¿Cómo configurar EFU de equipos de litografía? Puntos clave de limpieza local, estabilización del flujo de aire e interfaz espacial.

Respuesta directa: Las EFU de los equipos de litografía deben configurarse alrededor de las áreas dentro del equipo que realmente necesitan protección. Primero confirme la ruta de transmisión de la oblea desde que ingresa al equipo hasta que sale del equipo, luego identifique los posibles riesgos de partículas causados ​​por la apertura de la puerta, el movimiento mecánico, el mantenimiento del personal y el escape del equipo, y finalmente determine la ubicación de la EFU, el rango efectivo de suministro de aire, el volumen de aire, presión estática, eficiencia de filtración y método de control.

Los equipos de litografía suelen tener altos requisitos en cuanto a control de partículas, estabilidad del flujo de aire y espacio interno del equipo. La configuración de EFU no puede depender únicamente de cuántas unidades se pueden instalar en la parte superior del equipo, ni se puede aplicar únicamente según una velocidad de viento fija. Una solución adecuada debe permitir que el aire limpio cubra las áreas sensibles y al mismo tiempo evitar flujos de aire de alta velocidad, vórtices localizados o cambios de presión del equipo que interfieran con el funcionamiento normal.

¿Qué problemas debería resolver primero el equipo de litografía EFU?

Los equipos de litografía utilizan EFU, normalmente no para obtener exactamente el mismo nivel de limpieza dentro de todo el equipo, sino para proteger continuamente áreas específicas.

Estas áreas pueden incluir:

• La ubicación de almacenamiento temporal después de que la oblea ingresa al equipo;

• Áreas de transferencia de obleas y actividad de robots;

• Localizar, alinear o detectar áreas de interés;

• Donde las obleas se entregan entre diferentes módulos;

• Áreas cercanas a aberturas externas que se ven fácilmente afectadas por el aire ambiental;

• Espacios que necesitan ser restaurados rápidamente a un estado limpio después del mantenimiento.

Por tanto, la tarea más importante antes de configurar EFU no es seleccionar un modelo, sino responder tres preguntas:

1. ¿Qué áreas requieren cobertura directa de aire limpio?

2. ¿Dónde podrían entrar u originarse las partículas?

3. ¿Por dónde debe entrar el aire y por dónde debe salir?

Estas tres cuestiones determinan la ubicación de instalación, la dirección del suministro de aire y el volumen de aire real de la EFU.

Diseñe a partir de la ruta de la oblea, no de la forma del dispositivo

Si las EFU están dispuestas de manera uniforme solo en función del área superior del equipo, puede haber una situación en la que haya una gran cantidad de EFU, pero todavía haya áreas de baja velocidad o áreas de reflujo en ubicaciones clave.

Un enfoque más razonable es comprobar a lo largo de la ruta de la oblea:

Posición de carga → Área de transferencia → Área de posicionamiento o detección → Interfaz de proceso → Área de retorno o descarga

Los riesgos de contaminación a los que hay que prestar atención en cada eslabón son diferentes. Por ejemplo, la posición de apertura del equipo puede verse alterada por el aire externo, pueden ocurrir cambios periódicos en el flujo de aire en el área de movimiento del robot y el marco y los cables del equipo pueden bloquear el suministro de aire vertical.

El diseño de la EFU debe intentar permitir que el aire filtrado llegue primero al área sensible y luego ingrese a la salida de aire de retorno o al área de escape a lo largo del camino predeterminado para evitar que el aire contaminado pase primero por ubicaciones clave.

¿Cómo deberían dividirse las áreas limpias locales?

El interior del equipo de litografía se puede dividir en tres zonas según la importancia de la protección del flujo de aire:

área protegida central

Áreas directamente involucradas en la exposición, transporte, posicionamiento o inspección de las obleas. Aquí debe centrarse en comprobar la cobertura del suministro de aire, la estabilidad de la velocidad del viento y el estado de las partículas.

zona de transición

El área que conecta la zona de protección central con aberturas de equipos, estructuras mecánicas u otros módulos funcionales. Su función es reducir el impacto de la contaminación del aire externo y de los equipos internos en el área núcleo.

