¿Cómo dividir el trabajo entre la EFU del lado del dispositivo y la FFU de la habitación?

En sistemas limpios, las FFU y EFU a menudo se analizan juntas, pero sus tareas son diferentes. La habitación FFU participa principalmente en el suministro de aire ambiental de fondo para mantener la limpieza del aire de la habitación o área; La EFU del lado del equipo protege principalmente el interior del equipo designado o áreas operativas locales y resuelve problemas de control de partículas en cavidades de equipos, estaciones de trabajo o rutas críticas.

Los dos se pueden utilizar de forma sinérgica, pero no pueden reemplazarse entre sí. Si la FFU de la habitación se utiliza como protección interna del equipo, o la EFU se utiliza como suministro de aire para toda la habitación, pueden surgir límites de protección poco claros, interferencias en el flujo de aire o disputas de aceptación. Empecemos por varios aspectos prácticos.

Primero aclare el límite de protección: nivel de habitación o nivel de equipo

El objeto de protección de la habitación FFU es una habitación o área, y el alcance de la evaluación generalmente se determina en función de los límites completos de la habitación, el tamaño de las partículas y el estado de ocupación. Los objetos de protección de la EFU del lado del equipo son el interior del equipo, la cavidad o las estaciones de trabajo locales. El alcance de la evaluación es menor, pero se ve más afectado por el bloqueo del mecanismo, las acciones de apertura de puertas y la conmutación del escape.

Si el objeto de protección es una estación de trabajo abierta o un punto de operación clave, puede consultar ¿Cuáles son los requisitos previos para purificar únicamente estaciones de trabajo clave? Primero confirme si los límites de los enlaces sensibles y la transferencia hacia adelante y hacia atrás son controlables. Si se trata de una cavidad de equipo cerrada, es necesario planificarla por separado de acuerdo con la ruta del flujo de aire dentro de la cavidad. Para métodos específicos, consulte ¿Cómo planificar el suministro de aire limpio para las cavidades cerradas de los equipos?。

Los límites poco claros pueden llevar a una selección de equipos desalineada. Por ejemplo, la sala requiere ISO 7, pero un determinado punto de exposición de las obleas dentro del equipo requiere una protección mayor. En este caso, no puede confiar únicamente en la FFU de la habitación, ni puede aplicar directamente el nivel de la habitación al interior del equipo.

La relación entre la fuente de entrada de aire y el aire de salida es diferente.

La FFU de habitación generalmente toma aire desde arriba del techo, lo filtra y lo envía a la habitación y luego lo hace circular a través del aire de retorno o la ruta de escape. Su fuente de aire de admisión, la resistencia del aire de retorno y el diferencial de presión ambiente son parte del diseño del sistema.

La fuente de entrada de aire de la EFU del lado del equipo es más compleja. Puede tomar aire de la habitación donde se encuentra el equipo, o puede tomar aire de la circulación interna del equipo, o puede estar conectado a un conducto de aire independiente. Dependiendo de la fuente de entrada de aire, la vida útil del filtro de la EFU, el riesgo de contaminación y la resistencia del sistema variarán.

Si la EFU toma aire de la habitación y la habitación misma tiene fluctuaciones de partículas, la carga de entrada de la EFU aumentará; Si la EFU toma aire del interior del equipo, el polvo interno puede ingresar directamente a la entrada de la EFU. Por lo tanto, la ubicación de la entrada de aire y la ruta de contaminación de la EFU deben estar claramente definidas y no se puede asumir que el aire dentro del equipo sea adecuado para la circulación.

La relación de escape también es crítica. Es necesario que haya un equilibrio entre el escape del equipo, el escape del proceso y el suministro de aire de la EFU. Si el volumen de aire de escape es mayor que el volumen de aire suplementario, la cavidad puede formar una presión negativa y aspirar aire de fondo a través de los espacios; Si el volumen de suministro de aire de la EFU es demasiado grande, puede interferir con el efecto de recolección del aire de escape. Para diferencias de presión específicas y rutas de flujo de aire, consulte ¿Cómo planificar el suministro de aire limpio para las cavidades cerradas de los equipos?。

Evite que dos conjuntos de flujos de aire interfieran entre sí

Cuando la sala FFU y EFU están funcionando al mismo tiempo, los dos conjuntos de flujos de aire pueden interactuar entre sí en las aberturas del equipo, los espacios de las puertas o los canales de mantenimiento. Las preguntas frecuentes incluyen:

• La entrada de EFU se ve afectada por el suministro de aire de la habitación, lo que produce cambios en el volumen o la dirección del aire de entrada;

• El aire de escape del equipo aleja el flujo de aire protector de la EFU, lo que provoca una velocidad del viento insuficiente en áreas clave;

• El flujo de aire lateral de la habitación FFU interfiere con el límite protector local de la EFU;

• Cuando se apaga el equipo o se abre la puerta, el aire de fondo ingresa al interior del equipo a través de las aberturas.

