Wie konfiguriere ich die Ätzausrüstung EFU? Korrosive Umgebung, örtliche Luftversorgung und Bestätigung der Wartungsbedingungen

Direkte Antwort: Bei der Konfiguration von EFU für Ätzgeräte sollten Sie zunächst die sauberen Bereiche identifizieren, die geschützt werden müssen, und dann das Luftvolumen, den statischen Druck, die Filtereffizienz, das Gehäusematerial und die Steuerschnittstelle des EFU basierend auf Prozessabgasen, internen Druckverhältnissen der Geräte, potenziell korrosiven Umgebungen, Installationsraum und Wartungsmethoden bestimmen.

Die Hauptfunktion von EFU besteht darin, gefilterte saubere Luft für den Wafer-Transferbereich, den Roboteraktivitätsbereich oder andere partikelempfindliche Bereiche bereitzustellen. Es kann das Prozessabgassystem von Ätzanlagen nicht ersetzen. Bei der Auswahl muss darauf geachtet werden, dass die Zufuhr sauberer Luft den Unterdruck der Prozesskammer nicht beeinträchtigt und dass korrosive Gase nicht in die EFU gelangen und die Verwendung von Ventilatoren, Motoren, Filtern und Steuerungskomponenten beeinträchtigen.

Warum müssen Ätzgeräte mit EFU konfiguriert werden?

Im Inneren von Ätzanlagen befinden sich in der Regel verschiedene Funktionsbereiche wie Prozesskammer, Wafertransfer, Manipulator, Ladeschnittstelle und Absaugsystem. Die Kontaminationsrisiken, denen jeder Bereich ausgesetzt ist, sind unterschiedlich, sodass EFU nicht einfach entsprechend dem oberen Bereich der Ausrüstung konfiguriert werden kann.

Die geräteseitige EFU ist hauptsächlich für folgende Aufgaben zuständig:

• Bereitstellung einer lokalen Versorgung mit sauberer Luft für Wafertransfer- und Zwischenlagerbereiche;

• Reduzieren Sie die Auswirkungen von Partikeln, die durch das Öffnen von Geräten, Wartung oder Materialtransfer verursacht werden.

• Helfen Sie wichtigen Bereichen dabei, eine relativ stabile Luftstromrichtung zu bilden;

• Arbeiten Sie mit dem internen Rückluft- oder Abluftweg des Geräts zusammen, um die Ausbreitung der Verschmutzung zu kontrollieren.

• Passen Sie die Luftmenge für Arbeit, Betrieb oder Wartung entsprechend dem Betriebszustand des Geräts an.

Vor der Konfiguration sollten der zu schützende Bereich, die zulässige Luftzufuhrrichtung und der Prozessstandort, der nicht durch Luftströmungen beeinträchtigt werden kann, in den Gerätezeichnungen markiert werden.

Die EFU-Reinluftversorgung kann die Prozessabluft nicht ersetzen

EFU und Prozessabgas haben unterschiedliche Funktionen:

Wenn das EFU-Luftzufuhrvolumen zu groß ist oder die Luftzufuhrrichtung unangemessen ist, kann sich das ursprüngliche Druckverhältnis im Prozessbereich ändern. Im Gegenteil, wenn das Abluftvolumen des Geräts zu groß ist, kann die effektive Luftversorgungsreichweite der EFU verringert werden oder sogar unbehandelte Umgebungsluft in Schlüsselbereiche gesaugt werden.

Daher kann das EFU-Luftvolumen nicht unabhängig von den Abgasparametern der Anlage bestimmt werden. Bei der Auslegung sollten Zuluft, Abluft und Abluft im gleichen Luftstromdiagramm analysiert werden.

So bestimmen Sie den Installationsort der Ätzausrüstung EFU

Der EFU-Installationsort sollte anhand des Sauberkeitsschutzziels festgelegt werden und nicht überall dort installiert werden, wo Platz ist. Normalerweise müssen Sie sich auf die Überprüfung der folgenden Orte konzentrieren:

• Der Wafer gelangt in den Ladebereich der Anlage;

• Wafertransfer- und Roboteraktivitätsbereiche;

• Erkennungs- oder Positionierungsorte, die empfindlich auf Partikel reagieren;

• Bereiche, die leicht von der Außenluft beeinflusst werden, wenn das Gerät geöffnet oder gewartet wird;

• Um die Prozesskammer herum ist ein sauberer und isolierter Raum erforderlich.

Die EFU-Luftaustrittsfläche sollte versuchen, den zu schützenden Bereich abzudecken und dabei Manipulatoren, Balken, Kabelrinnen und große Blechflächen zu vermeiden. Auch auf der Lufteinlassseite sollte ausreichend Platz vorgesehen werden, um eine Verringerung des tatsächlichen Luftvolumens aufgrund einer Verstopfung des Ansaugeinlasses zu vermeiden.