área protegida indirecta

Espacios eléctricos, de propulsión o auxiliares con requisitos relativamente bajos para el control local de partículas. No es necesario que dichas áreas utilicen necesariamente el mismo volumen de suministro de aire que el área central, pero se debe evitar que el aire ingrese al área crítica en la dirección opuesta.

Este método de zonificación puede evitar el uso de la misma velocidad del viento en todos los lugares y también facilita la determinación del número de EFU y diferentes engranajes operativos.

El volumen de aire EFU no se puede calcular únicamente en función del volumen del equipo

Los proyectos de ventilación ordinarios a menudo estiman el volumen de aire en función del número de cambios de aire, pero el suministro local de aire limpio para equipos de litografía presta más atención a la cobertura, dirección y estabilidad del flujo de aire de las áreas sensibles. Es posible que los cálculos basados ​​únicamente en el volumen interno del equipo no reflejen la obstrucción mecánica de la estructura ni las fuentes de contaminación locales.

El diseño preliminar puede comenzar desde el área efectiva de suministro de aire y apuntar a la velocidad promedio del viento:

Volumen de aire objetivo = área efectiva de suministro de aire × velocidad promedio del viento objetivo

Entre ellos, el área efectiva de suministro de aire debe deducirse de los marcos de los filtros, las vigas de los equipos, las protecciones y otras obstrucciones.

Después de completar la estimación preliminar, es necesario revisarla en función de los siguientes factores:

• Si hay suficiente espacio libre en el lado de entrada de aire de la EFU;

• La resistencia del filtro al volumen de aire objetivo;

• Resistencia local provocada por la estructura interna del equipo;

• Si el movimiento del manipulador cambia el flujo de aire;

• La ubicación de las salidas de aire de retorno y de escape;

• Si hay flujo de aire superpuesto entre varias EFU;

• Cambios de presión bajo diferentes condiciones de operación del equipo.

El volumen de aire final deberá confirmarse probando un prototipo o primer equipo cerca de la estructura real.

Por qué los equipos de litografía prestan más atención a la estabilidad del flujo de aire

El flujo de aire en los equipos de litografía no sólo debe ser limpio, sino también lo más estable posible. Si la velocidad del viento cambia significativamente con el tiempo, o hay un reflujo local significativo, las partículas que se han asentado o adherido dentro del equipo pueden volver a ingresar al aire.

Los factores comunes que afectan la estabilidad del flujo de aire incluyen:

• Fluctuación de la velocidad del ventilador;

• La resistencia en diferentes posiciones del filtro es inconsistente;

• La distancia entre el ventilador y el filtro es demasiado pequeña;

• La viga del equipo bloquea la superficie de salida de aire;

• Las configuraciones de velocidad de múltiples EFU son inconsistentes;

• El manipulador se mueve a gran velocidad;

• Apertura y cierre de puertas de equipos o cubiertas de mantenimiento;

• Cambios en el volumen de aire en el sistema de escape;

• Iniciar y detener módulos funcionales adyacentes.

Por lo tanto, la depuración EFU de equipos de litografía no solo puede medir la velocidad promedio del viento una vez, sino que también necesita observar cambios en diferentes estados del equipo.

¿Dónde se debe medir la uniformidad de la velocidad del viento?

La superficie uniforme de salida de aire de la EFU no significa que el flujo de aire en la ubicación de la oblea deba ser uniforme. Las estructuras del equipo pueden crear obstrucciones, derivaciones o vórtices debajo del filtro.

Se recomienda configurar dos niveles de medición:

Medición de salida de aire EFU

Se utiliza para determinar la distribución de la velocidad del viento de la propia EFU. Los puntos de medición deberán disponerse según la grilla acordada por ambas partes, y deberán registrarse los valores promedio, máximo y mínimo.

Medición de áreas críticas de proceso

Establezca puntos de medición cerca de la posición de transferencia, posicionamiento o inspección de la oblea para confirmar el estado real del flujo de aire después de ensamblar el equipo.

