Comment configurer l’EFU des équipements de lithographie ? Points clés du nettoyage local, de la stabilisation du flux d'air et de l'interface spatiale

Réponse directe : les EFU des équipements de lithographie doivent être configurés autour des zones à l'intérieur de l'équipement qui ont réellement besoin d'être protégées. Confirmez d'abord le chemin de transmission de la plaquette depuis l'entrée dans l'équipement jusqu'à sa sortie, puis identifiez les risques possibles de particules causés par l'ouverture de la porte, le mouvement mécanique, la maintenance du personnel et l'échappement de l'équipement, et enfin déterminez l'emplacement de l'EFU, la plage d'alimentation en air efficace, le volume d'air, la pression statique, l'efficacité de la filtration et la méthode de contrôle.

Les équipements de lithographie ont généralement des exigences élevées en matière de contrôle des particules, de stabilité du flux d'air et d'espace interne de l'équipement. La configuration de l'EFU ne peut pas dépendre uniquement du nombre d'unités pouvant être installées sur le dessus de l'équipement, ni être appliquée uniquement en fonction d'une vitesse de vent fixe. Une solution appropriée doit permettre à l'air pur de couvrir les zones sensibles tout en évitant les flux d'air à grande vitesse, les tourbillons localisés ou les changements de pression de l'équipement qui interfèrent avec le fonctionnement normal.

Quels problèmes l’équipement de lithographie EFU doit-il résoudre en premier ?

Les équipements de lithographie utilisent l’EFU, généralement non pas pour obtenir exactement le même niveau de propreté à l’intérieur de l’ensemble de l’équipement, mais pour protéger en permanence des zones spécifiques.

Ces domaines peuvent inclure :

• L'emplacement de stockage temporaire après l'entrée de la plaquette dans l'équipement ;

• Zones de transfert de plaquettes et d'activité des robots ;

• Localiser, aligner ou détecter des zones d'intérêt ;

• Où les plaquettes sont transférées entre différents modules ;

• Zones proches des ouvertures extérieures facilement affectées par l’air ambiant ;

• Espaces qui doivent être rapidement remis en état de propreté après maintenance.

Par conséquent, la tâche la plus importante avant de configurer EFU n'est pas de sélectionner un modèle, mais de répondre à trois questions :

1. Quelles zones nécessitent une couverture directe d’air pur ?

2. Où les particules peuvent-elles entrer ou provenir ?

3. Où l’air doit-il entrer et où doit-il sortir ?

Ces trois problèmes déterminent l'emplacement d'installation, la direction de l'alimentation en air et le volume d'air réel de l'EFU.

Conception à partir du chemin de la plaquette, et non de la forme du dispositif

Si les EFU sont disposés uniformément uniquement en fonction de la zone supérieure de l'équipement, il peut y avoir une situation dans laquelle il y a un grand nombre d'EFU, mais il existe toujours des zones à faible vitesse ou des zones de refusion à des endroits clés.

Une approche plus raisonnable consiste à vérifier le long du chemin de la tranche :

Position de chargement → Zone de transfert → Zone de positionnement ou de détection → Interface process → Zone de retour ou de déchargement

Les risques de pollution auxquels il faut prêter attention dans chaque lien sont différents. Par exemple, la position d'ouverture de l'équipement peut être perturbée par l'air extérieur, des changements périodiques du débit d'air peuvent se produire dans la zone de mouvement du robot et le châssis et les câbles de l'équipement peuvent bloquer l'alimentation en air verticale.

La disposition de l'EFU doit essayer de permettre à l'air filtré d'atteindre la zone sensible en premier, puis d'entrer dans la sortie d'air de retour ou la zone d'échappement le long du chemin prédéterminé pour éviter que l'air contaminé ne passe d'abord par des emplacements clés.

Comment répartir les zones propres locales ?

