sản phẩm

trang đầu » sản phẩm » Bộ lọc quạt phía thiết bị (EFU) » Bộ lọc quạt phía thiết bị EFU được tùy chỉnh

Danh mục sản phẩm

đang tải

Bộ lọc quạt phía thiết bị EFU tùy chỉnh

Aili Industrial EFU (Bộ lọc quạt thiết bị) là hệ thống lọc không khí có độ chính xác cao được phát triển đặc biệt cho các máy lõi như thiết bị xử lý chất bán dẫn, thiết bị sản xuất màn hình phẳng và thiết bị sản xuất pin lithium. Khác với FFU được lắp đặt trên trần phòng sạch, EFU được tích hợp trực tiếp vào thân thiết bị để cung cấp nguồn không khí đầu cuối chính xác cho máy quang khắc, máy khắc, máy làm sạch, phủ keo và thiết bị phát triển, v.v. Aili Industrial thực hiện sản xuất độc lập toàn bộ chuỗi quạt, hệ thống điều khiển và bộ lọc, đồng thời hỗ trợ tùy chỉnh chuyên sâu các kích thước không chuẩn, vật liệu đặc biệt và điều kiện làm việc đặc biệt.
Tình trạng:
Số lượng:

Giới thiệu sản phẩm

Bộ lọc EFU tùy chỉnh công nghiệp Aili (1)

EFU là gì?


Aili Industrial EFU (Bộ lọc quạt thiết bị) là bộ phận lọc không khí quan trọng được phát triển đặc biệt cho các thiết bị sản xuất có độ chính xác cao cấp như chất bán dẫn, màn hình phẳng và pin lithium. Nó được tích hợp trực tiếp vào máy thiết bị hoặc lắp đặt gần thiết bị. Nó chịu trách nhiệm cung cấp khả năng bảo vệ dòng chảy một chiều theo chiều dọc có độ sạch cao ISO Class5-1 (UDF) cho bề mặt quy trình cốt lõi, loại bỏ hiệu quả các hạt vật chất được tạo ra trong quá trình vận hành thiết bị và ngăn chặn tác động của các chất ô nhiễm phân tử dạng khí (AMC), đồng thời duy trì môi trường vi mô nhiệt độ và độ ẩm ổn định trong khu vực quy trình. EFU là đơn vị chức năng cốt lõi quyết định trực tiếp độ ổn định vận hành của thiết bị, độ lặp lại của quy trình và năng suất sản phẩm cuối cùng.

2. Sự khác biệt cốt lõi giữa EFU và FFU

  • FFU (Fan Filter Unit) : Được lắp đặt trên trần phòng sạch để phục vụ cho toàn bộ môi trường nhà máy, chẳng hạn như phòng sạch Class 1.000. Dòng chảy một chiều bao phủ một không gian rộng lớn. Các ứng dụng điển hình là các nhà máy sản xuất bánh bán dẫn và xưởng dược phẩm sinh học.

  • EFU (Bộ lọc quạt thiết bị) : Được tích hợp bên trong máy thiết bị hoặc gần thiết bị để đảm bảo môi trường siêu sạch bên trong thiết bị (ISO cấp 1). Nó cần phải vượt qua điện trở cao bên trong thiết bị. Các ứng dụng điển hình là bên trong máy in thạch bản, thiết bị đóng gói và các phân đoạn mảng bảng điều khiển.

Những lợi thế sản xuất cốt lõi của Aili Industrial EFU

Aili Industry đã có gần hai thập kỷ tích lũy công nghệ và khả năng cạnh tranh cốt lõi của nó bắt nguồn từ hệ thống 'cung cấp độc lập cho toàn bộ chuỗi ngành'. Nó không dựa vào việc lắp ráp các thành phần thuê ngoài mà độc lập làm chủ ba liên kết cốt lõi:

Quạt DC EFU DC công nghiệp Aili

Lợi thế cốt lõi của Aili Industrial—tự sản xuất toàn chuỗi

Động cơ tự sản xuất: Các thông số cuộn dây động cơ được tùy chỉnh và tối ưu hóa, cấu trúc cánh quạt và thiết kế tản nhiệt cho các kích cỡ EFU khác nhau và điều kiện áp suất ngược của thiết bị, cung cấp các lựa chọn EC, DC, AC và động cơ khác hiệu suất cao để đáp ứng hoạt động liên tục 7 × 24 giờ.


