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Aili Industrial Ultra-thin EFU est une unité de filtre à ventilateur côté équipement pour l'intérieur des équipements de production et les zones propres locales. Ce produit adopte une structure compacte avec une hauteur de meuble de 70 mm. Il peut être associé à des ventilateurs, des filtres HEPA ou ULPA et des systèmes de contrôle en fonction des conditions d'installation des équipements semi-conducteurs, EFEM, panneaux d'affichage et équipements électroniques de précision.
La structure ultra-mince facilite le placement de modules d'alimentation en air pur au-dessus des équipements, sur des mezzanines et autres emplacements à hauteur limitée. L'apparence de la machine complète, y compris le filtre et l'espace d'installation réel, doit être confirmée en fonction de la configuration sélectionnée, des conditions d'entrée d'air et des exigences de maintenance.
Armoire | Configuration du filtre HEPA/ULPA | Solution de ventilateur AC/EC | Amarrage de contrôle des équipements
Soumettre les dessins d'installation de l'équipement → Consultez la sélection d'EFU ultra-fins →
La sélection EFU ultra fine commence par l'espace disponible pour l'appareil. La hauteur de la boîte de 70 mm est le paramètre structurel de ce produit ; l'évaluation de l'installation doit également prendre en compte le filtre, la structure de connexion, l'espace d'entrée d'air et la position du câblage pour adapter l'apparence générale de la machine aux conditions réelles de l'équipement.
Confirmer les éléments |
Ce qu'il faut vérifier côté appareil |
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Aspect général |
Vérifiez la boîte, le filtre et l'interface d'assemblage dans la même taille d'assemblage final, et confirmez la longueur, la largeur, la hauteur totale et les parties saillantes. |
Espace d’entrée d’air et d’alimentation en air |
Confirmez les conditions de blocage près de la surface d’entrée d’air, les conditions d’entrée du flux d’air et les zones propres locales qui doivent être couvertes. |
Méthodes d'ouverture et de fixation |
Vérifiez les ouvertures réservées, l'emplacement des trous d'installation, les conditions de portance, les surfaces d'étanchéité et les structures fixes de l'équipement. |
Espace de câblage et de maintenance |
Confirmez l'emplacement des connecteurs d'alimentation et de communication, le sens des câbles et le sens de remplacement du filtre et de maintenance électrique. |
Lorsque les dessins de l'équipement sont disponibles, l'emplacement d'installation de l'EFU, les mécanismes de mouvement environnants et l'espace disponible peuvent être marqués pour faciliter l'évaluation conjointe de la structure et du plan d'alimentation en air.
Voici les paramètres structurels et les configurations communicables de cette unité de filtre à ventilateur ultra-mince côté équipement. Différentes configurations de ventilateurs, de filtres et d'interfaces doivent être confirmées en fonction des dessins et des conditions de fonctionnement correspondants.
Éléments de paramètres |
Méthodes de configuration et de confirmation du produit |
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type de produit |
Unité de filtre de ventilateur ultra-mince côté équipement EFU |
Hauteur du meuble |
70mm |
Hauteur hors tout de la machine |
Confirmer combiné avec filtre et configuration d'assemblage spécifique |
longueur et largeur |
La confirmation basée sur des modèles standard ou des dessins d'équipement prend en charge l'évaluation de structures non standard |
Solution de ventilateur |
Ventilateur AC ou EC, sélectionné en fonction des conditions d'alimentation en air et des exigences de contrôle |
Configuration du filtre |
Le filtre HEPA ou ULPA, la qualité, le matériau du filtre, la taille et la méthode d'étanchéité sont confirmés selon le plan |
Options de média filtrant |
Fibre de verre, PTFE, etc., combinés aux exigences du processus et à l'évaluation de la configuration du filtre |
Volume d'air, vitesse du vent, pression statique |
Déterminé en fonction de la zone d'alimentation en air effective, de la résistance du filtre, du trajet d'air de l'équipement et de l'état de fonctionnement |
Méthode de contrôle |
Réglage d'unité individuelle, contrôle de groupe ou couplage d'appareils, configuré selon le projet |
Interfaces et communication |
RS485, Modbus ou autres interfaces convenues ; PWM et autres paramètres de signal sont confirmés selon le plan de contrôle |
Boîte et structure d'installation |
Les matériaux tels que l'acier inoxydable, l'alliage d'aluminium ou les plaques d'acier revêtues par pulvérisation, les positions des trous d'installation, les cadres et les méthodes de maintenance peuvent être communiqués. |
Alimentation électrique et inspection |
Les éléments de tension, de fréquence, de câblage et d’inspection sont confirmés selon les exigences spécifiques du modèle et du projet. |
Les performances telles que le volume d'air, la vitesse du vent, le bruit et l'uniformité doivent correspondre aux configurations spécifiques du produit, à l'état de l'installation et aux conditions de test ; la qualité du filtre doit être vérifiée en fonction des exigences de propreté du processus, d'étanchéité et des conditions de fonctionnement réelles.
