Comment répartir le travail entre l’EFU côté appareil et le FFU de la salle ?

Dans les systèmes propres, FFU et EFU sont souvent abordés ensemble, mais leurs tâches sont différentes. Le FFU de la pièce participe principalement à l'apport d'air de l'environnement de fond pour maintenir la propreté de l'air de la pièce ou de la zone ; l'EFU côté équipement protège principalement l'intérieur de l'équipement désigné ou des zones d'exploitation locales et résout les problèmes de contrôle des particules dans les cavités des équipements, les postes de travail ou les chemins critiques.

Les deux peuvent être utilisés ensemble, mais ne peuvent pas se remplacer. Si le FFU de la pièce est utilisé comme protection interne de l'équipement, ou si l'EFU est utilisé comme alimentation en air pour l'ensemble de la pièce, des limites de protection peu claires, des interférences du flux d'air ou des litiges d'acceptation peuvent survenir. Commençons par plusieurs aspects pratiques.

Clarifiez d’abord la limite de protection : niveau de la pièce ou niveau de l’équipement

L'objet de protection de la pièce FFU est une pièce ou une zone, et la portée de l'évaluation est généralement déterminée en fonction de l'ensemble des limites de la pièce, de la taille des particules et de l'état d'occupation. Les objets de protection de l'EFU côté équipement sont l'intérieur de l'équipement, la cavité ou les postes de travail locaux. La portée de l'évaluation est plus petite, mais elle est davantage affectée par le blocage du mécanisme, les actions d'ouverture de porte et la commutation des gaz d'échappement.

Si l'objet de protection est un poste de travail ouvert ou un point de fonctionnement clé, vous pouvez vous référer à Quels sont les prérequis pour purifier uniquement les postes clés ? , confirmez d'abord si les limites des liens sensibles et le transfert aller et retour sont contrôlables. S'il s'agit d'une cavité d'équipement fermée, elle doit être planifiée séparément en fonction du cheminement de l'air à l'intérieur de la cavité. Pour des méthodes spécifiques, veuillez vous référer à Comment planifier l’alimentation en air pur des cavités fermées des équipements ?。

Des limites floues peuvent conduire à une sélection d’équipement mal alignée. Par exemple, la salle nécessite une norme ISO 7, mais un certain point d'exposition des plaquettes à l'intérieur de l'équipement nécessite une protection plus élevée. Dans ce cas, vous ne pouvez pas vous fier uniquement au FFU de la pièce, ni appliquer directement le niveau de la pièce à l’intérieur de l’équipement.

La relation entre la source d'admission d'air et l'air évacué est différente

Le FFU de pièce prélève généralement l'air au-dessus du plafond, le filtre et l'envoie dans la pièce, puis le fait circuler par le chemin de retour d'air ou d'évacuation. Sa source d'air d'admission, sa résistance à l'air de reprise et sa différence de pression ambiante font partie de la conception du système.

La source d’admission d’air de l’EFU côté équipement est plus complexe. Il peut prélever l'air de la pièce où se trouve l'équipement, ou il peut prélever l'air de la circulation interne de l'équipement, ou encore il peut être raccordé à un conduit d'air indépendant. En fonction de la source d'admission d'air, la durée de vie du filtre de l'EFU, le risque de contamination et la résistance du système varient.

Si l'EFU prélève de l'air dans la pièce et que la pièce elle-même présente des fluctuations de particules, la charge d'entrée de l'EFU augmentera ; si l'EFU prélève de l'air à l'intérieur de l'équipement, la poussière interne peut pénétrer directement dans l'entrée de l'EFU. Par conséquent, l’emplacement de l’entrée d’air et le chemin de pollution de l’EFU doivent être clairement définis, et l’air à l’intérieur de l’équipement ne peut pas être considéré comme adapté à la circulation.

La relation d'échappement est également critique. Il doit y avoir un équilibre entre les gaz d'échappement des équipements, les gaz d'échappement des procédés et l'alimentation en air de l'EFU. Si le volume d'air évacué est supérieur au volume d'air supplémentaire, la cavité peut former une pression négative et aspirer l'air de fond à travers les interstices ; si le volume d'alimentation en air de l'EFU est trop important, cela peut interférer avec l'effet de collecte de l'air évacué. Pour les différences de pression et les chemins de flux d'air spécifiques, veuillez vous référer à Comment planifier l’alimentation en air pur des cavités fermées des équipements ?。

Évitez que deux ensembles de flux d'air n'interfèrent l'un avec l'autre

Lorsque les salles FFU et EFU fonctionnent en même temps, les deux ensembles de flux d'air peuvent interagir l'un avec l'autre au niveau des ouvertures des équipements, des interstices des portes ou des canaux de maintenance. Les questions fréquemment posées incluent :

• L'entrée de l'EFU est affectée par l'alimentation en air ambiant, ce qui entraîne des changements dans le volume ou la direction de l'air d'entrée ;

• L'air évacué de l'équipement éloigne le flux d'air protecteur de l'EFU, provoquant une vitesse de vent insuffisante dans les zones clés ;

• Le flux d'air latéral du local FFU interfère avec la limite de protection locale de l'EFU ;

• Lorsque l'équipement est éteint ou que la porte est ouverte, l'air de fond pénètre à l'intérieur de l'équipement par les ouvertures.

La vérification doit également vérifier l'état de fonctionnement de la salle et de l'équipement. Si vous mesurez uniquement la vitesse du vent sur la surface de sortie de l'EFU, vous ne pouvez pas déterminer si la protection interne de l'équipement est efficace ; si vous mesurez uniquement les particules présentes dans la pièce, il ne peut pas déterminer si les emplacements clés à l'intérieur de l'équipement répondent aux normes.