Bộ lọc tự sản xuất: Việc cắt và đúc vật liệu lọc được hoàn thành tại nhà máy của chúng tôi, có thể thích ứng với các loại HEPA H13/H14 đến ULPA U15/U16 và hỗ trợ các vật liệu đặc biệt như vật liệu lọc không chứa boron PTFE.


Hệ thống điều khiển tự phát triển: hỗ trợ RS485, Modbus, PLC, I/O và các giao thức khác, có thể kết nối liền mạch với hệ thống điều khiển chính của thiết bị hoặc hệ thống công việc của nhà máy và đạt được khả năng điều chỉnh tốc độ vô cấp 0,35-2m/s, giám sát từ xa và liên kết điều khiển nhóm.

Giá trị trực tiếp do toàn bộ dây chuyền tự sản xuất mang lại: đặc tính đầu ra của động cơ và đặc tính điện trở của bộ lọc có thể được hiệu chỉnh chính xác và khớp linh hoạt trước khi xuất xưởng. Có thể đạt được áp suất tĩnh bên ngoài cao hơn, phân bổ tốc độ gió trên bề mặt đồng đều hơn và tuổi thọ của bộ lọc dài hơn trong cùng mức tiêu thụ năng lượng và có thể tránh được sự biến động về hiệu suất do sự khác biệt về lô trong các bộ phận được mua.

4. Bao phủ khả năng tùy biến sâu

Aili Industrial coi 'tùy chỉnh phi tiêu chuẩn' là dịch vụ cốt lõi của mình chứ không phải là một tùy chọn bổ sung. Thứ nguyên tùy chỉnh bao gồm:

  • Kích thước kết cấu : chiều dài và chiều rộng không chuẩn (tối thiểu 300×180mm đến tối đa 1500×1500mm), độ dày tiêu chuẩn và loại siêu mỏng 70mm có sẵn.

  • Chất liệu hộp : hợp kim nhôm nhẹ, thép không gỉ SUS304, thép không gỉ 316, tấm nhôm-kẽm, tấm thép phun sơn, sơn chống tĩnh điện tùy chọn.

  • Cấp bộ lọc : HEPA H13/H14, ULPA U15/U16, vật liệu lọc không chứa boron PTFE tùy chọn (giảm ô nhiễm boron và rủi ro AMC).

  • Cửa nạp và cửa thoát khí và lắp đặt : Cấu trúc cửa hút gió/cửa thoát khí bên tùy chỉnh, nhiều phương pháp lắp đặt như nhúng, gắn bên, gắn trên và gắn dưới.

  • Điều kiện làm việc đặc biệt : chống cháy nổ, chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn và các yêu cầu khác có thể được điều chỉnh.

  • Chế độ điều khiển : chiết áp, 0-10V, MODBUS, giám sát không dây và các tùy chọn linh hoạt khác.

Aili Industry cung cấp một chuỗi dịch vụ tùy chỉnh hoàn chỉnh từ việc cập nhật nhu cầu, lựa chọn dự án, sản xuất thử nghiệm mẫu cho đến giao hàng theo lô.

5. Các lĩnh vực ứng dụng điển hình

EFU được sử dụng rộng rãi trong các liên kết quy trình cốt lõi đòi hỏi độ sạch cao hơn:

  • Chất bán dẫn : máy lõi dùng cho quang khắc, khắc, khuếch tán, v.v. để sản xuất tấm bán dẫn 8 inch/12 inch.

  • Màn hình phẳng (FPD) : Mảng, phim màu, hộp, lắp ráp mô-đun.

  • Pin lithium : phủ mảnh cực, cán, rạch và các thiết bị khác.

  • Sản xuất chính xác : EFEM, Load Port, máy phân loại wafer.

