Làm cách nào để phân chia công việc giữa EFU phía thiết bị và FFU phòng?

Trong các hệ thống sạch, FFU và EFU thường được thảo luận cùng nhau, nhưng nhiệm vụ của chúng khác nhau. FFU trong phòng chủ yếu tham gia vào việc cung cấp không khí môi trường nền để duy trì độ sạch không khí của phòng hoặc khu vực; EFU phía thiết bị chủ yếu bảo vệ phần bên trong của thiết bị được chỉ định hoặc khu vực vận hành cục bộ và giải quyết các vấn đề kiểm soát hạt trong khoang thiết bị, máy trạm hoặc đường dẫn quan trọng.

Cả hai có thể được sử dụng hiệp đồng, nhưng không thể thay thế lẫn nhau. Nếu FFU của phòng được sử dụng làm lớp bảo vệ bên trong của thiết bị hoặc EFU được sử dụng làm nguồn cung cấp không khí cho toàn bộ phòng thì ranh giới bảo vệ không rõ ràng, nhiễu luồng không khí hoặc tranh chấp chấp nhận có thể phát sinh. Hãy bắt đầu với một số khía cạnh thực tế.

Đầu tiên làm rõ ranh giới bảo vệ: cấp phòng hoặc cấp thiết bị

Đối tượng bảo vệ của FFU phòng là một phòng hoặc khu vực và phạm vi đánh giá thường được xác định dựa trên toàn bộ ranh giới phòng, kích thước hạt và trạng thái sử dụng. Đối tượng bảo vệ của EFU phía thiết bị là bên trong thiết bị, khoang hoặc máy trạm cục bộ. Phạm vi đánh giá nhỏ hơn nhưng bị ảnh hưởng nhiều hơn bởi cơ chế chặn, hành động mở cửa và chuyển mạch khí thải.

Nếu đối tượng bảo vệ là máy trạm mở hoặc điểm vận hành chính, bạn có thể tham khảo Các điều kiện tiên quyết để chỉ thanh lọc các máy trạm quan trọng là gì? , trước tiên hãy xác nhận xem ranh giới của các liên kết nhạy cảm và quá trình truyền tiến và lùi có thể kiểm soát được hay không. Nếu là khoang thiết bị kín thì cần quy hoạch riêng theo đường dẫn luồng không khí bên trong khoang. Để biết các phương pháp cụ thể, vui lòng tham khảo Lập kế hoạch cung cấp không khí sạch cho các khoang thiết bị kín như thế nào?。

Ranh giới không rõ ràng có thể dẫn đến việc lựa chọn thiết bị không phù hợp. Ví dụ: căn phòng yêu cầu ISO 7, nhưng một điểm tiếp xúc với tấm bán dẫn nhất định bên trong thiết bị lại yêu cầu mức độ bảo vệ cao hơn. Trong trường hợp này, bạn không thể chỉ dựa vào FFU của phòng cũng như không thể áp dụng trực tiếp mức phòng vào bên trong thiết bị.

Mối quan hệ giữa nguồn khí nạp và khí thải là khác nhau

FFU trong phòng thường lấy không khí từ phía trên trần nhà, lọc và đưa vào phòng, sau đó lưu thông qua đường dẫn khí hồi hoặc đường thải. Nguồn khí nạp, sức cản không khí hồi và chênh lệch áp suất phòng là một phần của thiết kế hệ thống.

Nguồn nạp khí của EFU phía thiết bị phức tạp hơn. Nó có thể lấy không khí từ phòng nơi đặt thiết bị hoặc có thể lấy không khí từ vòng tuần hoàn bên trong của thiết bị hoặc có thể được kết nối với một ống dẫn khí độc lập. Tùy thuộc vào nguồn khí nạp, tuổi thọ của bộ lọc EFU, nguy cơ ô nhiễm và khả năng chống chịu của hệ thống sẽ khác nhau.

Nếu EFU lấy không khí từ phòng và bản thân căn phòng có dao động hạt thì tải đầu vào của EFU sẽ tăng lên; nếu EFU lấy không khí từ bên trong thiết bị thì bụi bên trong có thể xâm nhập trực tiếp vào đầu vào EFU. Do đó, vị trí hút gió và đường dẫn ô nhiễm của EFU phải được xác định rõ ràng và không thể cho rằng không khí bên trong thiết bị là phù hợp để lưu thông.

