Wie teilt man die Arbeit zwischen geräteseitiger EFU und Raum-FFU auf?

In sauberen Systemen werden FFU und EFU oft gemeinsam diskutiert, ihre Aufgaben sind jedoch unterschiedlich. Die Raum-FFU beteiligt sich hauptsächlich an der Luftversorgung der Hintergrundumgebung, um die Luftreinheit des Raums oder Bereichs aufrechtzuerhalten; Die geräteseitige EFU schützt hauptsächlich das Innere der vorgesehenen Geräte oder lokalen Betriebsbereiche und löst Partikelkontrollprobleme in Gerätehohlräumen, Arbeitsplätzen oder kritischen Pfaden.

Beide können synergetisch eingesetzt werden, können sich jedoch nicht gegenseitig ersetzen. Wenn die Raum-FFU als interner Schutz der Ausrüstung verwendet wird oder die EFU als Luftversorgung für den gesamten Raum verwendet wird, kann es zu unklaren Schutzgrenzen, Störungen des Luftstroms oder Akzeptanzstreitigkeiten kommen. Beginnen wir mit einigen praktischen Aspekten.

Klären Sie zunächst die Schutzgrenze: Raumebene oder Geräteebene

Das Schutzobjekt der Raum-FFU ist ein Raum oder Bereich, und der Bewertungsumfang wird in der Regel anhand der gesamten Raumgrenze, der Partikelgröße und des Belegungsstatus bestimmt. Die Schutzobjekte der geräteseitigen EFU sind das Geräteinnere, der Hohlraum oder lokale Arbeitsplätze. Der Auswertungsbereich ist kleiner, wird jedoch stärker von Mechanismusblockierungen, Türöffnungsaktionen und Abgasumschaltungen beeinflusst.

Handelt es sich bei dem Schutzobjekt um einen offenen Arbeitsplatz oder eine Schlüsselbetriebsstelle, können Sie darauf verweisen Was sind die Voraussetzungen, um nur wichtige Arbeitsplätze zu reinigen? Überprüfen Sie zunächst, ob die Grenzen sensibler Links sowie die Vorwärts- und Rückwärtsübertragung kontrollierbar sind. Wenn es sich um einen geschlossenen Gerätehohlraum handelt, muss dieser entsprechend dem Luftströmungsweg innerhalb des Hohlraums separat geplant werden. Spezifische Methoden finden Sie unter Wie plant man die Reinluftversorgung für geschlossene Geräteräume?。

Unklare Grenzen können zu einer falschen Auswahl der Ausrüstung führen. Beispielsweise erfordert der Raum ISO 7, aber ein bestimmter Wafer-Expositionspunkt innerhalb der Ausrüstung erfordert einen höheren Schutz. In diesem Fall können Sie sich weder ausschließlich auf die Raum-FFU verlassen, noch können Sie den Raumpegel direkt auf das Innere des Geräts anwenden.

Das Verhältnis zwischen der Luftansaugquelle und der Abluft ist unterschiedlich

Raum-FFU saugt normalerweise Luft über der Decke an, filtert sie, leitet sie in den Raum und zirkuliert sie dann über den Rückluft- oder Abluftweg. Seine Ansaugluftquelle, der Rückluftwiderstand und die Raumdruckdifferenz sind Teil des Systemdesigns.

Die Luftansaugquelle der geräteseitigen EFU ist komplexer. Es kann Luft aus dem Raum ansaugen, in dem sich das Gerät befindet, oder es kann Luft aus der internen Zirkulation des Geräts ansaugen oder es kann an einen unabhängigen Luftkanal angeschlossen sein. Abhängig von der Lufteinlassquelle variieren die Filterlebensdauer, das Kontaminationsrisiko und der Systemwiderstand des EFU.

Wenn die EFU Luft aus dem Raum ansaugt und der Raum selbst Partikelschwankungen aufweist, erhöht sich die Einlasslast der EFU; Wenn die EFU Luft aus dem Inneren des Geräts ansaugt, kann der interne Staub direkt in den EFU-Einlass gelangen. Daher müssen der Ort des Lufteinlasses und der Verschmutzungspfad der EFU klar definiert sein, und es kann nicht davon ausgegangen werden, dass die Luft im Inneren des Geräts für die Zirkulation geeignet ist.

