Как разделить работу между EFU на стороне устройства и FFU помещения?

В чистых системах FFU и EFU часто обсуждаются вместе, но их задачи разные. Комнатный ФФУ в основном участвует в подаче воздуха фоновой среды для поддержания чистоты воздуха помещения или территории; EFU со стороны оборудования в основном защищает внутреннюю часть назначенного оборудования или локальных рабочих зон и решает проблемы контроля частиц в полостях оборудования, рабочих станциях или критических путях.

Они могут использоваться синергетически, но не могут заменять друг друга. Если FFU помещения используется в качестве внутренней защиты оборудования или EFU используется в качестве подачи воздуха для всего помещения, могут возникнуть нечеткие границы защиты, помехи потоку воздуха или споры о приемке. Начнем с нескольких практических аспектов.

Сначала уточните границу защиты: уровень помещения или уровень оборудования.

Объектом защиты FFU помещения является помещение или зона, а область оценки обычно определяется на основе всей границы помещения, размера частиц и статуса занятости. Объектами защиты ЭФУ со стороны оборудования являются внутренние части оборудования, полости или локальные рабочие места. Объем оценки меньше, но на него больше влияют блокировка механизмов, действия по открыванию дверей и переключению вытяжки.

Если объектом защиты является открытая рабочая станция или ключевая рабочая точка, можно обратиться к Каковы предпосылки для очистки только ключевых рабочих станций? Сначала убедитесь, что границы чувствительных ссылок, а также прямая и обратная передача контролируемы. Если это закрытая полость оборудования, ее необходимо планировать отдельно в зависимости от пути потока воздуха внутри полости. Конкретные методы см. Как спланировать подачу чистого воздуха в закрытые полости оборудования?。

Нечеткие границы могут привести к неправильному выбору оборудования. Например, для помещения требуется ISO 7, но определенная точка воздействия пластины внутри оборудования требует более высокой защиты. В этом случае нельзя полагаться исключительно на FFU помещения или напрямую применять уровень помещения к внутренней части оборудования.

Взаимосвязь между источником всасываемого воздуха и вытяжным воздухом различна.

Комнатный ФФУ обычно забирает воздух над потолком, фильтрует его и направляет в помещение, а затем циркулирует по возвратному воздуху или вытяжному тракту. Источник всасываемого воздуха, сопротивление возвратного воздуха и перепад давления в помещении являются частью конструкции системы.

Источник воздухозабора ЭФУ со стороны оборудования более сложен. Он может забирать воздух из помещения, где расположено оборудование, или из внутренней циркуляции оборудования, или может быть подключен к независимому воздуховоду. В зависимости от источника забора воздуха срок службы фильтра EFU, риск загрязнения и сопротивление системы будут различаться.

Если ЭФУ забирает воздух из помещения, а в самом помещении наблюдаются колебания частиц, нагрузка на входе ЭФУ увеличится; если EFU забирает воздух изнутри оборудования, внутренняя пыль может напрямую попасть во входное отверстие EFU. Поэтому расположение воздухозаборника и путь загрязнения ЭФУ должны быть четко определены, а воздух внутри оборудования нельзя считать пригодным для циркуляции.

Отношения выхлопа также имеют решающее значение. Должен быть баланс между выхлопами оборудования, технологическими выхлопами и подачей воздуха EFU. Если объем вытяжного воздуха превышает объем дополнительного воздуха, в полости может образоваться отрицательное давление и засасываться фоновый воздух через зазоры; если объем подачи воздуха EFU слишком велик, это может помешать эффекту сбора отработанного воздуха. Информацию о конкретных перепадах давления и путях воздушного потока см. Как спланировать подачу чистого воздуха в закрытые полости оборудования?。

Избегайте двух потоков воздуха, мешающих друг другу.

Когда комнатные FFU и EFU работают одновременно, два набора воздушных потоков могут взаимодействовать друг с другом в отверстиях оборудования, дверных проемах или каналах обслуживания. Часто задаваемые вопросы включают в себя:

• На вход EFU влияет подача воздуха в помещении, что приводит к изменению объема или направления входящего воздуха;

• Вытяжной воздух оборудования отводит защитный воздушный поток ЭФУ, вызывая недостаточную скорость ветра в ключевых зонах;

• Боковой поток воздуха помещения ФФУ нарушает локальную защитную границу ЭФУ;

• Когда оборудование выключено или открыта дверь, фоновый воздух попадает внутрь оборудования через отверстия.

Одновременно во время проверки должно быть проверено рабочее состояние помещения и оборудования. Если вы измеряете скорость ветра только на выходной поверхности EFU, невозможно определить, эффективна ли внутренняя защита оборудования; Если вы измеряете только частицы в помещении, вы не сможете определить, соответствуют ли ключевые места внутри оборудования стандартам.

