Comment planifier l’alimentation en air pur des cavités fermées des équipements ?

Les équipements fermés ont un petit espace creux, de nombreux mécanismes et des ouvertures limitées. Des variables telles que la génération de poussière interne, les sources de chaleur, le blocage du manipulateur, la commutation des gaz d'échappement et la maintenance de l'ouverture des portes existent souvent en même temps. Dans de telles conditions, un nettoyage partiel ne peut être résolu en installant simplement un ventilateur ou un filtre à haute efficacité au-dessus de la cavité.

L’endroit où l’air pur entre, ce qu’il traverse, qui il protège, où il sort et dans quel état il est vérifié sont au cœur de la planification. Commençons par plusieurs aspects pratiques.

Définir d'abord les limites de la cavité et les objets de protection

Avant de planifier, décidez si vous souhaitez protéger le produit, l’institution ou l’ensemble de l’appareil. Est-ce pour protéger des plaquettes, des pièces de précision, des composants optiques ou la zone de mouvement du robot ? Est-ce pour contrôler l’ensemble de la cavité, ou seulement pour protéger un poste de travail local ?

Différentes limites entraîneront des directions d'alimentation en air, des emplacements de filtres, des vitesses de vent et des points d'échantillonnage différents. Si le produit est continuellement exposé dans la cavité, la portée de protection doit couvrir le chemin de transmission réel ; s'il n'est exposé que pendant une courte période à un certain poste de travail, l'apport d'air local peut être évalué. Si vous ne savez pas s'il faut réaliser toute la cavité ou seulement une partie, vous pouvez d'abord voir Comment choisir entre une purification de toute la pièce et une purification partielle ? Clarifier la logique de sélection au niveau du programme puis la mettre en œuvre dans la cavité.

Si des poussières, des vapeurs ou des bioaérosols dangereux sont impliqués, l’alimentation en air pur ne peut pas remplacer un équipement d’échappement, d’isolation ou de protection de sécurité dédié. Dans ce cas, il est nécessaire de déterminer d'abord le plan de protection en fonction des exigences de sécurité, puis d'envisager le package d'alimentation en air pur.

Identifier la génération de poussière interne et les apports externes

Les sources de contamination dans les chambres fermées comprennent généralement : l'usure mécanique, le frottement des câbles, le mouvement des luminaires, l'introduction de matériaux, l'ouverture des portes par le personnel, l'accumulation de poussière résiduelle, les panaches thermiques et les gaz d'échappement du procédé. La simple amélioration de l’efficacité du filtre ne peut pas résoudre le problème de la génération de poussière en aval ou du contournement des joints.

Il est recommandé de marquer les sources de pollution sur le schéma de cavité pour distinguer la pollution en amont de la pollution en aval. L'air pur doit d'abord traverser les produits sensibles, puis traverser la source de pollution et enfin être rejeté ; l'air ne doit pas d'abord traverser le mécanisme générateur de poussière, puis souffler vers le produit.

Concevoir des chemins de flux d’air contrôlables

Avec seulement une entrée d'air mais aucune sortie raisonnable, le flux d'air sera bloqué ou évacué des espaces de manière ordonnée. Les cavités fermées doivent former des chemins dégagés :

• Entrée d'air : vérifiez où l'air filtré entre et s'il passe à travers Filtres HEPA et ULPA , si l'entrée est affectée par une contamination de fond.

• Couverture : laissez l'air pur atteindre en premier le produit, la plaquette ou la surface sensible et évitez d'être bloqué par les robots, les installations et les pipelines.

• Échappement : Vérifiez l'échappement, les évents de décompression, les canaux d'air de retour et les espaces pour empêcher l'air d'alimentation et l'échappement du procédé d'entrer en compétition pour le volume d'air.

• Différence de pression : utilisez la direction de la différence de pression pour empêcher l'air de fond de refluer, mais l'objectif de différence de pression doit être déterminé en fonction des exigences du processus, de la sécurité et de l'équipement, et il n'est pas approprié d'appliquer une valeur fixe.

Comment faire correspondre EFU, FFU, filtre et contrôle de groupe ?

Cavités fermées côté équipement couramment utilisées L'unité de filtre à ventilateur côté équipement EFU , parce qu'elle est plus facile à intégrer dans l'équipement, convient aux endroits où l'espace est limité et où une protection locale est requise. L'apport d'air de fond dans la pièce est souvent assuré par Les produits d’alimentation en air pur FFU en sont responsables. Les deux peuvent coopérer, mais les limites de protection, les sources de vent et les liens de contrôle doivent être clairement définis respectivement. La logique de cette division du travail réside dans la division du travail entre l'EFU côté appareil et le FFU de la salle . Il existe une explication plus détaillée sur

La sélection ne doit pas se limiter au volume d’air nominal. Il est nécessaire de vérifier le point de fonctionnement avec le filtre, la pression statique externe, la résistance du filtre, les dimensions d'installation, la méthode d'étanchéité et le sens de maintenance. Si la cavité dispose de plusieurs ensembles d'EFU ou doit être en service, cloisonnée, en alarme et en fonctionnement économe en énergie, elle peut être combinée Le système de contrôle de groupe FFU offre une gestion unifiée.