Auch das Abgasverhältnis ist entscheidend. Es muss ein Gleichgewicht zwischen Geräteabgasen, Prozessabgasen und EFU-Luftzufuhr bestehen. Wenn das Abluftvolumen größer ist als das Zusatzluftvolumen, kann im Hohlraum ein Unterdruck entstehen und Hintergrundluft durch die Lücken angesaugt werden; Wenn das EFU-Luftzufuhrvolumen zu groß ist, kann dies den Abluftsammeleffekt beeinträchtigen. Spezifische Druckunterschiede und Luftströmungswege finden Sie unter Wie plant man die Reinluftversorgung für geschlossene Geräteräume?。

Vermeiden Sie, dass sich zwei Luftströme gegenseitig stören

Wenn Raum-FFU und EFU gleichzeitig laufen, können die beiden Luftströme an Geräteöffnungen, Türspalten oder Wartungskanälen miteinander interagieren. Zu den häufig gestellten Fragen gehören:

• Der EFU-Eingang wird durch die Raumluftzufuhr beeinflusst, was zu Änderungen der Einlassluftmenge oder -richtung führt;

• Die Abluft des Geräts zieht den EFU-Schutzluftstrom ab, was zu einer unzureichenden Windgeschwindigkeit in wichtigen Bereichen führt;

• Der seitliche Luftstrom der Raum-FFU stört die lokale Schutzgrenze der EFU;

• Wenn das Gerät heruntergefahren oder die Tür geöffnet wird, gelangt Hintergrundluft durch die Öffnungen in das Innere des Geräts.

Bei der Überprüfung sollte gleichzeitig der Betriebszustand des Raumes und der Ausrüstung überprüft werden. Wenn Sie die Windgeschwindigkeit nur an der EFU-Auslassoberfläche messen, können Sie nicht sagen, ob der interne Schutz der Ausrüstung wirksam ist. Wenn Sie nur die Partikel im Raum messen, können Sie nicht sagen, ob die wichtigsten Stellen im Gerät den Standards entsprechen.

Die Probenahmestellen sollten so angeordnet werden, dass sie sensible Stellen innerhalb des Geräts abdecken und nicht direkt unter dem Luftzufuhrauslass. Verwandte Methoden finden Sie in Warum kann die Probenahmestelle nicht direkt unterhalb des Luftzufuhrauslasses liegen?。

Steuerungsverknüpfung: separate Einstellungen oder einheitliche Verwaltung

Raum-FFU und EFU erfordern normalerweise unterschiedliche Steuerlogiken. Die Raum-FFU kann je nach Dienst-, Arbeits- und Energiesparmodus in verschiedenen Zonen betrieben werden; Die EFU muss möglicherweise mit dem Starten und Stoppen der Ausrüstung, dem Öffnen der Tür und dem Umschalten der Abgase verknüpft werden.

Wenn beide Systeme einheitlich verwaltet werden müssen, können sie kombiniert werden Das FFU-Gruppensteuerungssystem konfiguriert Betriebsstrategien nach Regionen und Zeiträumen. Die Verknüpfungslogik muss jedoch klar sein: Wer startet und stoppt zuerst, ob die EFU beim Öffnen der Tür langsamer wird oder einen Alarm auslöst, wie die EFU reagiert, wenn die Abluft umgeschaltet wird, und wie sie sich nach einer Wartung erholt.

Steueradressen und Partitionsregeln sollten in der frühen Phase vereinheitlicht werden, um zu verhindern, dass verschiedene Gerätegruppen später nicht mehr auf dasselbe System zugreifen können. Dies ist insbesondere bei modularer Erweiterung wichtig, siehe bitte Was sind die Ausbaubedingungen für den Einsatz unabhängiger Module in sauberen Systemen?。

Geräteauswahl: FFU- und EFU-Parameter können nicht gemischt werden.

Überprüfen Sie bei der Auswahl der Raum-FFU den Arbeitspunkt mit Filter, externen statischen Druck, Installationsabmessungen, Dichtungsmethode und Wartungsrichtung. Eine konkrete Beurteilung finden Sie unter Warum sollten wir bei der Auswahl von FFU die gesamte Leistungskurve betrachten? Und Wird die Nennluftmenge der FFU mit einem Filter geprüft?。

Die geräteseitige EFU-Auswahl erfordert außerdem eine zusätzliche Berücksichtigung des Innenraums des Geräts, der Mechanismusabschirmung, der Lufteinlassschnittstelle und der Abluftbeziehung. Kann referenziert werden EFU-Geräte-Endventilator-Filtereinheit , prüfen Sie die geltenden Bedingungen verschiedener Strukturen.

