كيفية تكوين معدات الحفر EFU؟ البيئة المسببة للتآكل وإمدادات الهواء المحلية وتأكيد ظروف الصيانة

إجابة مباشرة: عند تكوين EFU لمعدات الحفر، يجب عليك أولاً تحديد المناطق النظيفة التي تحتاج إلى الحماية، ثم تحديد حجم الهواء، والضغط الثابت، وكفاءة الترشيح، ومواد الصندوق، وواجهة التحكم في EFU بناءً على عادم العملية، وعلاقات الضغط الداخلي للمعدات، والبيئات المسببة للتآكل المحتملة، ومساحة التثبيت، وطرق الصيانة.

تتمثل الوظيفة الرئيسية لـ EFU في توفير الهواء النظيف المصفى لمنطقة نقل الرقاقة أو منطقة نشاط الروبوت أو المناطق الأخرى الحساسة للجسيمات. لا يمكن أن يحل محل نظام عادم العملية لمعدات الحفر. عند الاختيار، من الضروري تجنب تداخل إمدادات الهواء النظيف مع الضغط السلبي لغرفة المعالجة، ومنع الغازات المسببة للتآكل من دخول وحدة EFU والتأثير على استخدام المراوح والمحركات والمرشحات ومكونات التحكم.

لماذا يجب تكوين معدات الحفر باستخدام EFU؟

عادةً ما يحتوي الجزء الداخلي من معدات الحفر على مناطق وظيفية مختلفة مثل غرفة المعالجة ونقل الرقاقة والمناول وواجهة التحميل ونظام العادم. إن مخاطر التلوث التي تواجهها كل منطقة ليست هي نفسها، لذلك لا يمكن تكوين EFU ببساطة وفقًا للمنطقة العلوية للمعدات.

وحدة EFU من جانب الجهاز مسؤولة بشكل أساسي عن المهام التالية:

• توفير إمدادات الهواء النظيف المحلية لنقل الرقاقات ومناطق التخزين المؤقتة؛

• تقليل تأثير الجزيئات الناتجة عن فتح المعدات أو صيانتها أو نقل المواد؛

• مساعدة المناطق الرئيسية على تشكيل اتجاه تدفق هواء مستقر نسبيًا؛

• التعاون مع الهواء الداخلي أو مسار العادم للمعدات للتحكم في انتشار التلوث؛

• اضبط حجم الهواء للعمل أو الخدمة أو الصيانة وفقًا لحالة تشغيل الجهاز.

قبل التكوين، يجب تحديد المنطقة المراد حمايتها، واتجاه إمداد الهواء المسموح به، وموقع العملية الذي لا يمكن أن يتداخل معه تدفق الهواء، في رسومات المعدات.

لا يمكن لإمدادات الهواء النظيف EFU أن تحل محل عادم العملية

EFU وعادم العملية لهما وظائف مختلفة:

إذا كان حجم إمداد الهواء EFU كبيرًا جدًا أو كان اتجاه إمداد الهواء غير معقول، فقد تتغير علاقة الضغط الأصلية في منطقة العملية. على العكس من ذلك، إذا كان حجم عادم المعدات كبيرًا جدًا، فقد يتم تقليل نطاق إمداد الهواء الفعال لوحدة EFU، أو حتى قد يتم امتصاص الهواء المحيط غير المعالج إلى المناطق الرئيسية.

ولذلك، لا يمكن تحديد حجم الهواء EFU بشكل مستقل عن معلمات عادم المعدات. أثناء التصميم، يجب تحليل هواء الإمداد والهواء الراجع وهواء العادم في نفس مخطط تدفق الهواء.

كيفية تحديد موقع تركيب معدات الحفر EFU

يجب تحديد موقع تثبيت EFU حول هدف حماية النظافة، بدلاً من تثبيته حيثما توجد مساحة. عادةً ما تحتاج إلى التركيز على التحقق من المواقع التالية:

• تدخل الرقاقة إلى منطقة تحميل المعدات؛

• مناطق نقل الرقاقات ونشاط الروبوت؛

• اكتشاف أو تحديد المواقع الحساسة للجسيمات؛

• المناطق التي تتأثر بسهولة بالهواء الخارجي عند فتح الجهاز أو صيانته؛

• مطلوب مساحة نظيفة ومعزولة حول غرفة العملية.

يجب أن يحاول سطح منفذ الهواء EFU تغطية المنطقة التي تحتاج إلى الحماية، مع تجنب المناورات والعوارض وحوامل الكابلات والمساحات الكبيرة من الصفائح المعدنية. يجب أيضًا حجز مساحة كافية على جانب مدخل الهواء لتجنب انخفاض حجم الهواء الفعلي بسبب انسداد مدخل الشفط.