El estado operativo de la sala y del equipo debe comprobarse al mismo tiempo durante la verificación. Si solo mide la velocidad del viento en la superficie de salida de EFU, no puede determinar si la protección interna del equipo es efectiva; Si solo se miden las partículas en la habitación, no se puede saber si las ubicaciones clave dentro del equipo cumplen con los estándares.

Los puntos de muestreo deben disponerse para cubrir lugares sensibles dentro del equipo, en lugar de simplemente debajo de la salida de suministro de aire. Los métodos relacionados se pueden encontrar en ¿Por qué no se puede ubicar el punto de muestreo justo debajo de la salida del suministro de aire?。

Vinculación de control: configuraciones separadas o gestión unificada

Las FFU y EFU de sala normalmente requieren una lógica de control diferente. La habitación FFU puede funcionar en diferentes zonas según los modos de servicio, trabajo y ahorro de energía; Es posible que sea necesario vincular la EFU al arranque y parada del equipo, la apertura de puertas y la conmutación de escape.

Si es necesario gestionar los dos sistemas de manera uniforme, se pueden combinar El sistema de control de grupo FFU configura estrategias de operación según regiones y períodos horarios. Sin embargo, la lógica de vinculación debe ser clara: quién arranca y se detiene primero, si la EFU disminuye la velocidad o emite una alarma cuando se abre la puerta, cómo responde la EFU cuando se cambia el aire de escape y cómo recuperarse después del mantenimiento.

Las direcciones de control y las reglas de partición deben unificarse en la etapa inicial para evitar que diferentes lotes de equipos no puedan acceder al mismo sistema más adelante. Esto es especialmente importante cuando se realiza una expansión modular; consulte ¿Cuáles son las condiciones de expansión para el uso de módulos independientes en sistemas limpios?。

Selección de equipo: los parámetros FFU y EFU no se pueden mezclar.

Al seleccionar la habitación FFU, verifique el punto de trabajo con el filtro, la presión estática externa, las dimensiones de instalación, el método de sellado y la dirección de mantenimiento. Para un juicio específico, consulte ¿Por qué deberíamos observar la curva de rendimiento completa al seleccionar FFU? y ¿Se prueba el volumen de aire nominal de FFU con un filtro?。

La selección de la EFU del lado del equipo también requiere una consideración adicional del espacio interno del equipo, el blindaje del mecanismo, la interfaz de entrada de aire y la relación de escape. puede ser referenciado Unidad de filtro de ventilador final del equipo EFU , verifique las condiciones aplicables de diferentes estructuras.

La selección del filtro debe corresponder al tamaño de partícula objetivo y a la resistencia real.Las páginas de filtros HEPA y ULPA tienen parámetros para diferentes niveles de productos. Al seleccionar, verifique la eficiencia del modelo específico en el volumen de aire objetivo. Si aún no tienes clara la diferencia entre clasificación de espacio y eficiencia del filtro, puedes leer ¿Cuál es la diferencia entre nivel de limpieza y eficiencia de filtración?。

La ubicación de instalación debe estar alejada de obstrucciones y debe ser conveniente para el reemplazo y mantenimiento del elemento filtrante. Los canales de mantenimiento insuficientes aumentarán los gastos posteriores. Esto se refleja en cuanto a que posteriormente se incrementarán los gastos por insuficientes canales de mantenimiento . Se hace un análisis de costos más específico en

Ejemplo de juicio de proyecto

En un proyecto de equipos semiconductores, la sala utiliza FFU para mantener la limpieza del fondo y la ruta de transmisión de la oblea dentro del equipo utiliza EFU para protegerla. Durante la depuración, se descubrió que después de que se inició el escape del equipo, la velocidad del viento en el área de protección de EFU disminuyó. La investigación encontró que el volumen de aire de escape era mayor que el volumen de aire suplementario y la presión negativa en la cavidad succionaba aire ambiente a través de la rendija de la puerta. Método de ajuste: reequilibre el aire de escape y el aire suplementario y aumente la conexión de apertura de la puerta en lugar de reemplazar el filtro EFU con una mayor eficiencia.

Otro proyecto instaló la FFU encima de la estación de trabajo abierta, mientras que la EFU se instaló en el costado del equipo. Durante la operación, se encontró que el flujo de aire lateral de la FFU interfería con el límite protector local de la EFU. Método de ajuste: ajuste la dirección de salida de aire FFU, agregue deflectores y vuelva a medir la velocidad del viento en posiciones clave de la estación de trabajo. Después del ajuste, los dos conjuntos de flujos de aire reanudan la sinergia.

Estas dos situaciones ilustran que la división del trabajo entre EFU y FFU no solo involucra diferentes ubicaciones de equipos, sino que también involucra la fuente de entrada de aire, la relación de escape, el vínculo de control y el alcance de la verificación. Esto debe confirmarse juntos durante la fase de diseño.

Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.

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→ Comprender los parámetros relevantes del producto → Confirmar las condiciones de soporte del equipo