Si los datos de salida de aire son normales, pero existe un flujo de aire inverso o de baja velocidad en áreas clave, se debe dar prioridad a verificar la oclusión interna, la posición del aire de retorno y el impacto del escape del equipo en lugar de aumentar directamente la velocidad de todas las EFU.

Cómo evitar 'El volumen de aire es suficiente pero el efecto no es bueno'

En los proyectos EFU de equipos de litografía, los siguientes problemas son más comunes que simplemente un volumen de aire insuficiente:

Al resolver este tipo de problema, primero debe localizar la ubicación del flujo de aire anormal y las condiciones de trabajo correspondientes, y luego ajustar la estructura o los parámetros de control. El aumento directo de la velocidad de todas las EFU puede aumentar el consumo de energía y el ruido, pero no puede eliminar las corrientes parásitas locales.

Cómo configurar cuando no hay suficiente espacio de instalación

Los equipos relacionados con la litografía a menudo requieren que las EFU estén dispuestas dentro de una altura limitada evitando estructuras mecánicas, módulos eléctricos y tuberías. En este momento, no solo puede verificar si se puede colocar la EFU, sino también verificar la entrada de aire y el espacio de mantenimiento.

La interfaz espacial incluye al menos:

• EFU puede utilizar largo, ancho y alto;

• Condiciones de entrada de aire desde la parte superior o lateral del equipo;

• La distancia entre la entrada de succión del ventilador y la protección del equipo;

• Ubicación de los orificios de instalación y estructuras de soporte;

• Dirección de reemplazo del filtro;

• Instrucciones de mantenimiento del ventilador, motor y controlador;

• Ubicación de la fuente de alimentación y la interfaz de comunicación;

• Fijación de requisitos para izaje y transporte de equipos.

Cuando la altura de instalación es limitada, se puede evaluarAili Industrial EFU ultrafino de 70 mm . 70 mm es la altura total del producto correspondiente, pero su uso depende en última instancia del volumen de aire objetivo, la presión estática del sistema, el tamaño del filtro, el espacio libre para la entrada de aire y las condiciones de mantenimiento.

Si la abertura del equipo tiene una forma larga y estrecha o la interfaz de instalación es especial, es necesario diseñar un tamaño pequeño, un cuerpo estrecho o una EFU no estándar de acuerdo con los dibujos en lugar de reducir el tamaño del producto convencional.

Cómo elegir la eficiencia del filtro

El equipo de litografía EFU se puede configurar con los niveles correspondientes de filtros de alta eficiencia o ultra alta eficiencia según los objetivos de control de partículas del proyecto. El grado del filtro debe determinarse según los requisitos del proceso del equipo, las especificaciones del cliente y los métodos de aceptación, y no puede especificarse directamente basándose únicamente en el nombre de la industria.

La configuración de filtrado requiere confirmación de sincronización:

• Requisitos de control de partículas objetivo;

• Clasificación de eficiencia del filtro;

• Volumen de aire nominal y resistencia inicial;

• Área de filtrado efectiva;

• El método de sellado entre la caja y el filtro;

• Si se requiere la detección de fugas en el sitio;

• Ubicación de detección de fugas y espacio operativo;

• Resistencia de carrera permitida;

• Instrucciones de reemplazo de filtros.

A medida que aumenta el nivel de eficiencia, la resistencia del filtro, el punto de funcionamiento del ventilador y el volumen de aire efectivo pueden cambiar. Por lo tanto, el filtro y el ventilador deben combinarse como un sistema completo.

¿La estructura ultrafina afectará el rendimiento de la EFU?

La EFU ultradelgada puede reducir la altura de instalación del equipo, pero el espacio interno es más compacto y los requisitos de compatibilidad para ventiladores, motores, filtros y canales de flujo de aire también son mayores.