Les points d'échantillonnage doivent être disposés de manière à couvrir les endroits sensibles à l'intérieur de l'équipement, plutôt que juste sous la sortie d'alimentation en air. Des méthodes connexes peuvent être trouvées dans Pourquoi le point de prélèvement ne peut-il pas être situé juste en dessous de la sortie d’alimentation en air ?。

Liaison de contrôle : paramètres séparés ou gestion unifiée

Les salles FFU et EFU nécessitent généralement une logique de contrôle différente. Le FFU de salle peut fonctionner dans différentes zones selon les modes de service, de travail et d'économie d'énergie ; l'EFU devra peut-être être lié au démarrage et à l'arrêt de l'équipement, à l'ouverture des portes et à la commutation des gaz d'échappement.

Si les deux systèmes doivent être gérés de manière uniforme, ils peuvent être combinés Le système de contrôle de groupe FFU configure les stratégies de fonctionnement en fonction des régions et des périodes horaires. Cependant, la logique de liaison doit être claire : qui démarre et s'arrête en premier, si l'EFU ralentit ou déclenche une alarme lorsque la porte est ouverte, comment l'EFU réagit lorsque l'air évacué est commuté et comment récupérer après la maintenance.

Les adresses de contrôle et les règles de partition doivent être unifiées dès le début pour éviter que différents lots d'équipements ne puissent accéder ultérieurement au même système. Ceci est particulièrement important en cas d'extension modulaire, veuillez vous référer à Quelles sont les conditions d’extension pour l’utilisation de modules indépendants dans des systèmes propres ?。

Sélection de l'équipement : les paramètres FFU et EFU ne peuvent pas être mélangés.

Lors de la sélection de la salle FFU, vérifiez le point de travail avec le filtre, la pression statique externe, les dimensions d'installation, la méthode d'étanchéité et le sens de maintenance. Pour un jugement spécifique, veuillez vous référer à Pourquoi devrions-nous examiner la courbe de performance complète lors de la sélection de FFU ? et Le volume d'air nominal du FFU est-il testé avec un filtre ?。

La sélection de l'EFU côté équipement nécessite également une prise en compte supplémentaire de l'espace interne de l'équipement, du blindage du mécanisme, de l'interface d'entrée d'air et de la relation d'échappement. Peut être référencé Unité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU , vérifiez les conditions applicables des différentes structures.

La sélection du filtre doit correspondre à la taille des particules cible et à la résistance réelle.Les pages de filtres HEPA et ULPA comportent des paramètres pour différents niveaux de produits. Lors de la sélection, vérifiez l’efficacité du modèle spécifique au volume d’air cible. Si vous ne comprenez toujours pas la différence entre l'espace disponible et l'efficacité du filtre, vous pouvez lire Quelle est la différence entre le niveau de propreté et l’efficacité de la filtration ?。

L'emplacement d'installation doit être éloigné des obstructions et doit être pratique pour le remplacement et l'entretien de l'élément filtrant. Des canaux de maintenance insuffisants augmenteront les dépenses ultérieures. Cela se reflète dans aux dépenses ultérieures qui seront augmentées en raison de canaux de maintenance insuffisants . Il existe une analyse des coûts plus spécifique quant

Exemple de jugement de projet

Dans un projet d'équipement à semi-conducteurs, la salle utilise du FFU pour maintenir la propreté de l'arrière-plan, et le chemin de transmission des plaquettes à l'intérieur de l'équipement utilise de l'EFU pour le protéger. Lors du débogage, il a été constaté qu'après le démarrage de l'échappement de l'équipement, la vitesse du vent dans la zone de protection de l'EFU diminuait. L'enquête a révélé que le volume d'air évacué était supérieur au volume d'air supplémentaire et que la pression négative dans la cavité aspirait l'air de fond à travers la fissure de la porte. Méthode de réglage : rééquilibrez l'air évacué et l'air supplémentaire et augmentez la tringlerie d'ouverture de la porte au lieu de remplacer le filtre EFU par une efficacité plus élevée.

Un autre projet a installé le FFU au-dessus du poste de travail ouvert, tandis que l'EFU a été installé sur le côté de l'équipement. Pendant le fonctionnement, il a été constaté que le flux d’air latéral du FFU interférait avec la limite de protection locale de l’EFU. Méthode de réglage : ajustez la direction de la sortie d'air FFU, ajoutez des déflecteurs et mesurez à nouveau la vitesse du vent aux positions clés du poste de travail. Après réglage, les deux jeux de flux d'air reprennent leur synergie.

Ces deux situations illustrent que la division du travail entre EFU et FFU implique non seulement différents emplacements d'équipement, mais implique également la source d'entrée d'air, la relation d'échappement, la liaison de contrôle et la portée de la vérification. Ceci doit être confirmé ensemble lors de la phase de conception.

Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

Support d'équipement industriel Aili

Aili Industry couvre la fabrication de moteurs, la recherche et le développement indépendants et la production de ventilateurs, le développement de systèmes de contrôle, le traitement de la tôle, la fabrication de filtres à air et l'assemblage complet de machines. Pour les projets collaboratifs EFU et FFU, les EFU côté équipement, les FFU de la salle, les filtres HEPA/ULPA, les systèmes de contrôle de groupe, le volume d'air, la pression statique et les interfaces d'installation peuvent être uniformément vérifiés pour connecter la configuration de l'équipement aux limites d'évaluation sur site et réduire la déconnexion entre les paramètres des composants et les conditions de travail de l'ensemble de la machine.

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