Nombre de vues : 5076 Auteur : Aili Industry Heure de sortie : 2026-09-25 Source : Ai Li Industriel
Réponse directe : lors de la configuration de l'EFU pour un équipement de gravure, vous devez d'abord identifier les zones propres qui doivent être protégées, puis déterminer le volume d'air, la pression statique, l'efficacité de filtration, le matériau du boîtier et l'interface de contrôle de l'EFU en fonction des gaz d'échappement du processus, des relations de pression interne de l'équipement, des environnements corrosifs potentiels, de l'espace d'installation et des méthodes de maintenance.
La fonction principale de l'EFU est de fournir de l'air pur et filtré à la zone de transfert de tranches, à la zone d'activité du robot ou à d'autres zones sensibles aux particules. Il ne peut pas remplacer le système d’échappement du processus de l’équipement de gravure. Lors de la sélection, il est nécessaire d'éviter que l'alimentation en air propre n'interfère avec la pression négative de la chambre de traitement et d'empêcher les gaz corrosifs de pénétrer dans l'EFU et d'affecter l'utilisation des ventilateurs, des moteurs, des filtres et des composants de contrôle.
L'intérieur de l'équipement de gravure contient généralement différentes zones fonctionnelles telles que la chambre de traitement, le transfert de tranches, le manipulateur, l'interface de chargement et le système d'échappement. Les risques de contamination auxquels chaque zone est confrontée ne sont pas les mêmes, l'EFU ne peut donc pas être simplement configurée en fonction de la zone supérieure de l'équipement.
L'EFU côté appareil est principalement responsable des tâches suivantes :
Fournir un approvisionnement local en air pur pour les zones de transfert de plaquettes et de stockage temporaire ;
Réduire l’impact des particules causées par l’ouverture des équipements, la maintenance ou le transfert de matière ;
Aide les zones clés à former une direction de flux d'air relativement stable ;
Coopérer avec le retour d'air interne ou le chemin d'échappement de l'équipement pour contrôler la propagation de la pollution ;
Ajustez le volume d'air pour le travail, le service ou la maintenance en fonction de l'état de fonctionnement de l'équipement.
Avant la configuration, la zone à protéger, la direction d'alimentation en air autorisée et l'emplacement du processus qui ne peut pas être interféré par le flux d'air doivent être marqués dans les dessins de l'équipement.
L'EFU et l'échappement du procédé ont des fonctions différentes :
système |
Fonction principale |
Accent sur la conception |
|---|---|---|
Alimentation en air pur EFU |
Filtre l'air pour fournir un flux d'air propre vers les zones désignées |
Volume d'air, pression statique, efficacité de filtration, uniformité et couverture de l'alimentation en air |
Échappement du processus |
Gaz de processus d'échappement, chaleur ou contaminants potentiels |
Volume d'air évacué, pression négative, adaptabilité des matériaux et verrouillages de sécurité |
Air de reprise des équipements |
Organiser la circulation de l'air à l'intérieur des équipements |
Position de l'air repris, résistance du canal et adaptation à l'air soufflé |
Échappement environnemental |
Contrôler les polluants dans l’environnement périphérique des équipements |
Relation entre la portée de l'air évacué, l'air supplémentaire et la pression régionale |
Si le volume d'alimentation en air de l'EFU est trop important ou si la direction de l'alimentation en air est déraisonnable, la relation de pression d'origine dans la zone de traitement peut être modifiée. Au contraire, si le volume d'échappement de l'équipement est trop important, la portée effective d'alimentation en air de l'EFU peut être réduite, ou même de l'air ambiant non traité peut être aspiré dans des zones clés.
Par conséquent, le volume d’air de l’EFU ne peut pas être déterminé indépendamment des paramètres d’échappement de l’équipement. Lors de la conception, l’air soufflé, l’air repris et l’air évacué doivent être analysés dans le même diagramme de débit d’air.
L'emplacement d'installation de l'EFU doit être déterminé en fonction de l'objectif de protection de la propreté, plutôt que d'être installé là où il y a de l'espace. Habituellement, vous devez vous concentrer sur la vérification des emplacements suivants :
La plaquette entre dans la zone de chargement de l'équipement ;
Zones de transfert de plaquettes et d'activité des robots ;
Détection ou positionnement de lieux sensibles aux particules ;
Zones facilement affectées par l'air extérieur lorsque l'équipement est ouvert ou entretenu ;
Un espace propre et isolé est requis autour de la chambre de traitement.