Las soluciones ultradelgadas requieren verificación de claves:

• Si se puede proporcionar la presión estática requerida por debajo del volumen de aire objetivo;

• Si la entrada de succión del ventilador está restringida;

• Si la velocidad del viento en la superficie de salida de aire es uniforme;

• El aumento de temperatura del motor y del controlador durante el funcionamiento continuo;

• Ruido y vibración a la velocidad objetivo;

• Margen de ajuste después de cambios de resistencia del filtro;

• Si las piezas se pueden desmontar y montar desde la dirección prevista.

Ultradelgado no significa un volumen de aire bajo, ni significa que se pueda ignorar el espacio de entrada de aire. El rendimiento final debe basarse en los resultados de las pruebas de la EFU completa en las condiciones de trabajo acordadas.

Cómo evitar interferencias mutuas entre múltiples EFU

Cuando un dispositivo está configurado con múltiples EFU, la posición, el espaciado, la velocidad de rotación y la lógica de control deben considerarse de manera uniforme.

Varias EFU pueden utilizar las siguientes ideas de configuración:

• Dividir las zonas de control según áreas limpias;

• La misma área funcional utiliza la misma velocidad de rotación básica;

• Realice correcciones locales en lugares donde la oclusión de la estructura sea obvia;

• Los engranajes operativos están configurados respectivamente para los estados de producción, espera y mantenimiento;

• Registre la dirección, ubicación y valor de configuración de cada EFU;

• Estado de funcionamiento seguro preestablecido cuando la comunicación es anormal;

• Los equipos de serie siguen parámetros probados.

No es necesariamente razonable que varias EFU tengan exactamente la misma velocidad. Si la resistencia interna u oclusión del equipo es diferente, es necesario equilibrarlo en función de los resultados reales de las mediciones en las áreas críticas.

Cómo se vincula EFU con los equipos de litografía

Los equipos de litografía pueden tener múltiples estados, como producción, espera, apertura de puertas, mantenimiento y anomalías. EFU puede configurar el modo de funcionamiento correspondiente según la lógica de control del proyecto.

Por ejemplo:

• El equipo funciona según engranajes de trabajo probados durante la producción;

• Mantener un puesto de trabajo que satisfaga las condiciones de limpieza cuando esté en espera;

• Cambie al modo de funcionamiento correspondiente al abrir la puerta o transferir materiales;

• Utilice el equipo de recuperación limpio después del mantenimiento del equipo;

• Ajuste la velocidad de rotación después de que cambie la resistencia del filtro;

• Cuando la EFU falla, retroalimenta el estado al sistema de control del equipo;

• Cuando se interrumpe la comunicación, se mantiene la velocidad preestablecida o se ejecuta la lógica acordada.

El método de control se puede seleccionar según los requisitos del equipo: comunicación multivelocidad, 0-10 V, PWM o RS485. Antes de la finalización formal, se deben aclarar las autoridades de inicio y parada, el rango de velocidad, la retroalimentación de estado y las reglas de manejo de excepciones.

¿Cómo se deben verificar las EFU de los equipos de litografía?

En lugar de realizar una sola prueba de volumen de aire en fábrica una vez, un método más adecuado para los equipos de litografía es establecer una matriz de verificación basada en el estado del equipo.

Los métodos de prueba específicos, los puntos de medición y los estándares de evaluación deben ser determinados conjuntamente por la parte del equipo, los requisitos del proceso y el acuerdo entre ambas partes.

Cómo coopera Aili Industry con el proyecto EFU de equipos de litografía

El objetivo del diseño del equipo de litografía EFU es 'si las áreas críticas pueden obtener aire estable y limpio', en lugar de buscar únicamente un mayor volumen de aire nominal. Durante la evaluación del proyecto, Aili Industrial puede ayudar a determinar el área de instalación de la EFU, el volumen de aire y la presión estática, la configuración de filtración y el método de control según la ruta de la oblea, las aberturas del equipo, el blindaje estructural y la posición del aire de retorno.

Aili Industrial apoya la I+D y la producción en torno a motores, ventiladores, sistemas de control, estructuras de chapa, filtros de aire y ensamblaje completo de máquinas necesarios para EFU. Para requisitos de interfaz especiales, de tamaño pequeño, ultradelgados o de cuerpo estrecho comunes en equipos de litografía, la estructura, el rendimiento del aire y los parámetros de control se pueden coordinar en el mismo proyecto.