Les applications suivantes ont des exigences communes en matière d'air propre local du côté de l'équipement et d'espace d'installation limité. Lors de la sélection, la zone d'installation spécifique, les conditions d'air de traitement et les interfaces des équipements doivent être prises en compte avant de déterminer la structure et la configuration de l'EFU ultra-mince.
Équipement semi-conducteur ultra-mince EFUEn conjonction avec les zones propres locales telles que le chargement et la transmission des plaquettes, vérifiez l'espace d'installation, la configuration du filtrage et l'uniformité de la vitesse du vent. |
EFEM ultra-mince EFUAlimentez en air autour de l'EFEM et du port de chargement et confirmez l'espace libre, la zone d'alimentation en air efficace et l'interface de l'équipement. |
Équipement de panneaux LCD/OLED EFUCoopérer avec les équipements de manipulation, de laminage et de test des panneaux pour vérifier l'espace de la hotte, la couverture du flux d'air et les exigences de contrôle statique. |
Équipement SMT ultra-mince EFUPour évaluer l'alimentation en air pur du capot supérieur de la machine de placement, le modèle de la marque de l'équipement, l'emplacement d'installation et l'espace disponible doivent être fournis. |
Équipement photovoltaïque EFUCoopérez avec l'équipement de transfert et de test de cellules et faites correspondre l'ouverture d'installation, le volume d'air cible, la direction de filtration et de maintenance. |
Équipement électronique de précision EFUPour les composants électroniques, les équipements de traitement micro-nano et d’assemblage de précision, vérifiez le contrôle local des particules et les conditions structurelles. |
Équipement Optique EFUCoopérez avec les modules de lentilles, l'assemblage de composants optiques et l'équipement de test, et faites attention au flux d'air, aux vibrations et à la hauteur d'installation. |
EFU ultra-mince pour les équipements d'automatisationEn combinaison avec la plage de mouvement des équipements d'assemblage et de chargement et de déchargement, vérifiez les ouvertures compactes, les interfaces de contrôle et la logique de fonctionnement. |
Pour les projets d'équipement de semi-conducteurs tels que la photolithographie, la gravure, le nettoyage et le dépôt de couches minces, les exigences de l'EFU doivent être mises en œuvre dans la zone d'air pur locale désignée, et le plan doit être confirmé en fonction des conditions du système d'air moyen, de pression et de l'équipement.
Voir les solutions d'air pur pour les équipements semi-conducteurs → Voir les FFU et EFU dédiés SMT →
Fournir de l’air pur côté équipement pour les équipements semi-conducteurs
Le chargement des plaquettes, le transport et d'autres zones locales désignées des équipements semi-conducteurs ont des exigences différentes en matière de propreté de l'air, d'organisation du flux d'air et d'espace d'installation. L'EFU ultra-mince de 70 mm d'Aili Industrial peut être configuré en fonction des conditions d'installation de l'équipement, du volume d'air cible, de la vitesse du vent, du niveau de filtration et de la méthode de contrôle pour fournir de l'air propre filtré HEPA ou ULPA à la zone correspondante.
La hauteur du meuble de ce produit est de 70 mm. La hauteur totale de la machine complète, y compris le filtre, et la forme de l'installation sont déterminées en fonction de la configuration spécifique. Les applications suivantes doivent être sélectionnées en fonction du lieu d'utilisation, des conditions atmosphériques et des exigences de vérification confirmées par le fabricant de l'équipement.