Wenn die Installationshöhe begrenzt ist, können die Innenabmessungen des Geräts beurteilt werden70 mm ultradünnes EFU ; Wenn die Standardspezifikationen nicht zur Geräteöffnung, Lufteinlassrichtung oder Wartungspfad passen, müssen Sie verwendenMaßgeschneiderte EFU zur Anpassung der Gehäusegröße und Schnittstelle.

Wie sollen Luftvolumen und statischer Druck ermittelt werden?

Das Luftvolumen der Ätzausrüstung EFU sollte auf der Grundlage der effektiven Luftzufuhrfläche, der angestrebten durchschnittlichen Windgeschwindigkeit und der internen Luftströmungsorganisation der Ausrüstung bestimmt werden. Zur vorläufigen Abschätzung kann folgender Zusammenhang herangezogen werden:

Zielluftmenge = effektive Luftversorgungsfläche × angestrebte durchschnittliche Windgeschwindigkeit

Der effektive Luftzufuhrbereich ist hier nicht der Außenbereich der EFU-Box, sondern der tatsächliche Luftauslassbereich nach Abzug von Filterrahmen, Geräterahmen und anderen Hindernissen.

Überprüfen Sie nach Abschluss der vorläufigen Luftmengenberechnung den folgenden Widerstand:

• EFU-Lufteinlass und Widerstand der Schutzstruktur;

• Lüfterhohlraum und interner Luftkanalwiderstand;

• HEPA- oder ULPA-Filterwiderstand;

• Widerstand durch Luftaustrittsblenden, Strömungsverteilungsstrukturen oder Gerätegitter;

• Widerstand durch örtliche Durchgänge und bauliche Hindernisse im Geräteinneren;

• Änderungen des Filterwiderstands nach längerem Gebrauch.

Zielluftmenge und Gesamtwiderstand bilden zusammen den tatsächlichen Betriebspunkt der EFU. Die Auswahl einer EFU nur auf der Grundlage des Nennluftvolumens kann zu Unterschieden zwischen dem tatsächlichen Luftvolumen nach der Installation und dem Auslegungswert führen.

Die Filtrationseffizienz sollte entsprechend den Prozessanforderungen bestimmt werden

Die Ätzanlage EFU kann entsprechend den Reinheitszielen des Projekts, den technischen Spezifikationen des Kunden und den Anforderungen an die Partikelkontrolle mit entsprechenden Stufen an hocheffizienten oder ultrahocheffizienten Filtern ausgestattet werden. Je höher die Filtereffizienz, desto mehr Aufmerksamkeit muss in der Regel dem Filterwiderstand, der effektiven Fläche und der statischen Druckkapazität des Ventilators gewidmet werden.

Es wird empfohlen, bei der Auswahl eine klare Synchronisierung vorzunehmen:

• Bewertung der Filtereffizienz;

• Zielpartikelgröße und Testanforderungen;

• Anfangswiderstand bei Nennluftmenge;

• Die Dichtungsmethode zwischen Filter und Kasten;

• Ob eine Lecksuche vor Ort erforderlich ist;

• Filterwechselrichtung und Demontage- und Montageraum;

• Der Bereich der Widerstandsänderungen, die während des Gebrauchs zulässig sind.

Der Filtergrad allein bestimmt nicht die Reinigungswirksamkeit. Die Richtung des Luftstroms innerhalb der Ausrüstung, lokale Okklusion, Dichtungsintegrität und Abgasverhältnisse wirken sich auch auf die Partikelkontrolle in kritischen Bereichen aus.

Welche Materialien müssen in korrosiven Umgebungen geprüft werden?

Ätzgeräte können Prozessumgebungen mit Korrosionsrisiken beinhalten, aber ob die EFU relevanten Gasen ausgesetzt wird, muss anhand der tatsächlichen Gerätestruktur beurteilt werden. Nur weil die Ausrüstung zum Ätzverfahren gehört, kann nicht direkt festgestellt werden, dass ein bestimmtes Kastenmaterial verwendet werden muss.

Die Materialbewertung sollte kombiniert werden mit:

• Arten und Konzentrationen von Gasen, denen der EFU-Installationsbereich ausgesetzt sein kann;

• Luftströmungsrichtung während normaler Betriebs-, Abschalt- und Wartungsbedingungen;

• Umgebungstemperatur und Luftfeuchtigkeit;

• Kasten-, Befestigungs- und Halterungsmaterialien;

• Dichtungen und Kabelmaterialien;

• Filtermedien, Rahmen und Dichtungsmittel;

• Schutzbedingungen für Motoren, Steuerungen und Steckverbinder.