Mối quan hệ khí thải cũng rất quan trọng. Cần phải có sự cân bằng giữa khí thải thiết bị, khí thải quá trình và cấp khí EFU. Nếu thể tích khí thải lớn hơn thể tích không khí bổ sung, khoang có thể tạo thành áp suất âm và hút không khí nền qua các khe hở; nếu lượng cung cấp khí EFU quá lớn, nó có thể cản trở hiệu ứng thu khí thải. Để biết chênh lệch áp suất cụ thể và đường dẫn luồng khí, vui lòng tham khảo Lập kế hoạch cung cấp không khí sạch cho các khoang thiết bị kín như thế nào?。

Tránh hai luồng luồng khí giao thoa với nhau

Khi FFU và EFU trong phòng chạy cùng lúc, hai luồng không khí này có thể tương tác với nhau tại các lỗ mở của thiết bị, khoảng trống cửa hoặc kênh bảo trì. Các câu hỏi thường gặp bao gồm:

• Lối vào EFU bị ảnh hưởng bởi nguồn cung cấp không khí trong phòng, dẫn đến thay đổi lượng hoặc hướng không khí vào;

• Khí thải của thiết bị hút đi luồng khí bảo vệ EFU, khiến tốc độ gió không đủ ở những khu vực trọng điểm;

• Luồng khí ngang của FFU trong phòng cản trở ranh giới bảo vệ cục bộ của EFU;

• Khi thiết bị tắt hoặc cửa mở, không khí nền sẽ đi vào bên trong thiết bị qua các khe hở.

Tình trạng hoạt động của phòng và thiết bị phải được kiểm tra đồng thời trong quá trình xác minh. Nếu chỉ đo tốc độ gió trên bề mặt đầu ra EFU thì không thể biết được khả năng bảo vệ bên trong của thiết bị có hiệu quả hay không; nếu chỉ đo hạt trong phòng thì không thể biết được các vị trí trọng yếu bên trong thiết bị có đạt tiêu chuẩn hay không.

Các điểm lấy mẫu phải được bố trí sao cho bao trùm các vị trí nhạy cảm bên trong thiết bị, thay vì chỉ ở dưới cửa cấp khí. Các phương pháp liên quan có thể được tìm thấy trong Tại sao điểm lấy mẫu không thể được đặt ngay bên dưới cửa cấp khí?。

Liên kết điều khiển: cài đặt riêng biệt hoặc quản lý thống nhất

Room FFU và EFU thường yêu cầu logic điều khiển khác nhau. FFU trong phòng có thể hoạt động ở các khu vực khác nhau tùy theo chế độ làm việc, làm việc và tiết kiệm năng lượng; EFU có thể cần được liên kết với bộ phận khởi động và dừng thiết bị, mở cửa và chuyển mạch khí thải.

Nếu hai hệ thống cần được quản lý thống nhất thì có thể kết hợp Hệ thống điều khiển nhóm FFU cấu hình các chiến lược vận hành theo khu vực và khoảng thời gian. Tuy nhiên, logic liên kết phải rõ ràng: ai khởi động và dừng trước, EFU chạy chậm lại hay báo động khi cửa mở, EFU phản ứng thế nào khi chuyển đổi khí thải và cách phục hồi sau khi bảo trì.

Địa chỉ điều khiển và quy tắc phân vùng phải được thống nhất trong giai đoạn đầu để tránh các lô thiết bị khác nhau không thể truy cập vào cùng một hệ thống sau này. Điều này đặc biệt quan trọng khi mở rộng mô-đun, vui lòng tham khảo Các điều kiện mở rộng để sử dụng các mô-đun độc lập trong hệ thống sạch là gì?。

Lựa chọn thiết bị: Không thể trộn lẫn các thông số FFU và EFU.

Khi chọn FFU phòng, hãy kiểm tra điểm làm việc với bộ lọc, áp suất tĩnh bên ngoài, kích thước lắp đặt, phương pháp bịt kín và hướng bảo trì. Để có phán đoán cụ thể, vui lòng tham khảo Tại sao chúng ta nên xem xét đường cong hiệu suất hoàn chỉnh khi chọn FFU? Và Thể tích không khí danh nghĩa của FFU có được kiểm tra bằng bộ lọc không?。

Việc lựa chọn EFU phía thiết bị cũng yêu cầu xem xét bổ sung về không gian bên trong của thiết bị, tấm chắn cơ chế, giao diện đầu vào không khí và mối quan hệ khí thải. Có thể tham khảo Bộ lọc quạt cuối thiết bị EFU , kiểm tra các điều kiện áp dụng của các cấu trúc khác nhau.

