Как настроить травильное оборудование ЭФУ? Коррозионная среда, подтверждение условий местной подачи воздуха и технического обслуживания.

Прямой ответ: при настройке EFU для оборудования для травления сначала следует определить чистые зоны, которые необходимо защитить, а затем определить объем воздуха, статическое давление, эффективность фильтрации, материал корпуса и интерфейс управления EFU на основе технологических выхлопов, соотношений внутреннего давления оборудования, потенциальных агрессивных сред, места для установки и методов обслуживания.

Основная функция EFU — подача отфильтрованного чистого воздуха в зону передачи пластин, зону работы роботов или другие зоны, чувствительные к частицам. Он не может заменить технологическую вытяжную систему травильного оборудования. При выборе необходимо избегать влияния подачи чистого воздуха на отрицательное давление в технологической камере, а также предотвращения попадания агрессивных газов в EFU и влияния на работу вентиляторов, двигателей, фильтров и компонентов управления.

Почему травильное оборудование необходимо конфигурировать с помощью EFU?

Внутренняя часть травильного оборудования обычно содержит различные функциональные зоны, такие как технологическая камера, система переноса пластин, манипулятор, загрузочный интерфейс и вытяжная система. Риски загрязнения, с которыми сталкивается каждая область, неодинаковы, поэтому EFU нельзя просто настроить в соответствии с верхней областью оборудования.

EFU на стороне устройства в основном отвечает за следующие задачи:

• Обеспечить локальную подачу чистого воздуха в зоны передачи пластин и зоны временного хранения;

• Уменьшите воздействие частиц, вызванных открытием оборудования, его обслуживанием или переносом материала;

• Помогите ключевым областям сформировать относительно стабильное направление воздушного потока;

• Сотрудничайте с внутренним возвратным воздухом или вытяжным трактом оборудования, чтобы контролировать распространение загрязнения;

• Отрегулируйте объем воздуха для работы, дежурства или технического обслуживания в соответствии с рабочим состоянием оборудования.

Перед настройкой на чертежах оборудования следует отметить защищаемую зону, допустимое направление подачи воздуха и место процесса, которому поток воздуха не может препятствовать.

Подача чистого воздуха EFU не может заменить технологический выхлоп

EFU и технологический выхлоп имеют разные функции:

Если объем подачи воздуха EFU слишком велик или направление подачи воздуха необоснованно, исходное соотношение давления в технологической зоне может быть изменено. Напротив, если объем выхлопа оборудования слишком велик, эффективный диапазон подачи воздуха EFU может быть уменьшен или даже неочищенный окружающий воздух может засасываться в ключевые области.

Поэтому объем воздуха ЭФУ не может быть определен независимо от параметров выхлопа оборудования. При проектировании приточный, рециркуляционный и вытяжной воздух следует анализировать на одной и той же схеме воздушного потока.

Как определить место установки травильного оборудования ЭФУ

Место установки EFU должно определяться с учетом целей защиты чистоты, а не устанавливаться там, где есть место. Обычно вам нужно сосредоточиться на проверке следующих мест:

• Пластина поступает в зону загрузки оборудования;

• Зоны переноса пластин и работы роботов;

• Обнаружение или позиционирование мест, чувствительных к частицам;

• Зоны, на которые легко воздействует наружный воздух при открытии или обслуживании оборудования;

• Вокруг технологической камеры необходимо чистое и изолированное пространство.

Поверхность воздуховыпускного отверстия EFU должна стараться покрыть область, которую необходимо защитить, избегая при этом манипуляторов, балок, кабельных лотков и больших площадей листового металла. Со стороны впуска воздуха также должно быть зарезервировано достаточно места, чтобы избежать уменьшения фактического объема воздуха из-за закупорки всасывающего отверстия.

Когда высота установки ограничена, можно оценить внутренние размеры оборудования.Ультратонкий ЭФУ толщиной 70 мм ; Если стандартные характеристики не соответствуют размеру отверстия оборудования, направлению воздухозаборника или пути обслуживания, вам необходимо использоватьИндивидуальный EFU для соответствия размеру и интерфейсу корпуса.

Как следует определять объем воздуха и статическое давление?

Объем воздуха ЭФУ травильного оборудования следует определять исходя из эффективной площади подачи воздуха, целевой средней скорости ветра и организации внутреннего воздушного потока оборудования. Для предварительной оценки можно использовать следующее соотношение:

Целевой объем воздуха = эффективная площадь подачи воздуха × целевая средняя скорость ветра

Эффективной площадью подачи воздуха здесь является не внешняя площадь коробки ЭФУ, а фактическая площадь выхода воздуха за вычетом корпуса фильтра, корпуса оборудования и других препятствий.

После завершения предварительного расчета объема воздуха проверьте следующее сопротивление:

• сопротивление воздухозаборника и защитной конструкции ЭФУ;

• Сопротивление полости вентилятора и внутреннего воздуховода;

• сопротивление фильтра HEPA или ULPA;

• Устойчивость к воздуховыпускным отверстиям, конструкциям распределения потока или решеткам оборудования;

• Сопротивление, вызванное местными проходами и структурными препятствиями внутри оборудования;

• Изменения сопротивления фильтра после использования в течение определенного периода времени.