L'intérieur de l'équipement de lithographie peut être divisé en trois zones selon l'importance de la protection du flux d'air :

zone centrale protégée

Zones directement impliquées dans l'exposition, le transport, le positionnement ou l'inspection des plaquettes. Ici, vous devez vous concentrer sur la vérification de la couverture de l’alimentation en air, de la stabilité de la vitesse du vent et de l’état des particules.

zone de transition

La zone reliant la zone de protection centrale aux ouvertures d'équipement, aux structures mécaniques ou à d'autres modules fonctionnels. Sa fonction est de réduire l’impact de la pollution de l’air extérieur et des équipements internes sur la zone centrale.

zone protégée indirecte

Espaces électriques, d'entraînement ou auxiliaires avec des exigences relativement faibles en matière de contrôle local des particules. Ces zones ne doivent pas nécessairement utiliser le même volume d’air que la zone centrale, mais il faut empêcher l’air de pénétrer dans la zone critique dans la direction opposée.

Cette méthode de zonage permet d'éviter d'utiliser la même vitesse du vent dans tous les endroits et facilite également la détermination du nombre d'EFU et des différents engins de fonctionnement.

Le volume d'air de l'EFU ne peut pas être calculé uniquement sur la base du volume de l'équipement.

Les projets de ventilation ordinaires estiment souvent le volume d'air en fonction du nombre de changements d'air, mais l'approvisionnement local en air pur pour les équipements de lithographie accorde davantage d'attention à la couverture du flux d'air, à la direction et à la stabilité des zones sensibles. Le calcul basé uniquement sur le volume interne de l'équipement peut ne pas refléter l'obstruction de la structure mécanique et les sources de pollution locales.

La conception préliminaire peut partir de la zone d’alimentation en air effective et cibler la vitesse moyenne du vent :

Volume d'air cible = zone d'alimentation en air effective × vitesse moyenne du vent cible

Parmi eux, la zone d'alimentation en air effective doit être déduite des cadres de filtres, des poutres d'équipement, des protections et autres obstructions.

Une fois l’estimation préliminaire terminée, celle-ci doit être révisée en fonction des facteurs suivants :

• S'il y a suffisamment d'espace libre du côté de l'entrée d'air de l'EFU ;

• La résistance du filtre au volume d'air cible ;

• Résistance locale provoquée par la structure interne de l’équipement ;

• Si le mouvement du manipulateur modifie le flux d'air ;

• L'emplacement des bouches d'aération de retour et des bouches d'évacuation ;

• S'il y a un chevauchement du flux d'air entre plusieurs EFU ;

• Changements de pression dans différentes conditions de fonctionnement de l'équipement.

Le volume d'air final devra être confirmé en testant un prototype ou un premier équipement proche de la structure réelle.

Pourquoi les équipements de lithographie accordent plus d'attention à la stabilité du flux d'air

Le flux d’air dans les équipements de lithographie doit non seulement être propre, mais également aussi stable que possible. Si la vitesse du vent change de manière significative au fil du temps, ou s'il y a un reflux local important, les particules qui se sont déposées ou adhérées à l'intérieur de l'équipement peuvent réintégrer l'air.

Les facteurs courants qui affectent la stabilité du flux d’air comprennent :

• Fluctuation de la vitesse du ventilateur ;

• La résistance à différentes positions du filtre est incohérente ;

• La distance entre le ventilateur et le filtre est trop petite ;

• Le faisceau d'équipement bloque la surface de sortie d'air ;

• Les réglages de vitesse de plusieurs EFU sont incohérents ;

• Le manipulateur se déplace à grande vitesse ;

• Ouverture et fermeture des portes des équipements ou des capots de maintenance ;

• Modifications du volume d'air dans le système d'échappement ;

• Démarrez et arrêtez les modules de fonction adjacents.

Par conséquent, le débogage EFU des équipements de lithographie ne peut pas seulement mesurer la vitesse moyenne du vent une seule fois, mais doit également observer les changements dans les différents états de l'équipement.

Où faut-il mesurer l’uniformité de la vitesse du vent ?

La surface de sortie d'air uniforme de l'EFU ne signifie pas que le flux d'air à l'emplacement de la plaquette doit être uniforme. Les structures de l'équipement peuvent créer des obstructions, des shunts ou des tourbillons sous le filtre.

Il est recommandé de mettre en place deux niveaux de mesure :

Mesure de sortie d'air EFU

Utilisé pour déterminer la distribution de la vitesse du vent de l'EFU lui-même. Les points de mesure doivent être disposés selon la grille convenue par les deux parties et les valeurs moyennes, maximales et minimales doivent être enregistrées.

Mesure des zones de processus critiques

Définissez des points de mesure à proximité de la position de transfert, de positionnement ou d'inspection de la plaquette pour confirmer l'état réel du flux d'air une fois l'équipement assemblé.