La surface de sortie d'air de l'EFU doit tenter de couvrir la zone à protéger, en évitant les manipulateurs, les poutres, les chemins de câbles et les grandes surfaces de tôle. Un espace suffisant doit également être réservé du côté de l’entrée d’air pour éviter une diminution du volume d’air réel due à une obstruction de l’entrée d’aspiration.
Lorsque la hauteur d'installation est limitée, les dimensions internes de l'équipement peuvent être évaluéesEFU ultra-mince de 70 mm ; si les spécifications standard ne peuvent pas s'adapter à l'ouverture de l'équipement, à la direction d'entrée d'air ou au chemin de maintenance, vous devez utiliserEFU personnalisé pour correspondre à la taille et à l'interface de l'armoire.
Le volume d'air de l'équipement de gravure EFU doit être déterminé en fonction de la zone d'alimentation en air efficace, de la vitesse moyenne du vent cible et de l'organisation du flux d'air interne de l'équipement. La relation suivante peut être utilisée pour une estimation préliminaire :
Volume d'air cible = zone d'alimentation en air effective × vitesse moyenne du vent cible
La zone d'alimentation en air efficace ici n'est pas la zone externe du boîtier EFU, mais la zone de sortie d'air réelle après déduction du cadre du filtre, du cadre de l'équipement et d'autres obstructions.
Après avoir effectué le calcul préliminaire du volume d'air, vérifiez la résistance suivante :
Entrée d'air EFU et résistance de la structure de protection ;
Résistance de la cavité du ventilateur et du conduit d’air interne ;
Résistance du filtre HEPA ou ULPA ;
Résistance des plaques à orifices de sortie d'air, des structures de distribution de flux ou des grilles d'équipement ;
Résistance causée par les passages locaux et les obstructions structurelles à l'intérieur de l'équipement ;
Modifications de la résistance du filtre après une utilisation pendant un certain temps.
Le volume d’air cible et la résistance totale constituent ensemble le point de fonctionnement réel de l’EFU. La sélection d'un EFU basé uniquement sur le volume d'air nominal peut entraîner des différences entre le volume d'air réel après l'installation et la valeur de conception.
L'équipement de gravure EFU peut être équipé de niveaux correspondants de filtres à haute ou ultra-haute efficacité en fonction des objectifs de propreté du projet, des spécifications techniques du client et des exigences de contrôle des particules. Plus l'efficacité de la filtration est élevée, plus il faut généralement prêter attention à la résistance du filtre, à la surface effective et à la capacité de pression statique du ventilateur.
Il est recommandé d'effectuer une synchronisation claire lors de la sélection :
Indice d'efficacité du filtre ;
Taille des particules cibles et exigences en matière de tests ;
Résistance initiale au volume d'air nominal ;
La méthode d’étanchéité entre le filtre et le caisson ;
Si une détection des fuites est requise sur place ;
Direction de remplacement du filtre et espace de démontage et de montage ;
La plage de changements de résistance autorisée pendant l'utilisation.
La qualité du filtre à elle seule ne détermine pas l’efficacité du nettoyage. La direction du flux d’air de l’équipement interne, l’occlusion locale, l’intégrité des joints et les relations d’échappement affectent également le contrôle des particules dans les zones critiques.
L'équipement de gravure peut impliquer des environnements de processus présentant des risques de corrosion, mais la question de savoir si l'EFU sera exposée aux gaz pertinents doit être évaluée en fonction de la structure réelle de l'équipement. Simplement parce que l’équipement appartient au processus de gravure, il ne peut pas être directement déterminé qu’un certain matériau de boîte doit être utilisé.
L’évaluation des matériaux doit être combinée avec :
Types et concentrations de gaz auxquels la zone d'installation de l'EFU peut être exposée ;
Direction du flux d'air dans des conditions normales de fonctionnement, d'arrêt et de maintenance ;
température et humidité ambiantes ;
Matériaux de boîte, de fixations et de supports ;
matériaux de joints et de câbles ;
Média filtrant, cadre et mastic ;
Conditions de protection des moteurs, contrôleurs et connecteurs.
Si l'EFU est située dans une zone d'approvisionnement en air pur relativement indépendante et n'entre pas en contact avec les gaz de traitement, la structure conventionnelle peut déjà répondre aux exigences du projet ; s'il existe un risque de reflux de gaz corrosifs ou d'exposition à long terme, le boîtier, les fixations, les joints et les méthodes de protection électrique correspondants doivent être sélectionnés en fonction des spécifications matérielles du client.
Cette possibilité existe et doit donc être vérifiée lors des phases de conception et de débogage.
