 y EFU personalizado para facilitar a los usuarios una mayor selección según los escenarios de aplicación.
El objetivo de configurar EFU para equipos de litografía no es simplemente aumentar el volumen de aire, sino establecer un flujo de aire limpio local estable, bien dirigido y verificable alrededor de áreas sensibles como el transporte, posicionamiento y detección de obleas. El artículo presenta el método de diseño desde los aspectos de la ruta de contaminación, el límite del suministro de aire, la uniformidad de la velocidad del viento, la interfaz espacial, la configuración de filtración y la conexión del equipo.
HEPA y ULPA son los dos filtros de aire terminales más importantes en salas blancas. La principal diferencia entre los dos radica en la precisión de la filtración y los escenarios aplicables. HEPA (filtro de alta eficiencia) tiene una eficiencia de filtración de partículas de 0,3 μm ≥99,97 %, correspondiente a los niveles H13/H14, y es adecuado para entornos limpios ISO 5-9. Las aplicaciones típicas incluyen talleres farmacéuticos, quirófanos de hospitales y procesamiento de alimentos. ULPA (filtro de eficiencia ultra alta) tiene una eficiencia de filtración de partículas de 0,12 μm ≥99,9995 %, correspondiente a los niveles U15/U16, y es adecuado para entornos de limpieza ultra alta ISO 1-4. Las aplicaciones típicas incluyen litografía de semiconductores y laboratorios de bioseguridad. El costo de compra de ULPA es aproximadamente 2,5 a 3,5 veces mayor que el de HEPA y la resistencia inicial es aproximadamente un 30% mayor. La selección debe basarse en un juicio integral basado en los requisitos reales del nivel de limpieza, la sensibilidad del proceso y la compatibilidad del sistema. No todos los escenarios requieren ULPA: HEPA de nivel H14 para salas blancas ISO nivel 5 (nivel 100) que cumple plenamente con los estándares.
La principal diferencia entre los filtros de alta eficiencia con particiones y los filtros de alta eficiencia sin particiones es la estructura de separación del material del filtro. Los filtros con particiones usan particiones corrugadas para soportar el material filtrante, mientras que los filtros sin particiones usan líneas de pegamento u otros separadores para formar canales de filtro. Ambos se pueden utilizar en diferentes sistemas de filtración de aire limpio según las configuraciones específicas del producto. La selección real no solo debe considerar la estructura, sino que también debe considerar de manera integral la eficiencia de filtración, el volumen de aire del sistema, la resistencia inicial, el tamaño del filtro, el espacio de instalación y el entorno de uso. Para diferentes aplicaciones, como salas limpias, HVAC, FFU, EFU y equipos semiconductores, se debe seleccionar la estructura de filtro adecuada en función de los parámetros del proyecto. Aili Industry puede combinar filtros de alta eficiencia, ULPA, FFU y EFU y otros productos para brindar a los clientes la configuración y el soporte de selección de productos de filtración de aire correspondientes.