Целевой объем воздуха и общее сопротивление вместе составляют фактическую рабочую точку EFU. Выбор EFU только на основе номинального объема воздуха может привести к различиям между фактическим объемом воздуха после установки и расчетным значением.

Эффективность фильтрации должна определяться в соответствии с требованиями процесса.

Травильное оборудование EFU может быть оснащено соответствующими уровнями высокоэффективных или сверхвысокоэффективных фильтров в соответствии с целями проекта по обеспечению чистоты, техническими спецификациями заказчика и требованиями по контролю частиц. Чем выше эффективность фильтрации, тем больше внимания обычно необходимо уделять сопротивлению фильтра, эффективной площади и статическому давлению вентилятора.

Рекомендуется сделать четкую синхронизацию при выборе:

• Рейтинг эффективности фильтра;

• Целевой размер частиц и требования к тестированию;

• Начальное сопротивление при номинальном объеме воздуха;

• Способ герметизации между фильтром и коробкой;

• Требуется ли обнаружение утечек на месте;

• Направление замены фильтра и место для разборки и сборки;

• Диапазон изменения сопротивления, допустимый в процессе использования.

Качество фильтра само по себе не определяет эффективность очистки. Направление воздушного потока внутреннего оборудования, локальная окклюзия, целостность уплотнений и взаимоотношения выхлопных газов также влияют на контроль частиц в критических зонах.

Какие материалы необходимо проверять в агрессивных средах

Оборудование для травления может работать в технологической среде с риском коррозии, но вопрос о том, будет ли ЭФУ подвергаться воздействию соответствующих газов, необходимо оценивать на основе фактической конструкции оборудования. Поскольку оборудование относится к процессу травления, нельзя напрямую определить, что необходимо использовать определенный материал коробки.

Оценка материалов должна сочетаться с:

• Виды и концентрации газов, воздействию которых может подвергаться зона установки ЭФУ;

• Направление воздушного потока при нормальной работе, остановке и условиях технического обслуживания;

• температура и влажность окружающей среды;

• Материалы коробки, крепежа и кронштейнов;

• уплотнения и кабельные материалы;

• Фильтрующий материал, рамка и уплотнитель;

• Условия защиты двигателей, контроллеров и разъемов.

Если ЭФУ расположено в относительно независимой зоне подачи чистого воздуха и не будет контактировать с технологическими газами, традиционная конструкция уже может соответствовать требованиям проекта; если существует риск обратного потока агрессивного газа или его длительного воздействия, соответствующую коробку, крепеж, уплотнения и методы электрозащиты следует выбирать в соответствии со спецификациями материалов заказчика.

Будет ли EFU влиять на отрицательное давление в технологической камере?

Такая возможность существует, и поэтому ее необходимо проверять на этапах проектирования и отладки.

Если объем подаваемого воздуха EFU, объем возвратного воздуха оборудования и объем технологического вытяжного воздуха не совпадают, местное давление внутри оборудования может измениться. Чтобы определить, влияет ли ЭФУ на отрицательное давление технологической камеры, можно выполнить следующие действия:

1. Отметьте расположение выпускного отверстия для воздуха EFU, выпускного отверстия для технологических выхлопов и выпускного отверстия для возвратного воздуха оборудования;

2. Запишите объем вытяжного воздуха при различных условиях эксплуатации оборудования;

3. Проверьте, дует ли подаваемый воздух EFU непосредственно в технологическую полость или выпускное отверстие;

4. Измерение перепада давления и скорости ветра в критических зонах;

5. Поэтапно регулируйте скорость EFU и наблюдайте за соотношением давления и направлением воздушного потока;

6. Определить рабочий механизм при нормальных условиях производства, эксплуатации и технического обслуживания;

7. Запишите конечную скорость, объем воздуха и логику связи в параметры устройства.

Для оборудования со сложными границами воздушного потока фактическое направление потока можно подтвердить путем наблюдения за дымом, измерения скорости ветра, испытания на перепад давления или других методов, одобренных для оборудования.

Как связать систему управления с травильным оборудованием

ЭФУ травильного оборудования обычно должно соответствовать рабочему состоянию оборудования, а не поддерживать единую скорость вращения в течение длительного времени. В соответствии с потребностями проекта вы можете установить:

• Рабочий механизм оборудования в процессе производства;

• Дежурное положение в режиме ожидания;

• Режим работы во время открытия двери или обслуживания;

• Логика отключения или продолжения работы в случае неисправности оборудования;

• Регулировка скорости после изменения сопротивления фильтра;

• Местное регулирование скорости, аналоговое управление или управление связью;

• Обратная связь о рабочем состоянии и сигнале неисправности.

При использовании многоскоростного регулирования скорости объем воздуха, скорость ветра, мощность, шум и состояние давления каждой передачи должны записываться отдельно. Соблюдение проверенных настроек параметров во время серийного производства может уменьшить разницу в расходе воздуха между различными устройствами.