Wenn sich die EFU in einem relativ unabhängigen Bereich der Reinluftversorgung befindet und nicht mit Prozessgasen in Berührung kommt, kann die herkömmliche Struktur bereits die Projektanforderungen erfüllen; Wenn die Gefahr eines Rückflusses korrosiver Gase oder einer längeren Exposition besteht, sollten die entsprechende Box, Befestigungselemente, Dichtungen und elektrischen Schutzmethoden gemäß den Materialspezifikationen des Kunden ausgewählt werden.

Beeinflusst EFU den Unterdruck der Prozesskammer?

Diese Möglichkeit besteht und muss daher während der Entwurfs- und Debugging-Phasen überprüft werden.

Wenn das EFU-Luftzufuhrvolumen, das Geräterückluftvolumen und das Prozessabluftvolumen nicht übereinstimmen, kann sich der örtliche Druck im Gerät ändern. Um festzustellen, ob die EFU den Unterdruck der Prozesskammer beeinflusst, können Sie die folgenden Schritte ausführen:

1. Markieren Sie die Positionen des EFU-Luftauslasses, des Prozessabgasauslasses und des Geräterückluftauslasses.

2. Erfassen Sie die Abluftmenge bei unterschiedlichen Betriebsbedingungen der Anlage;

3. Prüfen Sie, ob die EFU-Luftzufuhr direkt in den Prozesshohlraum oder den Abluftauslass bläst;

4. Differenzdruck und Windgeschwindigkeit in kritischen Bereichen messen;

5. Passen Sie die EFU-Geschwindigkeit stufenweise an und beobachten Sie das Druckverhältnis und die Luftströmungsrichtung;

6. Bestimmen Sie die Betriebsausrüstung unter normalen Produktions-, Betriebs- und Wartungsbedingungen.

7. Schreiben Sie die Endgeschwindigkeit, die Luftmenge und die Verknüpfungslogik in die Geräteparameter.

Bei Geräten mit komplexen Luftströmungsgrenzen kann die tatsächliche Strömungsrichtung durch Rauchbeobachtung, Windgeschwindigkeitsmessung, Druckdifferenzprüfung oder andere von der Anlage zugelassene Methoden bestätigt werden.

So verknüpfen Sie das Steuerungssystem mit Ätzgeräten

Der EFU von Ätzgeräten muss in der Regel dem Betriebsstatus des Geräts entsprechen, anstatt eine einzige Rotationsgeschwindigkeit über einen langen Zeitraum aufrechtzuerhalten. Je nach Projektanforderungen können Sie Folgendes festlegen:

• Die Arbeitsausrüstung der Ausrüstung während der Produktion;

• Dienststellung im Bereitschaftszustand;

• Betriebsart beim Öffnen oder Warten der Tür;

• Logik zum Herunterfahren oder Weiterlaufen, wenn die Ausrüstung abnormal ist;

• Geschwindigkeitsanpassung nach Filterwiderstandsänderungen;

• Lokale Geschwindigkeitsregelung, analoge Steuerung oder Kommunikationssteuerung;

• Rückmeldung des Betriebsstatus und des Fehlersignals.

Bei Verwendung einer mehrstufigen Geschwindigkeitsregelung sollten Luftmenge, Windgeschwindigkeit, Leistung, Geräusch und Druckstatus jedes Gangs separat erfasst werden. Durch die Einhaltung bewährter Parametereinstellungen während der Serienproduktion können Luftstromunterschiede zwischen verschiedenen Geräten verringert werden.

Warum sollten Wartungspfade während der Entwurfsphase bestätigt werden?

Filter, Lüfter und Steuerungskomponenten benötigen alle Platz für die Wartung. Wenn die Demontage- und Montagerichtung nach der Installation des Geräts berücksichtigt wird, können Probleme auftreten, z. B. dass der Filter nicht entfernt werden kann, der Stecker nicht betätigt werden kann oder andere Gerätestrukturen für Wartungsarbeiten demontiert werden müssen.

In der Entwurfsphase muss Folgendes geklärt werden:

Wenn es während des Wartungsprozesses zu Kontakt mit Prozessrückständen kommen kann, sollte der Anlagenbesitzer entsprechende Abschalt-, Isolations- und sichere Handhabungsverfahren entwickeln. EFU-Lieferanten arbeiten hauptsächlich zusammen, um strukturelle Schnittstellen, die Demontage und Montage von Komponenten sowie die Bedingungen für die Wiederherstellung der Reinluftversorgung zu bestätigen.

Ätzausrüstung EFU-Projektbestätigungsliste

Wie Aili Industry mit dem EFU-Projekt für Ätzgeräte zusammenarbeitet

Die Ätzausrüstung EFU muss gleichzeitig mit sauberer Luftzufuhr, Geräteabluft, Korrosionsrisiken und begrenztem Installationsraum zurechtkommen. Normalerweise kann die Auswahl nicht auf der Grundlage nur eines Standard-Luftvolumenparameters getroffen werden.