Si les données de sortie d'air sont normales, mais qu'un flux d'air à faible vitesse ou inversé existe dans des zones clés, la priorité doit être donnée à la vérification de l'occlusion interne, de la position de l'air de retour et de l'impact de l'échappement de l'équipement au lieu d'augmenter directement la vitesse de tous les EFU.

Comment éviter « Le volume d'air est suffisant mais l'effet n'est pas bon »

Dans les projets EFU d’équipements de lithographie, les problèmes suivants sont plus courants qu’un simple volume d’air insuffisant :

Lors de la résolution de ce type de problème, vous devez d'abord localiser l'emplacement du flux d'air anormal et les conditions de travail correspondantes, puis ajuster la structure ou les paramètres de contrôle. L'augmentation directe de la vitesse de tous les EFU peut augmenter la consommation d'énergie et le bruit, mais ne peut pas éliminer les courants de Foucault locaux.

Comment configurer lorsqu'il n'y a pas suffisamment d'espace d'installation

Les équipements liés à la lithographie nécessitent souvent de disposer les EFU sur une hauteur limitée tout en évitant les structures mécaniques, les modules électriques et les pipelines. À ce stade, vous pouvez non seulement vérifier si l'EFU peut être installé, mais également vérifier l'entrée d'air et l'espace de maintenance.

L'interface spatiale comprend au moins :

• L'EFU peut utiliser la longueur, la largeur et la hauteur ;

• Conditions d’entrée d’air par le dessus ou les côtés de l’équipement ;

• La distance entre l’entrée d’aspiration du ventilateur et la protection de l’équipement ;

• Emplacements des trous d'installation et structures de support ;

• Sens de remplacement du filtre ;

• Instructions d'entretien des ventilateurs, des moteurs et des contrôleurs ;

• Emplacement de l'alimentation électrique et de l'interface de communication ;

• Exigences de fixation pour le levage et le transport des équipements.

Lorsque la hauteur d'installation est limitée, elle peut être évaluéeAili Industrial 70 mm EFU ultra-mince . 70 mm est la hauteur totale du produit correspondant, mais sa possibilité d'utilisation dépend en fin de compte du volume d'air cible, de la pression statique du système, de la taille du filtre, du dégagement d'entrée d'air et des conditions de maintenance.

Si l'ouverture de l'équipement a une forme longue et étroite ou si l'interface d'installation est spéciale, il est nécessaire de concevoir un corps étroit de petite taille ou un EFU non standard selon les dessins au lieu de réduire le produit conventionnel.

Comment choisir l'efficacité du filtre

L'équipement de lithographie EFU peut être configuré avec des niveaux correspondants de filtres à haute ou ultra-haute efficacité en fonction des objectifs de contrôle des particules du projet. La qualité du filtre doit être déterminée par les exigences du processus de l'équipement, les spécifications du client et les méthodes d'acceptation, et ne peut pas être directement spécifiée sur la base du seul nom de l'industrie.

La configuration du filtrage nécessite une confirmation de synchronisation :

• Exigences en matière de contrôle des particules cibles ;

• Indice d'efficacité du filtre ;

• Volume d'air nominal et résistance initiale ;

• Zone de filtrage efficace ;

• La méthode d’étanchéité entre le caisson et le filtre ;

• Si une détection des fuites sur site est requise ;

• Emplacement de détection des fuites et espace d'exploitation ;

• Résistance à la course admissible ;

• Instructions de remplacement du filtre.

À mesure que le niveau d'efficacité augmente, la résistance du filtre, le point de fonctionnement du ventilateur et le volume d'air effectif peuvent changer. Par conséquent, le filtre et le ventilateur doivent être assortis pour former un système complet.

La structure ultra-mince affectera-t-elle les performances de l'EFU ?

L'EFU ultra-mince peut réduire la hauteur d'installation de l'équipement, mais l'espace interne est plus compact et les exigences correspondantes en matière de ventilateurs, de moteurs, de filtres et de canaux de circulation d'air sont également plus élevées.