Équipement frontal à semi-conducteursL'EFU ultra-mince des équipements frontaux à semi-conducteurs peut entourer des zones propres locales telles que le chargement et la transmission des plaquettes, en s'adaptant à l'espace supérieur de l'équipement, à la couverture de l'alimentation en air, à la configuration de la filtration et aux exigences de contrôle. Pour les équipements avec une hauteur d'installation limitée, le boîtier ultra-mince peut être évalué avec le ventilateur, le filtre et la structure d'installation. |
Module frontal de périphérique EFEMPour la zone de chargement et de transfert des plaquettes à l'intérieur de l'EFEM, l'EFU ultra-mince peut être configuré en fonction de l'espace d'installation supérieur, de la zone d'alimentation en air efficace, de l'uniformité de la vitesse de l'air et des exigences de liaison des équipements. Les ventilateurs, les filtres HEPA ou ULPA et les interfaces de contrôle sont confirmés avec la structure globale et le système d'air EFEM. |
Machine de nettoyage de semi-conducteursLa machine de nettoyage de semi-conducteurs EFU peut être configurée en fonction de l'espace d'installation, du volume d'air et des exigences de filtration du chargement, du déchargement et d'autres zones propres locales désignées. Pour les équipements impliquant des procédés humides, la structure du produit et le lieu d'utilisation doivent être confirmés en fonction des conditions atmosphériques, de la compatibilité des matériaux et des dispositions d'évacuation de la zone d'installation. |
Matériel de lithographiePour le chargement de tranches, le transport ou d'autres zones propres locales désignées d'équipements liés à la lithographie, la solution EFU ultra-mince peut être évaluée en fonction de la hauteur disponible, du volume d'air cible, du niveau de filtration et des exigences de vibration de l'équipement pour connecter le module d'alimentation en air propre à la structure d'installation de l'équipement. |
Matériel de gravureLes EFU des équipements de gravure peuvent être configurés en fonction des besoins en air pur à l’avant de l’équipement ou dans d’autres zones désignées. Selon le volume d'air cible, la résistance du filtre, le chemin d'air de l'équipement et la méthode de contrôle, faites correspondre la structure du ventilateur, du filtre et du boîtier, et confirmez avec le système d'air d'origine de l'équipement. |
Équipement de dépôt de couches mincesPour les zones propres locales telles que le chargement frontal et le transfert de tranches d'équipements de dépôt de couches minces tels que PVD, CVD et ALD, la solution de support EFU peut être évaluée en fonction de l'espace de l'équipement, de la plage d'alimentation en air et des exigences de filtration, et la configuration du ventilateur, l'interface d'installation et la direction de maintenance peuvent être confirmées conjointement. |
Équipement d'implantation ioniqueLorsque l'équipement d'implantation ionique a des exigences locales en matière d'air propre telles que le chargement et la transmission frontaux, la configuration EFU ultra-mince peut être évaluée en fonction de l'espace d'installation, du volume d'air cible et de l'interface de l'équipement. La taille du produit, le filtre et la méthode de contrôle sont adaptés en fonction des conditions spécifiques de l'équipement. |
Équipement CMPPour le chargement et le déchargement des plaquettes des équipements de polissage mécano-chimique CMP et d'autres zones propres locales désignées, une solution EFU ultra-mince peut être conçue en fonction de la hauteur d'installation, de la couverture d'alimentation en air et des exigences de filtration, et la disposition du module peut être confirmée en fonction de l'humidité environnante, des médias et des conditions d'échappement. |
Équipement de traitement de plaquettesL'équipement de traitement des plaquettes EFU peut répondre aux besoins locaux en air pur du transfert, du tri et des équipements associés des plaquettes. Faites correspondre la configuration de l'armoire ultra-mince, du ventilateur et du filtre en fonction de l'ouverture d'installation, de la vitesse du vent cible, de l'uniformité et des exigences de contrôle. |
Matériel de contrôle et de mesurePour l’inspection des semi-conducteurs, la mesure et les équipements de précision associés, l’EFU ultra-mince peut être configuré autour du chargement des échantillons, du transport ou d’autres zones désignées. Lors de la sélection, vérifiez conjointement les exigences de propreté de l'air, la plage d'alimentation en air ainsi que les conditions de bruit, de vibration et d'interface de contrôle proposées par l'équipement. |
Équipement d'emballage avancéL'EFU ultra-mince des équipements d'emballage avancés peut être orienté vers des zones propres locales telles que le chargement, le transport et l'assemblage de précision des équipements associés. La structure et la configuration sont adaptées en fonction de la hauteur d'installation, du niveau de filtration, du volume d'air cible et du sens de maintenance. |
Consultation de sélection d’équipements semi-conducteurs EFUSoumettre les dessins d'installation et les exigences d'alimentation en air pur → |
Couverture des applications des équipements semi-conducteurs
Équipement frontal pour semi-conducteurs · EFEM · Machine de nettoyage de semi-conducteurs · Équipement de photolithographie · Équipement de gravure · Équipement de dépôt de couches minces · Équipement d'implantation ionique · Équipement CMP · Équipement de traitement de plaquettes · Équipement d'inspection et de mesure · Équipement de conditionnement avancé
Les produits ultra-minces nécessitent une réadaptation des composants
L'EFU ultra-mince doit prendre en compte les performances de l'alimentation en air, la configuration de la filtration, la structure d'installation et le contrôle des équipements dans un espace limité. Pour ce produit avec une hauteur d'armoire de 70 mm, la disposition du ventilateur et du moteur, le conduit d'air de l'armoire, la résistance du filtre, la position du câblage et le sens de maintenance doivent tous être confirmés en fonction des conditions de l'équipement.