Почему пути обслуживания должны подтверждаться на этапе проектирования?

Фильтры, вентиляторы и компоненты управления требуют места для обслуживания. Если направление разборки и сборки рассматривается после установки оборудования, могут возникнуть проблемы, такие как невозможность снятия фильтра, невозможность использования разъема или необходимость демонтажа других конструкций оборудования для технического обслуживания.

На этапе проектирования необходимо уточнить:

Если в процессе технического обслуживания может произойти контакт с технологическими остатками, владелец оборудования должен разработать соответствующие процедуры отключения, изоляции и безопасного обращения. Поставщики EFU в основном сотрудничают для подтверждения структурных интерфейсов, разборки и сборки компонентов, а также условий восстановления подачи чистого воздуха.

Список подтверждения проекта EFU для травильного оборудования

Как Aili Industry сотрудничает с проектом EFU по травильному оборудованию

Оборудование для травления EFU должно одновременно обеспечивать подачу чистого воздуха, выхлопные газы оборудования, риски коррозии и ограниченное пространство для установки. Обычно выбор невозможно осуществить, опираясь только на один стандартный параметр объема воздуха.

Aili Industrial может сотрудничать, чтобы подтвердить размер EFU, направление входа и выхода воздуха, рабочую точку вентилятора, эффективность фильтра, структуру коробки и интерфейс управления на основе чертежей оборудования и целевой области. Опираясь на поддержку НИОКР и производство двигателей, вентиляторов, систем управления, конструкций из листового металла, воздушных фильтров и полной сборки машины, структура и рабочие параметры могут быть скорректированы в соответствии с фактическим интерфейсом оборудования на этапе прототипа.

При утверждении проекта рекомендуется указать внутреннюю длину, ширину и высоту оборудования, место установки ЭФУ, объем технологических выхлопов, целевую зону подачи воздуха, требования к объему воздуха или скорости ветра, эффективность фильтрации, источник питания и способ связи. Для бокового воздухозаборника, ультратонких, небольших размеров или конструкций из специальных материалов серийные чертежи могут быть подтверждены после подтверждения посредством сборки прототипа и испытаний в нескольких рабочих условиях.

Конкретные характеристики можно найти на сайтеПосмотрите его в каталоге категорий продуктов Aili Industrial EFU ; пожалуйста, обратитесь к нестандартным размерам, специальным методам подачи воздуха или интерфейсам оборудования.Пользовательский ЭФУ . Дополнительные вопросы по выбору, установке и обслуживанию можно найти вПродолжайте знакомиться с часто задаваемыми вопросами и технической поддержкой EFU .

Часто задаваемые вопросы

Может ли оборудование для травления EFU заменить технологические выхлопы?

не могу. EFU в основном используется для обеспечения фильтрованного чистого воздуха, а технологические выхлопы отвечают за выброс технологического газа, тепла или загрязняющих веществ. Функции и требования безопасности этих двух систем различны.

Должен ли травильный аппарат EFU использовать корпус из нержавеющей стали?

неопределенный. Необходимость использования нержавеющей стали или других материалов следует определять на основе фактической площади установки EFU, газов, воздействию которых он может подвергаться, влажности, методов очистки и спецификаций материалов заказчика.

Чем выше скорость ветра EFU, тем лучше?

нет. Чрезмерная скорость ветра может повлиять на соотношение давления внутри оборудования или создать локальную турбулентность. Объем воздуха следует определить вокруг защищаемой территории и подтвердить путем проверки скорости ветра, перепада давления и направления воздушного потока.

Должен ли я выбрать H14 или ULPA для фильтра EFU?

Его следует определять на основе целей оборудования по контролю частиц, технических требований заказчика, сопротивления фильтра и рабочей точки вентилятора. Более высокая эффективность фильтрации не означает, что можно игнорировать герметизацию, организацию воздушного потока и фактическое обнаружение утечек.

Как настроить ЭФУ, когда в травильном оборудовании недостаточно места?

Можно оценить ультратонкие, небольшие размеры, узкий корпус или боковые конструкции воздухозаборника, но необходимо перепроверить площадь фильтра, сопротивление воздухозаборника, статическое давление объема воздуха, повышение температуры и пространство для обслуживания, а размер коробки не может быть уменьшен.

в заключение

Суть конфигурации травильного оборудования EFU заключается в обеспечении стабильного и поддающегося проверке чистого воздуха в определенных чувствительных к частицам зонах, не влияя при этом на соотношение между технологическими выхлопами и давлением оборудования.

Выбор проекта должен последовательно подтвердить чистую защитную зону, границы подачи и вытяжки воздуха, целевой объем воздуха и статическое давление, эффективность фильтрации, агрессивную среду, интерфейс установки, связь управления и путь обслуживания . Для оборудования со сложным воздушным потоком или ограниченным пространством окончательные параметры следует определять путем сборки прототипа и испытаний в реальных условиях работы, а не напрямую применять общие спецификации EFU.