Les solutions ultra-minces nécessitent une vérification clé :

• Si la pression statique requise peut être fournie sous le volume d'air cible ;

• Si l'entrée d'aspiration du ventilateur est restreinte ;

• Si la vitesse du vent sur la surface de sortie d'air est uniforme ;

• L'augmentation de la température du moteur et du contrôleur pendant un fonctionnement continu ;

• Bruit et vibrations à la vitesse cible ;

• Marge d'ajustement après changement de résistance du filtre ;

• Si les pièces peuvent être démontées et assemblées dans la direction prévue.

Ultra fin ne signifie pas un faible volume d'air, ni que l'espace d'entrée d'air peut être ignoré. La performance finale doit être basée sur les résultats des tests de l'EFU complet dans les conditions de travail convenues.

Comment éviter les interférences mutuelles entre plusieurs EFU

Lorsqu'un appareil est configuré avec plusieurs EFU, la position, l'espacement, la vitesse de rotation et la logique de contrôle doivent être uniformément pris en compte.

Plusieurs EFU peuvent utiliser les idées de configuration suivantes :

• Diviser les zones de contrôle selon les zones propres ;

• Le même domaine fonctionnel utilise la même vitesse de rotation de base ;

• Apporter des corrections locales aux endroits où l'occlusion de la structure est évidente ;

• Les mécanismes de fonctionnement sont réglés respectivement pour les états de production, de veille et de maintenance ;

• Enregistrez l'adresse, l'emplacement et la valeur de réglage de chaque EFU ;

• État de fonctionnement sécurisé prédéfini lorsque la communication est anormale ;

• Les équipements de série suivent des paramètres éprouvés.

Il n’est pas nécessairement raisonnable que plusieurs EFU aient exactement la même vitesse. Si la résistance interne ou l'occlusion de l'équipement est différente, elle doit être équilibrée en fonction des résultats de mesure réels dans les zones critiques.

Comment l'EFU est lié aux équipements de lithographie

L'équipement de lithographie peut avoir plusieurs états tels que production, veille, ouverture de porte, maintenance et anomalie. EFU peut définir le mode de fonctionnement correspondant en fonction de la logique de contrôle du projet.

Par exemple:

• L'équipement fonctionne selon des engrenages de travail éprouvés pendant la production ;

• Maintenir un poste de service qui satisfait aux conditions de propreté lorsqu'il est en attente ;

• Passer au mode de fonctionnement correspondant lors de l'ouverture de la porte ou du transfert de matériaux ;

• Utiliser l'équipement de récupération propre après l'entretien de l'équipement ;

• Ajustez la vitesse de rotation après les changements de résistance du filtre ;

• Lorsque l'EFU tombe en panne, il renvoie l'état au système de contrôle de l'équipement ;

• Lorsque la communication est interrompue, la vitesse prédéfinie est maintenue ou la logique convenue est exécutée.

La méthode de contrôle peut être sélectionnée en fonction des exigences de l'équipement : communication multi-vitesse, 0-10 V, PWM ou RS485. Avant la finalisation formelle, l'autorité de démarrage et d'arrêt, la plage de vitesse, les retours d'état et les règles de gestion des exceptions doivent être clarifiées.

Comment vérifier l’EFU des équipements de lithographie ?

Au lieu d'effectuer un seul test de volume d'air en usine, une méthode plus adaptée aux équipements de lithographie consiste à établir une matrice de vérification basée sur l'état de l'équipement.

Les méthodes de test spécifiques, les points de mesure et les normes de jugement doivent être déterminés conjointement par la partie équipementière, les exigences du processus et l'accord entre les deux parties.

Comment Aili Industry coopère avec le projet EFU d'équipement de lithographie

L'objectif de conception de l'équipement de lithographie EFU est de « si les zones critiques peuvent obtenir de l'air stable et propre », plutôt que de rechercher uniquement un volume d'air nominal plus important. Lors de l'évaluation du projet, Aili Industrial peut aider à déterminer la zone d'installation de l'EFU, le volume d'air et la pression statique, la configuration de la filtration et la méthode de contrôle en fonction du chemin de la plaquette, des ouvertures de l'équipement, du blindage structurel et de la position de l'air de retour.

Aili Industrial réalise des activités de R&D et de production autour des moteurs, des ventilateurs, des systèmes de contrôle, des structures en tôle, des filtres à air et de l'assemblage complet de machines requis pour l'EFU. Pour les exigences ultra fines, de petite taille, de corps étroit ou d'interface spéciale courantes dans les équipements de lithographie, la structure, les performances de l'air et les paramètres de contrôle peuvent être coordonnés dans le même projet.