Plage de correspondance des unions partielles
Ventilateur → Moteur → Conduit d'air → Filtre → Boîtier → Contrôle
Lorsque la configuration du ventilateur change, le fonctionnement du moteur, la résistance du filtre et le trajet de l'air du boîtier doivent être vérifiés simultanément ; lorsque la taille ou le niveau du filtre est ajusté, l'espace global de la machine et les performances de l'alimentation en air doivent également être reconfirmés. L'interface de commande et l'emplacement du câblage doivent être coordonnés avec le schéma électrique de l'équipement et pris en compte ensemble lors de la phase de conception structurelle.
Aili Industrial possède les capacités de fabrication de moteurs, de recherche et développement indépendante et de production de ventilateurs, de développement de logiciels et de matériel de systèmes de contrôle, de fabrication de filtres, de traitement de la tôle et d'assemblage complet de machines. Il peut participer à la conception EFU ultra-mince dès l'étape de configuration des composants de base et faire correspondre l'espace de l'équipement, l'objectif d'alimentation en air, les exigences de filtration et les interfaces de contrôle dans la même solution.
Lorsque les dimensions de l'installation ou les exigences de performances changent, le personnel R&D concerné peut vérifier conjointement l'impact des modifications en interne, réduisant ainsi les traductions de multiples exigences, les confirmations séparées et la retouche de l'interface, et fournissant une assistance pour l'ajustement des prototypes, l'évaluation des coûts du projet et la correspondance des lots ultérieure.
Le volume et la vitesse d'air cibles doivent être pris en compte ainsi que la zone d'alimentation en air effective, la résistance du filtre et le trajet d'air interne de l'équipement. Aili Industrial peut vérifier le point de fonctionnement du ventilateur, le chemin d'air de la boîte et le plan de réglage de la vitesse en fonction de ces conditions, et vérifier les performances de l'alimentation en air selon les conditions de travail convenues.
La qualité, l'épaisseur, la surface, la résistance et la forme d'étanchéité du filtre à haute efficacité HEPA ou du filtre à ultra haute efficacité ULPA affecteront tous la configuration globale de la machine. Lors du remplacement du grade de filtration ou du matériau filtrant, vous devez revérifier la puissance, l'apparence et l'espace d'entretien.
Communiquez le démarrage et l'arrêt, le réglage de la vitesse, le retour d'état et la liaison des équipements en fonction des exigences du client. En ce qui concerne la communication RS485, le protocole Modbus ou la régulation de vitesse PWM, confirmez conjointement la définition du câblage, les paramètres du signal, le protocole et la logique de fonctionnement, et considérez ensemble la disposition de l'interface et l'espace d'installation limité.
Entrée d'air → entraînement du ventilateur → filtration HEPA ou ULPA → alimentation en air propre dans les zones désignées
Découvrez la portée de développement non standard plus complète de l'EFU →
Aili Industrial dispose d'une base de fabrication de 30 000 mètres carrés et son système de R&D et de fabrication couvre les moteurs, les ventilateurs, les logiciels et le matériel du système de contrôle, les filtres à air, le traitement de la tôle et l'assemblage complet de machines. Les composants de base sont développés et produits en interne, permettant aux ingénieurs concernés de s'adapter conjointement aux exigences d'espace, d'alimentation en air et d'interface de la structure ultra-mince.