Aili Industrial kann zusammenarbeiten, um die EFU-Größe, die Lufteinlass- und -auslassrichtung, den Lüfterarbeitspunkt, die Filtereffizienz, die Kastenstruktur und die Steuerschnittstelle auf der Grundlage der Gerätezeichnungen und des Zielbereichs zu bestätigen. Durch die unterstützende Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von Motoren, Lüftern, Steuerungssystemen, Blechstrukturen, Luftfiltern und der kompletten Maschinenmontage können Struktur und Betriebsparameter während der Prototypenphase entsprechend der tatsächlichen Geräteschnittstelle angepasst werden.

Bei der Bestätigung des Projekts wird empfohlen, die Innenlänge, Breite und Höhe der Ausrüstung, den EFU-Installationsort, das Prozessabgasvolumen, den Zielluftzufuhrbereich, die Anforderungen an Luftvolumen oder Windgeschwindigkeit, Filtereffizienz, Stromversorgung und Kommunikationsmethode anzugeben. Für seitliche Lufteinlässe, ultradünne, kleine Abmessungen oder spezielle Materialstrukturen können Chargenzeichnungen nach Bestätigung durch Prototypenmontage und Mehrfachbetriebszustandstests verfestigt werden.

Spezifische Spezifikationen finden Sie unterSehen Sie es sich im Produktkategoriekatalog von Aili Industrial EFU an . Bitte beziehen Sie sich auf nicht standardmäßige Größen, spezielle Lufteinlassmethoden oder Geräteschnittstellen.Benutzerdefinierte EFU . Weitere Fragen zu Auswahl, Installation und Wartung finden Sie inSchauen Sie sich weiterhin die EFU-FAQs und den technischen Support an .

FAQ

Können Ätzgeräte EFU Prozessabgase ersetzen?

kann nicht. EFU wird hauptsächlich zur Bereitstellung gefilterter sauberer Luft verwendet, und Prozessabgase sind für die Ableitung von Prozessgas, Wärme oder Schadstoffen verantwortlich. Die Funktionen und Sicherheitsanforderungen der beiden Systeme sind unterschiedlich.

Muss die Ätzausrüstung EFU eine Edelstahlbox verwenden?

unsicher. Ob Edelstahl oder andere Materialien erforderlich sind, sollte auf der Grundlage des tatsächlichen Installationsbereichs der EFU, der Gase, denen sie möglicherweise ausgesetzt ist, der Luftfeuchtigkeit, der Reinigungsmethoden und der Materialspezifikationen des Kunden bestimmt werden.

Ist es umso besser, je höher die EFU-Windgeschwindigkeit ist?

NEIN. Eine zu hohe Windgeschwindigkeit kann das Druckverhältnis innerhalb der Anlage beeinträchtigen oder lokale Turbulenzen erzeugen. Das Luftvolumen sollte rund um den zu schützenden Bereich bestimmt und durch Prüfung der Windgeschwindigkeit, des Druckunterschieds und der Luftströmungsrichtung bestätigt werden.

Sollte ich H14 oder ULPA für den EFU-Filter wählen?

Sie sollte auf der Grundlage der Partikelkontrollziele der Ausrüstung, der Kundenspezifikationen, des Filterwiderstands und des Lüfterbetriebspunkts bestimmt werden. Eine höhere Filtrationseffizienz bedeutet nicht, dass Abdichtung, Luftstromorganisation und tatsächliche Leckerkennung vernachlässigt werden können.

Wie konfiguriere ich EFU, wenn in der Ätzausrüstung nicht genügend Platz vorhanden ist?

Ultradünne, kleine, schmale Körper- oder seitliche Lufteinlassstrukturen können bewertet werden, aber die Filterfläche, der Lufteinlasswiderstand, der statische Luftvolumendruck, der Temperaturanstieg und der Wartungsraum müssen erneut überprüft werden, und die Kastengröße kann nicht reduziert werden.

abschließend

Der Kern der EFU-Konfiguration von Ätzgeräten besteht darin, stabile und nachweisbar saubere Luft für bestimmte partikelempfindliche Bereiche bereitzustellen, ohne das Verhältnis zwischen Prozessabgas und Gerätedruck zu beeinträchtigen.

Bei der Projektauswahl sollten nacheinander der saubere Schutzbereich, die Luftzufuhr- und Abluftgrenzen, das Zielluftvolumen und der statische Druck, die Filtereffizienz, die korrosive Umgebung, die Installationsschnittstelle, die Steuerverbindung und der Wartungspfad bestätigt werden . Bei Geräten mit komplexem Luftstrom oder begrenztem Platz sollten die endgültigen Parameter durch den Zusammenbau von Prototypen und Tests unter tatsächlichen Arbeitsbedingungen ermittelt werden, anstatt direkt allgemeine EFU-Spezifikationen anzuwenden.