عندما يكون ارتفاع التثبيت محدودًا، يمكن تقييم الأبعاد الداخلية للمعدات70 مم EFU فائق النحافة ؛ إذا كانت المواصفات القياسية لا تناسب فتحة الجهاز أو اتجاه مدخل الهواء أو مسار الصيانة، فيجب عليك استخدامهEFU مخصص لإعادة مطابقة حجم الخزانة والواجهة.

كيف ينبغي تحديد حجم الهواء والضغط الساكن؟

يجب تحديد حجم الهواء لمعدات الحفر EFU بناءً على منطقة إمداد الهواء الفعالة ومتوسط ​​سرعة الرياح المستهدفة وتنظيم تدفق الهواء الداخلي للمعدات. يمكن استخدام العلاقة التالية للتقدير الأولي:

حجم الهواء المستهدف = منطقة إمداد الهواء الفعالة × متوسط ​​سرعة الرياح المستهدفة

منطقة إمداد الهواء الفعالة هنا ليست المنطقة الخارجية لصندوق EFU، ولكنها منطقة مخرج الهواء الفعلية بعد خصم إطار المرشح وإطار المعدات والعوائق الأخرى.

بعد الانتهاء من الحساب الأولي لحجم الهواء، تحقق من المقاومة التالية:

• مدخل الهواء EFU ومقاومة الهيكل الواقي.

• تجويف المروحة ومقاومة مجاري الهواء الداخلية؛

• مقاومة مرشح HEPA أو ULPA؛

• المقاومة من لوحات فتحة مخرج الهواء أو هياكل توزيع التدفق أو شبكات المعدات؛

• المقاومة الناجمة عن الممرات المحلية والعوائق الهيكلية داخل المعدات؛

• تغيرات في مقاومة الفلتر بعد الاستخدام لفترة من الزمن.

يشكل حجم الهواء المستهدف والمقاومة الإجمالية معًا نقطة التشغيل الفعلية لوحدة EFU. قد يؤدي تحديد EFU بناءً على حجم الهواء المقدر فقط إلى اختلافات بين حجم الهواء الفعلي بعد التثبيت وقيمة التصميم.

يجب تحديد كفاءة الترشيح وفقًا لمتطلبات العملية

يمكن تجهيز معدات الحفر EFU بمستويات مقابلة من المرشحات عالية الكفاءة أو فائقة الكفاءة وفقًا لأهداف نظافة المشروع والمواصفات الفنية للعملاء ومتطلبات التحكم في الجسيمات. كلما زادت كفاءة الترشيح، كلما زاد الاهتمام عادة بمقاومة الترشيح والمنطقة الفعالة وقدرة الضغط الثابت للمروحة.

يوصى بإجراء مزامنة واضحة عند تحديد:

• تصنيف كفاءة التصفية؛

• حجم الجسيمات المستهدفة ومتطلبات الاختبار؛

• المقاومة الأولية عند حجم الهواء المقدر؛

• طريقة الختم بين الفلتر والصندوق؛

• ما إذا كان اكتشاف التسرب مطلوبًا في الموقع؛

• اتجاه استبدال الفلتر ومساحة التفكيك والتجميع؛

• نطاق تغييرات المقاومة المسموح بها أثناء الاستخدام.

درجة الفلتر وحدها لا تحدد فعالية التنظيف. يؤثر أيضًا اتجاه تدفق هواء المعدات الداخلية، والانسداد المحلي، وسلامة الختم وعلاقات العادم على التحكم في الجسيمات في المناطق الحرجة.

ما هي المواد التي يجب فحصها في البيئات المسببة للتآكل

قد تنطوي معدات الحفر على بيئات عملية تنطوي على مخاطر التآكل، ولكن يجب الحكم على ما إذا كانت وحدة EFU ستتعرض للغازات ذات الصلة بناءً على هيكل المعدات الفعلي. لمجرد أن المعدات تنتمي إلى عملية النقش، لا يمكن تحديد ضرورة استخدام مادة صندوقية معينة بشكل مباشر.

ينبغي دمج تقييم المواد مع:

• أنواع وتركيزات الغازات التي قد تتعرض لها منطقة تركيب EFU؛

• اتجاه تدفق الهواء أثناء التشغيل العادي، وظروف الإغلاق والصيانة؛

• درجة الحرارة والرطوبة المحيطة.

• مواد الصندوق والسحابات والأقواس ؛

• الأختام ومواد الكابلات؛

• وسائط التصفية والإطار ومانع التسرب؛

• شروط الحماية للمحركات وأجهزة التحكم والموصلات.