L'étape du prototype peut vérifier la vitesse du vent de sortie, le débit d'air dans la zone clé, la puissance de fonctionnement, le bruit, les vibrations et l'augmentation continue de la température de fonctionnement en fonction de l'équipement réel ou des structures simulées. Après avoir terminé la première vérification de l'unité, les dessins du produit, les spécifications des filtres, les paramètres de contrôle et les conditions d'acceptation seront solidifiés, ce qui aidera à maintenir une configuration cohérente des lots d'équipements suivants.

Disponible àConsultez les différentes structures EFU côté équipement dans le catalogue des catégories de produits Aili Industrial EFU ; lorsque la hauteur d'installation est limitée, vous pouvez en savoir plusEFU ultra-mince de 70 mm ; une taille spéciale, une direction d'entrée d'air et une interface d'équipement peuvent être transmisesEFU personnalisé pour la correspondance.

FAQ

Est-ce que plus la vitesse du vent de l'EFU de l'équipement de lithographie est élevée, mieux c'est ?

Non. Des vitesses de vent excessivement élevées peuvent augmenter le bruit, la consommation d'énergie et les turbulences locales. Elle doit être déterminée en fonction de la couverture du flux d'air, de la direction et de la stabilité de la zone sensible, plutôt que de simplement rechercher une valeur plus élevée.

Les équipements de lithographie doivent-ils utiliser des EFU ultra-minces ?

incertain. Ce n'est que lorsque la hauteur d'installation de l'équipement est limitée que les avantages structurels de l'EFU ultra-mince sont plus évidents. Lorsque l'espace est suffisant, un EFU conventionnel peut également être sélectionné en fonction du volume d'air, de la pression statique et des conditions de maintenance.

La vitesse du vent sur la surface de sortie d'air est uniforme, pourquoi y a-t-il encore une zone de faible vitesse à l'intérieur de l'équipement ?

Cela peut être dû à des poutres d'équipement, des manipulateurs, des blindages ou des obstructions de câbles, ou cela peut être lié à l'emplacement de l'air de reprise et de l'air d'échappement. Le flux d’air doit être retesté dans les zones critiques plutôt que uniquement sur la surface de sortie de l’EFU.

Plusieurs EFU doivent-ils utiliser la même vitesse ?

incertain. Des paramètres de base unifiés peuvent être utilisés dans la même zone et dans des conditions de résistance similaires ; si l'occlusion et la résistance du système à différents endroits sont différentes, l'équilibre doit être basé sur les résultats de mesure réels.

Quelle efficacité de filtre choisir pour les équipements de lithographie EFU ?

Doit être déterminé en fonction du processus de l'équipement, des objectifs de contrôle des particules, des spécifications du client et des méthodes d'acceptation. Une fois l'efficacité de la filtration améliorée, la résistance, le volume d'air et le point de fonctionnement du ventilateur doivent être revérifiés.

L’EFU ne doit-il être testé qu’une seule fois après l’installation ?

Le premier appareil doit subir une vérification détaillée. Lorsque la structure de l'équipement, les spécifications du filtre, les paramètres de contrôle ou les conditions d'échappement changent, le volume d'air et l'état du débit d'air concernés doivent être revérifiés.

en conclusion

Le cœur de la configuration EFU de l'équipement de lithographie est d'identifier les zones qui nécessitent une protection le long du trajet de la tranche et d'établir avec une source claire d'air propre, une direction d'écoulement stable, des positions clés mesurables et un état de l'équipement pouvant être relié .un système de flux d'air local

Lors de la sélection, la priorité doit être donnée à la confirmation du chemin de pollution, des zones sensibles et de l'espace de l'équipement, puis à la détermination du nombre d'EFU, de l'emplacement d'installation, du volume d'air et de la pression statique, de l'efficacité de la filtration et de la méthode de contrôle. Pour les structures de blindage ultra fines, de petite taille ou complexes, une vérification en boucle fermée doit être effectuée via des tests de prototypes et des premiers équipements afin d'éviter de compléter la configuration en fonction uniquement du volume d'air nominal ou de la zone supérieure de l'équipement.