La sélection du filtre doit correspondre à la taille des particules cibles et au niveau de propreté.Les pages de filtres HEPA et ULPA comportent des paramètres pour différents niveaux de produits. Lors de la sélection, vérifiez l’efficacité du modèle spécifique au volume d’air cible. Si vous ne comprenez toujours pas la différence entre l'espace disponible et l'efficacité du filtre, vous pouvez lire Quelle est la différence entre niveau de propreté et efficacité de filtration ? Évitez de mélanger les deux concepts lors de vos sélections.

L'emplacement d'installation doit être éloigné des obstructions et doit être pratique pour le remplacement et l'entretien de l'élément filtrant. Si l’équipement est installé trop haut ou trop loin à l’intérieur, la maintenance sera gênante. Ce point est aux dépenses ultérieures qui seront augmentées en raison de canaux de maintenance insuffisants . Il existe une analyse des coûts plus spécifique quant

Différence de pression, état d'ouverture de la porte et mécanisme interne

L'ouverture des portes de l'équipement, la maintenance, la commutation des gaz d'échappement et les mouvements du manipulateur modifieront la différence de pression dans la cavité et la direction du flux d'air. Lors de la planification, il doit être clair : qui démarre et s'arrête en premier pendant le fonctionnement normal, s'il faut ralentir ou déclencher une alarme lors de l'ouverture de la porte, et comment restaurer après la maintenance. Sans logique de liaison, de l'air de fond peut être amené dans la zone sensible dès l'ouverture de la porte.

Lorsque le manipulateur s'étend, revient et attend, il peut bloquer la surface d'alimentation en air, provoquant un écoulement de sillage ou un reflux local. La source de chaleur soulèvera l’air et l’échappement supprimera le flux d’air protecteur. La vérification doit couvrir les mouvements réels, plutôt que de simplement mesurer l'état statique de la cavité.

Vérification et malentendus courants

Il est recommandé de vérifier la cavité fermée par étapes :

• Vérifiez les joints du filtre et les fuites de dérivation après l'installation ;

• Mesurez le volume d'air, la vitesse du vent, la différence de pression et la direction du flux d'air ;

• Observez le flux d'air pendant le mouvement du manipulateur, l'ouverture de la porte, la commutation des gaz d'échappement, etc. ;

• Effectuer la détection des particules en fonction de la taille des particules, du lieu d'échantillonnage et de l'état de fonctionnement convenus ;

• Enregistrez le temps de récupération et confirmez s'il peut revenir à l'état de protection après l'exception.

Les malentendus courants incluent : installer uniquement des filtres sans concevoir de sorties d’air ; en regardant uniquement le volume d'air nominal de l'EFU sans regarder le point de fonctionnement avec un filtre ; mesurer uniquement les conditions statiques mais pas l'ouverture de la porte et le mouvement du mécanisme ; traiter une coque fermée comme un gage de propreté ; en utilisant l'efficacité du filtre au lieu de la vérification du niveau de propreté sur site.

Exemple de jugement de projet

Il y a un robot à l’intérieur de la cavité d’un certain équipement. Le plan original n'installait qu'un seul EFU sur le dessus. La vitesse du vent statique était normale, mais des particules apparaissaient occasionnellement à l'emplacement du produit pendant la production. L'enquête a révélé que le manipulateur s'étendait et bloquait une partie de la surface d'alimentation en air, et que le produit se trouvait dans la zone de protection faible derrière le blocage.

Méthode de réglage : déplacez légèrement la position de l'EFU pour permettre à l'air propre de passer d'abord à travers le produit, puis à travers la zone de mouvement du manipulateur ; augmentez la tringlerie d'ouverture de la porte, ralentissez et déclenchez une alarme lors de l'ouverture de la porte, et reprenez après la fermeture de la porte. Après l'ajustement, la vitesse du vent a été à nouveau mesurée et le flux d'air dans la zone protégée est revenu à sa stabilité.

Dans un autre projet, l'espace de la cavité était insuffisant, c'est pourquoi l'EFU a été installé sur le côté de l'équipement, avec la direction de l'alimentation en air alignée avec la position de fonctionnement. Après l'installation, vérifiez la vitesse du vent et la couverture pour confirmer que les exigences sont remplies.

Ces deux situations illustrent que : le nettoyage local de la cavité fermée, le choix des équipements et le réglage de leur position doivent être considérés ensemble.

Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

Support d'équipement industriel Aili

Aili Industry couvre la fabrication de moteurs, la recherche et le développement indépendants et la production de ventilateurs, le développement de systèmes de contrôle, le traitement de la tôle, la fabrication de filtres à air et l'assemblage complet de machines. Pour les projets à cavité d'équipement fermée, les filtres EFU, FFU, HEPA/ULPA, les systèmes de contrôle de groupe, le volume d'air, la pression statique et les interfaces d'installation peuvent être uniformément vérifiés pour connecter la configuration de l'équipement aux limites d'évaluation sur site et réduire la déconnexion entre les paramètres des composants et les conditions de fonctionnement complètes de la machine.

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