Structure compacte et composants de base co-conçusVérifiez la disposition du moteur et du ventilateur, la configuration du filtre, le conduit d'air du boîtier et l'interface d'installation dans le même plan pour relier la sélection des composants à la structure globale de la machine. |
Le logiciel et le matériel de contrôle fonctionnent ensemble en interneLe personnel de R&D de contrôle et d'équipement confirme conjointement les signaux, les communications, la régulation de vitesse et les retours d'état pour répondre au schéma électrique et aux besoins de débogage de l'équipement du client. |
La collaboration interne soutient les réponses de développementLes dessins, les configurations de composants et les modifications du prototype peuvent être directement connectés. Lorsque les exigences d'espace ou de performances changent, le personnel concerné vérifie conjointement l'impact, réduisant ainsi le besoin de traduction des exigences et de confirmation séparée. |
Configuration des performances et planification des coûts du projetOrganisez les configurations en fonction des performances cibles, de la technologie de tôlerie, du traitement des conditions d'assemblage et de maintenance pour réduire les options inutiles, les retouches d'interface et les modifications répétées, et prendre en charge l'évaluation des coûts pour les prototypes et les kits par lots. |
Les dessins, la liste des pièces, les interfaces et les exigences d'inspection confirmées au stade du prototype peuvent être connectés à la production ultérieure. Les éléments de vérification tels que la taille, le volume et la vitesse de l'air, le bruit de fonctionnement et les fonctions de contrôle sont déterminés conjointement en fonction de la configuration spécifique et des conditions de travail convenues.
Découvrez les capacités de R&D et de fabrication d’Aili Industrial →
Les 70 mm pour ce produit sur cette page font référence à la hauteur de l'armoire. La hauteur totale et la forme d'installation de l'ensemble de la machine, y compris le filtre, doivent être confirmées en fonction du filtre, de la méthode de connexion et de la configuration d'assemblage spécifique.
L’aspect complet de l’assemblage doit d’abord être vérifié. L'installation proprement dite doit également prendre en compte les filtres, les espaces d'entrée d'air, les connecteurs électriques, les structures fixes et les instructions de maintenance. Fournir des coupes transversales de l’équipement aidera à déterminer s’il est adapté.
L'EFU ultra-mince résout principalement le problème de la hauteur limitée, tandis que l'EFU de petite taille se concentre principalement sur la longueur et la largeur de l'ouverture ou sur la plage d'alimentation en air locale. Lorsque l’équipement présente simultanément plusieurs contraintes d’espace, les configurations de boîtier, de filtre et de ventilateur peuvent être évaluées ensemble.
Il doit être vérifié en fonction de la zone d'alimentation en air effective, de la résistance du filtre et du trajet d'air interne de l'équipement. Une fois que les paramètres cibles et les conditions de test sont clairs, la puissance, la structure et la configuration du filtre sont évaluées et confirmées conjointement par des prototypes ou des tests correspondants.
Les options HEPA ou ULPA peuvent être évaluées en fonction des besoins du projet. Le niveau de filtration, l'épaisseur, la surface, l'étanchéité et la résistance de fonctionnement doivent être confirmés ensemble. Une fois la configuration de filtration modifiée, la taille globale de la machine et les performances de l'alimentation en air doivent également être vérifiées simultanément.
Les ventilateurs EC et les solutions de contrôle correspondantes peuvent être sélectionnés en fonction du projet. Avant de vous connecter au PLC, vous devez confirmer l'alimentation électrique, le démarrage et l'arrêt, la régulation de vitesse, le retour d'état et les exigences de communication. Les fonctions et interfaces spécifiques sont soumises au plan confirmé.
L'ouverture d'installation d'origine, la hauteur disponible, la méthode de fixation, la direction de l'alimentation en air et l'interface électrique peuvent être fournies en premier. Aili Industrial évalue la portée de l'adaptation et de la modification en fonction de la structure existante, du conduit d'air et des conditions de maintenance.
Il est recommandé de fournir l'utilisation de l'équipement, les dessins d'installation, l'espace total disponible, le volume ou la vitesse d'air cible, les exigences de filtration, l'interface de contrôle de l'alimentation électrique et la quantité estimée du prototype ou du lot. S'il existe déjà des exigences en matière d'uniformité, de bruit, de vibration et d'acceptation, elles peuvent également être soumises ensemble.
Afficher les séries EFU et les points de sélection →
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Si vous recherchez des fabricants d'EFU ultra-minces pour semi-conducteurs, EFEM, panneaux, SMT ou autres équipements de précision, vous êtes invités à fournir des dessins d'installation et des exigences d'alimentation en air pur à Aili Industrial.
Veuillez donner la priorité à l'ouverture de l'équipement, à la hauteur totale disponible, aux conditions d'entrée d'air, au volume ou à la vitesse d'air cible, aux exigences de filtration et à l'interface de contrôle. Aili Industry peut organiser les ingénieurs concernés pour vérifier conjointement les solutions de boîtier ultra-mince, de filtre, d'alimentation et de contrôle, et communiquer sur les modalités de vérification des prototypes et de correspondance des lots.
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