Lorsque le volume d'alimentation en air de l'EFU, le volume d'air de retour de l'équipement et le volume d'air d'échappement du procédé ne correspondent pas, la pression locale à l'intérieur de l'équipement peut être modifiée. Pour déterminer si l'EFU affecte la pression négative de la chambre de traitement, vous pouvez suivre les étapes suivantes :
Marquer les emplacements de la sortie d'air de l'EFU, de la sortie d'échappement du procédé et de la sortie d'air de retour de l'équipement ;
Enregistrer le volume d'air évacué dans différentes conditions de fonctionnement de l'équipement ;
Vérifiez si l'alimentation en air de l'EFU souffle directement vers la cavité du processus ou la sortie d'échappement ;
Mesurer la pression différentielle et la vitesse du vent dans les zones critiques ;
Ajustez la vitesse de l'EFU par étapes et observez la relation de pression et la direction du flux d'air ;
Déterminer l'équipement de fonctionnement dans des conditions normales de production, de service et de maintenance ;
Écrivez la vitesse finale, le volume d'air et la logique de liaison dans les paramètres de l'appareil.
Pour les équipements présentant des limites de flux d'air complexes, la direction réelle du flux peut être confirmée par l'observation de la fumée, la mesure de la vitesse du vent, des tests de différence de pression ou d'autres méthodes approuvées par l'équipement.
L'EFU des équipements de gravure doit généralement correspondre à l'état de fonctionnement de l'équipement, plutôt que de maintenir une vitesse de rotation unique pendant une longue période. Selon les besoins du projet, vous pouvez définir :
L'équipement de travail de l'équipement pendant la production ;
Poste de service en état de veille ;
Mode de fonctionnement lors de l’ouverture ou de la maintenance de la porte ;
Logique pour s'arrêter ou continuer à fonctionner lorsque l'équipement est anormal ;
Réglage de la vitesse après les changements de résistance du filtre ;
Régulation locale de vitesse, contrôle analogique ou contrôle de communication ;
État de fonctionnement et retour de signal de défaut.
Lors de l'utilisation d'une régulation de vitesse à plusieurs vitesses, le volume d'air, la vitesse du vent, la puissance, le bruit et l'état de pression de chaque engrenage doivent être enregistrés séparément. Le respect de paramètres éprouvés lors de la production en série peut réduire les différences de débit d'air entre les différents appareils.
Les filtres, les ventilateurs et les composants de commande nécessitent tous un espace de maintenance. Si la direction de démontage et de montage est prise en compte après l'installation de l'équipement, des problèmes peuvent survenir tels que le filtre ne peut pas être retiré, le connecteur ne peut pas être utilisé ou d'autres structures d'équipement doivent être démontées pour la maintenance.
La phase de conception doit clarifier :
Objet de maintenance |
Ce qui doit être confirmé |
|---|---|
filtre |
Changement de direction, prise d'espace, réinitialisation de l'étanchéité et conditions de détection de fuite |
Ventilateurs et moteurs |
Instructions de démontage et de montage, positions de fixation, connexions des câbles et mesures de protection |
contrôleur |
Câblage, paramétrage, lecture des défauts et espace de remplacement |
Armoire EFU |
Points de fixation, structures porteuses, séquence de démontage et capacité de charge des équipements |
zone de processus |
Exigences en matière d'arrêt, d'isolement, de nettoyage et de fonctionnement du personnel |
Si le processus de maintenance peut entrer en contact avec des résidus de processus, le propriétaire de l'équipement doit développer des procédures d'arrêt, d'isolement et de manipulation sûres correspondantes. Les fournisseurs d’EFU coopèrent principalement pour confirmer les interfaces structurelles, le démontage et l’assemblage des composants et les conditions de récupération de l’alimentation en air pur.
Confirmer la catégorie |
Besoin de conditions techniques claires |
|---|---|
cible propre |
Zones de protection critiques, exigences en matière de particules, direction de l'alimentation en air et ombrage autorisé |
espace de l'appareil |
Longueur, largeur, hauteur disponibles, ouverture d'installation, dégagement d'entrée d'air et sens de maintenance |
Paramètres aériens |
Relation entre le volume d'air cible, la vitesse frontale, la pression statique, le volume d'air évacué et la pression |
Exigences de filtrage |
Niveau d'efficacité, résistance, méthode d'étanchéité, détection de fuite et conditions de remplacement |
conditions environnementales |
Gaz potentiellement corrosifs, température, humidité et spécifications des matériaux |
Interface des structures |
Position du trou d'installation, méthode de fixation, portance, surface d'étanchéité et tolérance |
Contrôle électrique |
Alimentation, démarrage et arrêt, régulation de vitesse, communication, liaison et retour de défauts |
Méthode d'acceptation |
Volume d'air, vitesse du vent, uniformité, différence de pression, particules et conditions de test |
L'équipement de gravure EFU doit faire face à la fois à l'alimentation en air pur, aux gaz d'échappement des équipements, aux risques de corrosion et à un espace d'installation limité. Habituellement, la sélection ne peut pas être effectuée en se basant sur un seul paramètre standard de volume d'air.