EFU và FFU: các vị trí khác nhau và mỗi vị trí thực hiện nhiệm vụ riêng của mình

FFU (phía nhà máy) : lắp trên trần phòng sạch | Duy trì môi trường phòng sạch rộng lớn (chẳng hạn như Loại 1.000) | Dòng chảy một chiều bao phủ một không gian rộng lớn | Nhà máy sản xuất wafer, xưởng dược phẩm sinh học
EFU (Phía thiết bị) : Tích hợp bên trong thiết bị máy | Đảm bảo môi trường siêu sạch bên trong thiết bị (ISO cấp 1) | Áp suất tĩnh cao vượt qua điện trở trong của thiết bị | Bên trong máy in thạch bản, thiết bị đóng gói, mảng panel Array

Tại sao chọn EFU tùy chỉnh công nghiệp Aili?

1. Linh kiện cốt lõi tự sản xuất xuyên suốt chuỗi ngành

Aili Industrial hiện thực hóa việc sản xuất độc lập toàn bộ dây chuyền từ quạt, bộ lọc đến hệ thống điều khiển tự động, thay vì dựa vào việc mua sắm và lắp ráp bên ngoài. Từ cuộn dây động cơ quạt, cắt vật liệu lọc đến hàn bảng mạch hệ thống điều khiển tự động, mọi thứ đều được hoàn thiện tại cơ sở sản xuất riêng.

  • Chất lượng có thể kiểm soát: Tất cả các khía cạnh được tích hợp vào hệ thống kiểm soát chất lượng nội bộ để tránh biến động hiệu suất do sự khác biệt về lô của các bộ phận được mua | - Hợp tác sâu: Khối lượng không khí của quạt và điện trở của bộ lọc có thể được kết hợp trong thời gian thực để nâng cao hiệu quả hoạt động của toàn bộ máy

  • Phản hồi nhanh: Chu kỳ tùy chỉnh ngắn hơn 30%-50% so với mô hình gia công | - Bảo hành sau bán hàng: Linh kiện lõi tự sản xuất được thay thế tránh tình trạng ngừng hoạt động của thiết bị do thiếu gia công

2. Động cơ tự phát triển – “trái tim” của EFU

Một trong những điểm nổi bật về mặt kỹ thuật lớn nhất của Aili Industrial trong sản xuất EFU là năng lực sản xuất động cơ của chính công ty. So với việc chỉ sử dụng quạt thuê ngoài, động cơ tự sản xuất mang lại nhiều ưu điểm:

  • Kết hợp hiệu suất sâu: các thông số động cơ và cấu trúc cánh quạt được tối ưu hóa cho các kích cỡ EFU khác nhau | - Nhiều lựa chọn động cơ: động cơ EC, động cơ DC và động cơ AC hiệu suất cao là tùy chọn linh hoạt

  • Độ tin cậy có thể kiểm soát: từ cuộn dây, vòng bi đến kiểm tra lão hóa, được tùy chỉnh theo điều kiện dự án | - Hoạt động lâu dài 7×24 giờ: giảm chi phí bảo trì thiết bị

3. Hệ thống điều khiển tự phát triển – cho phép EFU kết nối với “bộ não thiết bị”

Aili Industrial EFU hỗ trợ tích hợp sâu với hệ thống điều khiển chính của thiết bị:

  • Giao thức truyền thông: RS485, Modbus, PLC, I/O | - Phương pháp điều khiển: điều khiển độc lập, điều khiển tập trung, giám sát từ xa, điều khiển nối mạng

  • Liên kết thông minh: liên kết và điều khiển nhóm với hệ thống điều khiển chính của thiết bị vệ sinh | - Điều chỉnh chính xác: Điều chỉnh tốc độ gió vô cấp 0,35-0,9m / s

Khả năng tùy chỉnh: được thiết kế riêng cho từng thiết bị

Aili Industry nhấn mạnh 'các yêu cầu đối với thiết bị được nhúng hoàn toàn' - EFU không phải là một mô-đun độc lập mà là một phần của hệ thống thiết bị: kích thước, giao diện, không gian bảo trì và phương pháp nối dây đều cần phải phù hợp cao với toàn bộ máy.