إذا كانت وحدة EFU موجودة في منطقة إمداد بالهواء النظيف مستقلة نسبيًا ولن تتلامس مع غازات المعالجة، فقد يفي الهيكل التقليدي بالفعل بمتطلبات المشروع؛ إذا كان هناك خطر من التدفق العكسي للغاز المسببة للتآكل أو التعرض لفترة طويلة، فيجب اختيار الصندوق المقابل والمثبتات والأختام وطرق الحماية الكهربائية وفقًا لمواصفات المواد الخاصة بالعميل.

هل سيؤثر EFU على الضغط السلبي لغرفة العملية؟

هذا الاحتمال موجود ولذلك يجب التحقق منه أثناء مرحلتي التصميم والتصحيح.

عندما لا يتطابق حجم إمداد الهواء EFU وحجم الهواء الراجع للمعدات وحجم هواء العادم للعملية، فقد يتغير الضغط المحلي داخل الجهاز. لتحديد ما إذا كان EFU يؤثر على الضغط السلبي لغرفة العملية، يمكنك اتباع الخطوات التالية:

1. وضع علامة على مواقع مخرج الهواء EFU، ومخرج عادم العملية، ومخرج الهواء العائد للمعدات؛

2. تسجيل حجم هواء العادم في ظل ظروف التشغيل المختلفة للمعدات؛

3. تحقق مما إذا كان مصدر الهواء EFU ينفخ مباشرة إلى تجويف العملية أو مخرج العادم؛

4. قياس الضغط التفاضلي وسرعة الرياح في المناطق الحرجة؛

5. ضبط سرعة EFU على مراحل ومراقبة علاقة الضغط واتجاه تدفق الهواء؛

6. تحديد معدات التشغيل في ظل ظروف الإنتاج والواجب والصيانة العادية؛

7. اكتب السرعة النهائية وحجم الهواء ومنطق الربط في معلمات الجهاز.

بالنسبة للمعدات ذات حدود تدفق الهواء المعقدة، يمكن تأكيد اتجاه التدفق الفعلي من خلال مراقبة الدخان أو قياس سرعة الرياح أو اختبار فرق الضغط أو الطرق الأخرى المعتمدة من قبل المعدات.

كيفية ربط نظام التحكم مع معدات الحفر

عادةً ما يحتاج EFU الخاص بمعدات الحفر إلى مطابقة حالة تشغيل الجهاز، بدلاً من الحفاظ على سرعة دوران واحدة لفترة طويلة. وفقا لاحتياجات المشروع، يمكنك تعيين:

• معدات العمل للمعدات أثناء الإنتاج؛

• موقف واجب في حالة الاستعداد.

• وضع التشغيل أثناء فتح الباب أو الصيانة؛

• منطق إيقاف التشغيل أو الاستمرار في التشغيل عندما تكون المعدات غير طبيعية؛

• تعديل السرعة بعد تغيرات مقاومة الفلتر؛

• تنظيم السرعة المحلية، التحكم التناظري أو التحكم في الاتصالات؛

• حالة التشغيل وردود الفعل إشارة خطأ.

عند استخدام تنظيم السرعة متعدد السرعات، يجب تسجيل حجم الهواء وسرعة الرياح والطاقة والضوضاء وحالة الضغط لكل ترس بشكل منفصل. يمكن أن يؤدي اتباع إعدادات المعلمات المثبتة أثناء الإنتاج المتسلسل إلى تقليل اختلافات تدفق الهواء بين الأجهزة المختلفة.

لماذا يجب التأكد من مسارات الصيانة خلال مرحلة التصميم؟

تتطلب المرشحات والمراوح ومكونات التحكم مساحة للصيانة. إذا تم أخذ اتجاه التفكيك والتجميع في الاعتبار بعد تثبيت الجهاز، فقد تنشأ مشاكل بحيث لا يمكن إزالة الفلتر، أو لا يمكن تشغيل الموصل، أو يلزم تفكيك هياكل المعدات الأخرى للصيانة.

تحتاج مرحلة التصميم إلى توضيح:

إذا كانت عملية الصيانة قد تتلامس مع مخلفات العملية، فيجب على مالك المعدات تطوير إجراءات الإغلاق والعزل والتعامل الآمن المقابلة. يتعاون موردو EFU بشكل أساسي لتأكيد الواجهات الهيكلية وتفكيك المكونات وتجميعها وشروط استعادة إمدادات الهواء النظيف.

قائمة تأكيد مشروع معدات النقش EFU

كيف تتعاون Aili Industry مع مشروع EFU لمعدات الحفر

تحتاج معدات الحفر EFU إلى التعامل مع إمدادات الهواء النظيف وعادم المعدات ومخاطر التآكل ومساحة التثبيت المحدودة في نفس الوقت. عادةً، لا يمكن إكمال الاختيار بالاعتماد على معلمة قياسية واحدة فقط لحجم الهواء.