Точки отбора проб должны быть расположены так, чтобы охватывать чувствительные места внутри оборудования, а не только под выпускным отверстием для подачи воздуха. Сопутствующие методы можно найти в Почему нельзя расположить точку отбора проб прямо под отверстием подачи воздуха?。

Связь управления: отдельные настройки или единое управление

Комнатные FFU и EFU обычно требуют разной логики управления. Комнатный ФФУ может работать в различных зонах по дежурному, рабочему и энергосберегающему режимам; EFU может потребоваться связать с запуском и остановкой оборудования, открытием двери и переключением выхлопа.

Если необходимо единообразно управлять двумя системами, их можно объединить. Система группового управления ФФУ настраивает стратегии работы в зависимости от регионов и периодов времени. Однако логика связи должна быть ясна: кто запускается и останавливается первым, замедляет ли EFU или подает сигнал тревоги при открытии двери, как EFU реагирует на переключение вытяжного воздуха и как восстанавливаться после технического обслуживания.

Управляющие адреса и правила разделения должны быть унифицированы на раннем этапе, чтобы избежать невозможности доступа различных партий оборудования к одной и той же системе в дальнейшем. Это особенно важно при модульном расширении, см. Каковы условия расширения использования независимых модулей в чистых системах?。

Выбор оборудования: параметры FFU и EFU нельзя смешивать.

При выборе комнатного FFU проверьте рабочую точку с фильтром, внешнее статическое давление, установочные размеры, метод уплотнения и направление технического обслуживания. Для получения конкретного решения, пожалуйста, обратитесь к Почему при выборе FFU нам следует смотреть на полную кривую производительности? и Проверяется ли номинальный объем воздуха FFU с фильтром?。

Выбор EFU со стороны оборудования также требует дополнительного рассмотрения внутреннего пространства оборудования, защиты механизма, интерфейса воздухозаборника и соотношения выхлопных газов. Можно ссылаться Блок фильтра концевого вентилятора оборудования EFU , проверьте применимые условия различных конструкций.

Выбор фильтра должен соответствовать целевому размеру частиц и фактическому сопротивлению.Страницы фильтров HEPA и ULPA содержат параметры для продуктов разного уровня. При выборе проверьте эффективность конкретной модели при заданном объеме воздуха. Если вам все еще неясна разница между номинальным пространством и эффективностью фильтра, вы можете прочитать В чем разница между уровнем чистоты и эффективностью фильтрации?。

Место установки должно находиться вдали от препятствий и быть удобным для замены и обслуживания фильтрующего элемента. Недостаточные каналы обслуживания приведут к увеличению последующих расходов. Это отражено в то, что в дальнейшем расходы будут увеличены из-за недостаточности каналов обслуживания . Существует более конкретный анализ затрат на

Пример оценки проекта

В проекте полупроводникового оборудования в помещении используется FFU для поддержания чистоты фона, а на пути передачи пластин внутри оборудования используется EFU для его защиты. В ходе отладки было установлено, что после запуска вытяжки оборудования скорость ветра в зоне защиты ЭФУ снизилась. В ходе расследования выяснилось, что объем вытяжного воздуха превышал объем дополнительного воздуха, а отрицательное давление в полости засасывало фоновый воздух через дверную щель. Метод регулировки: сбалансируйте вытяжной и дополнительный воздух и увеличьте рычажное открытие двери вместо замены фильтра EFU с более высокой эффективностью.

В другом проекте ФФУ был установлен над открытой рабочей станцией, а ЭФУ был установлен сбоку от оборудования. В ходе эксплуатации установлено, что боковой поток воздуха ФФУ нарушает локальную защитную границу ЭФУ. Метод регулировки: отрегулируйте направление выхода воздуха FFU, добавьте перегородки и повторно измерьте скорость ветра в ключевых точках рабочей станции. После регулировки два набора воздушных потоков возобновляют синергию.

Эти две ситуации иллюстрируют, что разделение труда между EFU и FFU не только включает в себя различное расположение оборудования, но также включает в себя источник притока воздуха, соотношение выхлопных газов, связи управления и объем проверки. Это должно быть подтверждено совместно на этапе проектирования.

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

Поддержка промышленного оборудования Aili

Aili Industry занимается производством двигателей, независимыми исследованиями, разработками и производством вентиляторов, разработкой систем управления, обработкой листового металла, производством воздушных фильтров и полной сборкой машин. В совместных проектах EFU и FFU можно единообразно проверять EFU на стороне оборудования, FFU в помещении, фильтры HEPA/ULPA, групповые системы управления, объем воздуха, статическое давление и интерфейсы установки, чтобы связать конфигурацию оборудования с границами оценки на месте и уменьшить разрыв между параметрами компонентов и условиями работы всей машины.

учиться Блок фильтра вентилятора со стороны оборудования EFU；Продукты FFU для обеспечения чистого воздуха；HEPA и ULPA фильтры；Система группового контроля ФФУ проверяет место установки, условия эксплуатации и конфигурацию подачи фильтрованного воздуха.

→ Понять соответствующие параметры продукта → Подтвердить условия соответствия оборудования