La etapa de prototipo puede verificar la velocidad del viento de salida, el flujo de aire del área clave, la potencia operativa, el ruido, la vibración y el aumento continuo de la temperatura operativa basándose en equipos reales o estructuras simuladas. Después de completar la verificación de la primera unidad, se solidificarán los planos del producto, las especificaciones del filtro, los parámetros de control y las condiciones de aceptación, lo que ayudará a mantener una configuración consistente de los lotes posteriores de equipos.

Disponible enVea diferentes estructuras EFU del lado del equipo en el catálogo de categorías de productos EFU de Aili Industrial ; Cuando la altura de instalación está restringida, puede obtener más información.EFU ultrafina de 70 mm ; Se pueden pasar tamaños especiales, dirección de entrada de aire e interfaz del equipo.EFU personalizado para combinar.

Preguntas frecuentes

¿Cuanto mayor sea la velocidad del viento de la EFU del equipo de litografía, mejor?

No. Las velocidades del viento excesivamente altas pueden aumentar el ruido, el consumo de energía y las turbulencias locales. Debe determinarse en función de la cobertura del flujo de aire, la dirección y la estabilidad del área sensible, en lugar de simplemente buscar un valor más alto.

¿El equipo de litografía tiene que utilizar EFU ultrafino?

incierto. Sólo cuando la altura de instalación del equipo es limitada, las ventajas estructurales de la EFU ultradelgada son más obvias. Cuando hay suficiente espacio, también se puede seleccionar EFU convencional en función del volumen de aire, la presión estática y las condiciones de mantenimiento.

La velocidad del viento en la superficie de salida de aire es uniforme, ¿por qué todavía hay una zona de baja velocidad dentro del equipo?

Puede deberse a vigas del equipo, manipuladores, blindajes u obstrucciones de cables, o puede estar relacionado con la ubicación del aire de retorno y del aire de salida. Se debe volver a probar el flujo de aire en áreas críticas en lugar de solo en la superficie de salida de la EFU.

¿Es necesario que varias EFU utilicen la misma velocidad?

incierto. Se pueden utilizar parámetros básicos unificados en la misma área y condiciones de resistencia similares; Si la oclusión y la resistencia del sistema en diferentes ubicaciones son diferentes, el equilibrio debe basarse en los resultados de medición reales.

¿Qué eficiencia de filtrado se debe elegir para los equipos de litografía EFU?

Debe determinarse en función del proceso del equipo, los objetivos de control de partículas, las especificaciones del cliente y los métodos de aceptación. Una vez mejorada la eficacia de la filtración, se debe volver a comprobar la resistencia, el volumen de aire y el punto de funcionamiento del ventilador.

¿Es necesario probar EFU solo una vez después de la instalación?

El primer dispositivo debe someterse a una verificación detallada. Cuando cambian la estructura del equipo, las especificaciones del filtro, los parámetros de control o las condiciones de escape, se debe volver a verificar el volumen de aire afectado y el estado del flujo de aire.

en conclusión

El núcleo de la configuración EFU de los equipos de litografía es identificar las áreas que necesitan protección a lo largo de la ruta de la oblea y establecer con una fuente clara de aire limpio, una dirección de flujo estable, posiciones clave mensurables y estado del equipo vinculable .un sistema de flujo de aire local

Al seleccionar, se debe dar prioridad a confirmar la ruta de contaminación, las áreas sensibles y el espacio del equipo, y luego determinar la cantidad de EFU, la ubicación de la instalación, el volumen de aire y la presión estática, la eficiencia de filtración y el método de control. Para estructuras de blindaje ultrafinas, de tamaño pequeño o complejas, la verificación de circuito cerrado debe realizarse mediante pruebas de prototipo y del primer equipo para evitar completar la configuración basándose únicamente en el volumen de aire nominal o el área superior del equipo.