يمكن أن تتعاون Aili Industrial لتأكيد حجم EFU، واتجاه مدخل ومخرج الهواء، ونقطة عمل المروحة، وكفاءة المرشح، وهيكل الصندوق وواجهة التحكم بناءً على رسومات المعدات والمنطقة المستهدفة. بالاعتماد على دعم البحث والتطوير وإنتاج المحركات والمراوح وأنظمة التحكم وهياكل الصفائح المعدنية ومرشحات الهواء وتجميع الماكينة بالكامل، يمكن تعديل الهيكل ومعلمات التشغيل وفقًا لواجهة المعدات الفعلية خلال مرحلة النموذج الأولي.

عند تأكيد المشروع، يوصى بتوفير الطول الداخلي والعرض والارتفاع للمعدات، وموقع تركيب EFU، وحجم عادم العملية، ومنطقة إمداد الهواء المستهدفة، ومتطلبات حجم الهواء أو سرعة الرياح، وكفاءة الترشيح، وإمدادات الطاقة، وطريقة الاتصال. بالنسبة لسحب الهواء الجانبي، أو الهياكل الرفيعة جدًا أو الصغيرة الحجم أو المواد الخاصة، يمكن ترسيخ الرسومات المجمعة بعد التأكيد من خلال تجميع النموذج الأولي واختبار ظروف العمل المتعددة.

المواصفات المحددة يمكن العثور عليها فيشاهده في كتالوج فئة منتجات Aili Industrial EFU ؛ يرجى الرجوع إلى الأحجام غير القياسية أو طرق دخول الهواء الخاصة أو واجهات المعدات.إيفو مخصص . يمكن العثور على المزيد من أسئلة الاختيار والتركيب والصيانة فياستمر في الاطلاع على الأسئلة الشائعة حول EFU والدعم الفني .

التعليمات

هل يمكن لمعدات الحفر EFU أن تحل محل عادم العملية؟

لا أستطيع. يتم استخدام EFU بشكل أساسي لتوفير هواء نظيف مفلتر، ويكون عادم العملية مسؤولاً عن تفريغ غاز العملية أو الحرارة أو الملوثات. وظائف ومتطلبات السلامة للنظامين مختلفة.

هل يجب على معدات الحفر EFU استخدام صندوق من الفولاذ المقاوم للصدأ؟

غير مؤكد. يجب تحديد ما إذا كانت هناك حاجة إلى الفولاذ المقاوم للصدأ أو مواد أخرى بناءً على منطقة التثبيت الفعلية لـ EFU والغازات التي قد تتعرض لها والرطوبة وطرق التنظيف ومواصفات المواد الخاصة بالعميل.

هل كلما زادت سرعة الرياح EFU، كان ذلك أفضل؟

لا. قد تتداخل سرعة الرياح المفرطة مع علاقة الضغط داخل الجهاز أو تخلق اضطرابًا محليًا. يجب تحديد حجم الهواء حول المنطقة المراد حمايتها والتأكد من ذلك عن طريق اختبار سرعة الرياح وفرق الضغط واتجاه تدفق الهواء.

هل يجب أن أختار H14 أو ULPA لمرشح EFU؟

وينبغي تحديده بناءً على أهداف التحكم في جسيمات المعدات ومواصفات العميل ومقاومة المرشح ونقطة تشغيل المروحة. لا تعني كفاءة الترشيح الأعلى أنه يمكن تجاهل الختم وتنظيم تدفق الهواء والكشف الفعلي عن التسرب.

كيفية تكوين EFU عندما لا تكون هناك مساحة كافية في معدات الحفر؟

يمكن تقييم هياكل مدخل الهواء الجانبية أو الرفيعة جدًا أو الصغيرة الحجم أو الضيقة، ولكن يجب إعادة فحص منطقة المرشح ومقاومة مدخل الهواء والضغط الثابت لحجم الهواء وارتفاع درجة الحرارة ومساحة الصيانة، ولا يمكن تقليل حجم الصندوق.

ختاماً

يتمثل جوهر تكوين EFU لمعدات الحفر في توفير هواء نظيف مستقر ويمكن التحقق منه للمناطق المحددة الحساسة للجسيمات دون التدخل في العلاقة بين عادم العملية وضغط المعدات.

يجب أن يؤكد اختيار المشروع بشكل تسلسلي على منطقة الحماية النظيفة وحدود إمداد الهواء والعادم وحجم الهواء المستهدف والضغط الثابت وكفاءة الترشيح والبيئة المسببة للتآكل وواجهة التثبيت ووصلة التحكم ومسار الصيانة . بالنسبة للمعدات ذات تدفق الهواء المعقد أو المساحة المحدودة، يجب تحديد المعلمات النهائية من خلال تجميع النموذج الأولي واختبار ظروف العمل الفعلية، بدلاً من تطبيق مواصفات EFU العامة بشكل مباشر.