Aili Industrial peut coopérer pour confirmer la taille de l'EFU, la direction d'entrée et de sortie d'air, le point de fonctionnement du ventilateur, l'efficacité du filtre, la structure du boîtier et l'interface de contrôle en fonction des dessins de l'équipement et de la zone cible. S'appuyant sur la R&D et la production de moteurs, de ventilateurs, de systèmes de contrôle, de structures en tôle, de filtres à air et d'un assemblage complet de machines, la structure et les paramètres de fonctionnement peuvent être ajustés en fonction de l'interface réelle de l'équipement pendant la phase de prototype.
Lors de la confirmation du projet, il est recommandé de fournir la longueur, la largeur et la hauteur internes de l'équipement, l'emplacement d'installation de l'EFU, le volume d'échappement du processus, la zone d'alimentation en air cible, les exigences en matière de volume d'air ou de vitesse du vent, l'efficacité de filtration, l'alimentation électrique et la méthode de communication. Pour les prises d'air latérales, les structures ultra fines, de petite taille ou en matériaux spéciaux, les dessins de lots peuvent être solidifiés après confirmation par l'assemblage de prototypes et des tests de conditions de travail multiples.
Les spécifications spécifiques peuvent être trouvées surConsultez-le dans le catalogue des catégories de produits Aili Industrial EFU ; veuillez vous référer aux tailles non standard, aux méthodes d'entrée d'air spéciales ou aux interfaces d'équipement.EFU personnalisé . D'autres questions sur la sélection, l'installation et la maintenance peuvent être trouvées dansContinuez à consulter la FAQ et le support technique de l'EFU .
ne peut pas. L'EFU est principalement utilisé pour fournir de l'air propre filtré, et les gaz d'échappement du procédé sont responsables de l'évacuation des gaz de procédé, de la chaleur ou des polluants. Les fonctions et les exigences de sécurité des deux systèmes sont différentes.
incertain. La nécessité d'utiliser de l'acier inoxydable ou d'autres matériaux doit être déterminée en fonction de la zone d'installation réelle de l'EFU, des gaz auxquels il peut être exposé, de l'humidité, des méthodes de nettoyage et des spécifications matérielles du client.
Non. Une vitesse de vent excessive peut interférer avec la relation de pression interne de l'équipement ou créer des turbulences locales. Le volume d'air doit être déterminé autour de la zone à protéger et confirmé en testant la vitesse du vent, la différence de pression et la direction du flux d'air.
Elle doit être déterminée en fonction des objectifs de contrôle des particules de l'équipement, des spécifications du client, de la résistance du filtre et du point de fonctionnement du ventilateur. Une efficacité de filtration plus élevée ne signifie pas que l’étanchéité, l’organisation du flux d’air et la détection réelle des fuites puissent être ignorées.
Des structures d'entrée d'air ultra fines, de petite taille, à corps étroit ou latérales peuvent être évaluées, mais la zone du filtre, la résistance d'entrée d'air, la pression statique du volume d'air, l'augmentation de la température et l'espace de maintenance doivent être revérifiés, et la taille de la boîte ne peut pas être réduite.
Le cœur de la configuration EFU de l'équipement de gravure est de fournir un air propre stable et vérifiable pour les zones sensibles aux particules désignées sans interférer avec la relation entre les gaz d'échappement du processus et la pression de l'équipement.
La sélection du projet doit confirmer séquentiellement la zone de protection propre, les limites d'alimentation et d'évacuation d'air, le volume d'air cible et la pression statique, l'efficacité de la filtration, l'environnement corrosif, l'interface d'installation, la liaison de commande et le chemin de maintenance . Pour les équipements avec un flux d'air complexe ou un espace limité, les paramètres finaux doivent être déterminés par l'assemblage de prototypes et des tests dans les conditions de travail réelles, plutôt que par l'application directe des spécifications générales de l'EFU.
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