Die Filterauswahl sollte der Zielpartikelgröße und dem tatsächlichen Widerstand entsprechen.Die HEPA- und ULPA-Filterseiten verfügen über Parameter für verschiedene Produktstufen. Überprüfen Sie bei der Auswahl die Effizienz des jeweiligen Modells bei der Zielluftmenge. Wenn Sie sich über den Unterschied zwischen Platzbedarf und Filtereffizienz noch nicht im Klaren sind, können Sie hier nachlesen Was ist der Unterschied zwischen Reinheitsgrad und Filtrationseffizienz?。

Der Installationsort sollte frei von Hindernissen sein und für den Austausch und die Wartung des Filterelements geeignet sein. Unzureichende Wartungskanäle erhöhen die Folgekosten. Dies spiegelt sich in wider welche späteren Kosten aufgrund unzureichender Wartungskanäle steigen . Es erfolgt eine genauere Kostenanalyse,

Beispiel für eine Projektbeurteilung

Bei einem Halbleiterausrüstungsprojekt verwendet der Raum FFU, um den Hintergrund sauber zu halten, und der Wafer-Übertragungspfad innerhalb der Ausrüstung verwendet EFU, um ihn zu schützen. Bei der Fehlerbehebung wurde festgestellt, dass die Windgeschwindigkeit im EFU-Schutzbereich nach Beginn der Geräteabgasung abnahm. Die Untersuchung ergab, dass die Abluftmenge größer als die Zusatzluftmenge war und der Unterdruck im Hohlraum Hintergrundluft durch den Türspalt ansaugte. Anpassungsmethode: Abluft und Zusatzluft neu ausbalancieren und Türöffnungsgestänge erhöhen, anstatt den EFU-Filter durch einen höheren Wirkungsgrad zu ersetzen.

Bei einem anderen Projekt wurde die FFU über dem offenen Arbeitsplatz installiert, während die EFU seitlich am Gerät installiert wurde. Während des Betriebs wurde festgestellt, dass der seitliche Luftstrom der FFU die lokale Schutzgrenze der EFU störte. Anpassungsmethode: Passen Sie die FFU-Luftauslassrichtung an, fügen Sie Leitbleche hinzu und messen Sie die Windgeschwindigkeit an wichtigen Positionen des Arbeitsplatzes erneut. Nach der Einstellung bilden die beiden Luftstromsätze wieder eine Synergie.

Diese beiden Situationen verdeutlichen, dass die Arbeitsteilung zwischen EFU und FFU nicht nur unterschiedliche Gerätestandorte betrifft, sondern auch die Lufteinlassquelle, die Abgasbeziehung, die Steuerungsverbindung und den Überprüfungsumfang. Dies muss in der Entwurfsphase gemeinsam bestätigt werden.

Wichtige Punkte für die Auswahl- und Abnahmeprüfung

Aili Industrieausrüstung unterstützt

Aili Industry umfasst die Motorenherstellung, die unabhängige Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von Ventilatoren, die Entwicklung von Steuerungssystemen, die Blechverarbeitung, die Luftfilterherstellung und die komplette Maschinenmontage. Bei EFU- und FFU-Verbundprojekten können geräteseitige EFU, Raum-FFU, HEPA/ULPA-Filter, Gruppensteuerungssysteme, Luftvolumen, statischer Druck und Installationsschnittstellen einheitlich überprüft werden, um die Gerätekonfiguration mit den Bewertungsgrenzen vor Ort zu verbinden und die Trennung zwischen Komponentenparametern und den Arbeitsbedingungen der gesamten Maschine zu reduzieren.

lernen EFU-Geräteseitenventilator-Filtereinheit；FFU-Produkte für saubere Luftversorgung；HEPA- und ULPA-Filter；Das FFU-Gruppensteuerungssystem überprüft den Installationsraum, die Betriebsbedingungen und die Konfiguration der gefilterten Luftzufuhr.

→ Verstehen Sie relevante Produktparameter. → Bestätigen Sie die Bedingungen für die Geräteanpassung