Lựa chọn bộ lọc phải tương ứng với kích thước hạt mục tiêu và điện trở thực tế.Trang lọc HEPA và ULPA có các thông số dành cho các cấp độ sản phẩm khác nhau. Khi lựa chọn, hãy kiểm tra hiệu quả của mô hình cụ thể ở thể tích không khí mục tiêu. Nếu bạn vẫn chưa rõ về sự khác biệt giữa xếp hạng không gian và hiệu quả lọc, bạn có thể đọc Sự khác biệt giữa mức độ sạch và hiệu quả lọc là gì?。

Vị trí lắp đặt phải tránh xa vật cản và thuận tiện cho việc thay thế và bảo trì phần tử bộ lọc. Các kênh bảo trì không đầy đủ sẽ làm tăng chi phí tiếp theo. Điều này được phản ánh ở những chi phí sau này sẽ tăng lên do không có đủ kênh bảo trì . Có một phân tích chi phí cụ thể hơn về

Ví dụ về đánh giá dự án

Trong một dự án thiết bị bán dẫn, căn phòng sử dụng FFU để duy trì độ sạch nền và đường truyền wafer bên trong thiết bị sử dụng EFU để bảo vệ nó. Trong quá trình gỡ lỗi, người ta nhận thấy rằng sau khi khởi động xả thiết bị, tốc độ gió trong khu vực bảo vệ EFU đã giảm xuống. Cuộc điều tra cho thấy lượng khí thải lớn hơn lượng không khí bổ sung và áp suất âm trong khoang hút không khí nền qua khe cửa. Phương pháp điều chỉnh: Cân bằng lại khí thải và khí bổ sung, đồng thời tăng liên kết mở cửa thay vì thay bộ lọc EFU có hiệu suất cao hơn.

Một dự án khác đã lắp đặt FFU phía trên trạm làm việc mở, trong khi EFU được lắp đặt ở bên cạnh thiết bị. Trong quá trình vận hành, người ta nhận thấy luồng không khí bên của FFU đã cản trở ranh giới bảo vệ cục bộ của EFU. Phương pháp điều chỉnh: điều chỉnh hướng thoát khí FFU, thêm vách ngăn và đo lại tốc độ gió tại các vị trí quan trọng của máy trạm. Sau khi điều chỉnh, hai bộ luồng khí sẽ tiếp tục hoạt động đồng bộ.

Hai tình huống này minh họa rằng sự phân công lao động giữa EFU và FFU không chỉ liên quan đến các vị trí thiết bị khác nhau mà còn liên quan đến nguồn khí vào, mối quan hệ khí thải, liên kết điều khiển và phạm vi xác minh. Điều này phải được xác nhận cùng nhau trong giai đoạn thiết kế.

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận

Hỗ trợ hỗ trợ thiết bị công nghiệp Aili

Aili Industry bao gồm sản xuất động cơ, nghiên cứu, phát triển và sản xuất quạt độc lập, phát triển hệ thống điều khiển, gia công kim loại tấm, sản xuất bộ lọc không khí và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Đối với các dự án hợp tác EFU và FFU, EFU phía thiết bị, bộ lọc FFU, HEPA/ULPA trong phòng, hệ thống điều khiển nhóm, thể tích không khí, áp suất tĩnh và giao diện lắp đặt có thể được kiểm tra thống nhất để kết nối cấu hình thiết bị với ranh giới đánh giá tại chỗ và giảm sự mất kết nối giữa các thông số thành phần và điều kiện làm việc của toàn bộ máy.

học hỏi Bộ lọc quạt phía thiết bị EFU；Sản phẩm cung cấp không khí sạch FFU；Bộ lọc HEPA và ULPA；Hệ thống điều khiển nhóm FFU kiểm tra không gian lắp đặt, điều kiện vận hành và cấu hình cung cấp khí đã lọc.

→ Tìm hiểu các thông số sản phẩm liên quan → Xác nhận điều kiện khớp thiết bị