  • Tùy chỉnh kích thước: hỗ trợ tùy chỉnh không chuẩn với bất kỳ chiều dài và chiều rộng nào, tối thiểu 300×300mm, tối đa 1500×1500mm | - Tùy chỉnh độ dày: độ dày tiêu chuẩn và siêu mỏng 70mm tùy chọn

  • Tùy chỉnh vật liệu: hợp kim nhôm nhẹ, thép không gỉ SUS304, thép không gỉ 316, tấm nhôm-kẽm, tấm thép phun sơn | - Xử lý bề mặt: sơn tĩnh điện tùy chọn

  • Tùy chỉnh bộ lọc: HEPA H13/H14, ULPA U15/U16 | - Vật liệu lọc đặc biệt: Bộ lọc siêu mịn không chứa boron PTFE (để ngăn ngừa ô nhiễm AMC)

  • Phương pháp hút gió và thoát gió: Tùy chỉnh cấu trúc cửa hút gió bên/cửa thoát gió bên | - Phương pháp lắp đặt: nhúng, gắn bên, gắn trên, gắn dưới

  • Phương pháp điều khiển: chiết áp, 0-10V, MODBUS, giám sát không dây | - Điều kiện làm việc đặc biệt: chống cháy nổ, chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn

Thông số kỹ thuật cốt lõi (tham khảo)

Độ dày tủ: độ dày tiêu chuẩn/loại siêu mỏng 70mm (không bao gồm bộ lọc) | Chất liệu tủ: hợp kim nhôm / SUS304 / 316 / tấm nhôm-kẽm
cấp lọc: HEPA H13/H14 / ULPA U15/U16 | Hiệu suất lọc: ≥99,995% đối với các hạt trên 0,3μm
Phạm vi thể tích không khí: 200-3000 m³/h (có thể tùy chỉnh cao hơn) | Tốc độ gió mặt: 0,3-2m/s
Loại động cơ có thể điều chỉnh đồng đều: Động cơ DC không chổi than EC hiệu suất cao | Giao diện điều khiển: RS485 / Modbus / PLC / I/O
Kiểm soát tiếng ồn: ≤55dB | Độ sạch: lên đến ISO Class 1

Khả năng đảm bảo chất lượng và giao hàng

Aili Industrial có các nhà máy ở Tô Châu và Quảng Đức, tạo thành một cơ cấu công nghiệp hợp tác cơ sở kép. Cơ sở sản xuất Quảng Đức có diện tích hơn 30.000 mét vuông và được trang bị các xưởng sản xuất tiêu chuẩn và các trung tâm R&D công nghệ kỹ thuật.

  • Mỗi quạt đã trải qua ít nhất ba bài kiểm tra hiệu suất | - Kiểm tra và xác minh hiệu suất toàn diện trước khi rời nhà máy

  • Thiết bị thanh lọc cấp công nghiệp được chứng nhận CE | - Sản phẩm phải vượt qua quá trình kiểm tra dài hạn nghiêm ngặt trước khi sản xuất hàng loạt

Nhận các giải pháp tùy chỉnh độc quyền

Bất kể những hạn chế về không gian, yêu cầu về độ sạch sẽ hay nhu cầu kiểm soát mà thiết bị của bạn phải đối mặt, đội ngũ kỹ sư công nghiệp của Aili đều có thể cung cấp hỗ trợ chuyên nghiệp.

Hãy liên hệ ngay với Aili Industrial để nhận được các giải pháp EFU tùy chỉnh và thông số kỹ thuật chi tiết cho mẫu thiết bị của bạn.

Bài viết trước: 
Bài viết tiếp theo: 
Aili Industrial phát triển và sản xuất bộ lọc không khí FFU, EFU, HEPA/ULPA, lỗ thông hơi cấp khí hiệu suất cao, hộp quạt và các thiết bị không khí sạch khác. Dựa vào động cơ, quạt, hệ thống điều khiển, bộ lọc và khả năng hỗ trợ máy hoàn chỉnh, chúng tôi cung cấp hỗ trợ lựa chọn và tùy chỉnh cho các dự án thiết bị sản xuất và phòng sạch.

sản phẩm

Liên kết nhanh

Tham gia vào một quan điểm toàn cầu

Nhận các sách trắng ngành và cập nhật công nghệ mới nhất.
© Công ty TNHH Công nghiệp Tô Châu Aili. Mọi quyền được bảo lưu.